发明创造名称：可调电容及阻抗匹配装置
外观设计名称：
决定号：42960
决定日：2020-01-13
委内编号：5W117677
优先权日：
申请（专利）号：201720763370.X
申请日：2017-06-23
复审请求人：
无效请求人：康姆艾德机械设备（上海）有限公司
授权公告日：2018-11-06
审定公告日：
专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
主审员：傅玉
合议组组长：林静
参审员：周亚娜
国际分类号：
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果本领域技术人员在现有技术的基础上结合本领域的公知常识并不能显而易见地得到权利要求所要求保护的技术方案，则该权利要求具备创造性。
全文：
本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种可调电容，其特征在于，包括铁电介质层和位于所述铁电介质层相对两侧的第一电极和第二电极；
所述可调电容还包括与第一电极和第二电极绝缘设置的第一控制电极和第二控制电极；
所述第一控制电极和所述第二控制电极，用于向所述铁电介质层提供电场，以通过控制所述电场的电场强度来调整所述铁电介质层的介电常数，从而调节所述第一电极和第二电极之间的容值。
2. 根据权利要求1所述的可调电容，其特征在于，至少部分所述铁电介质层同时位于所述第一控制电极和所述第二控制电极之间的电场以及所述第一电极和所述第二电极之间的电场中。
3. 根据权利要求2所述的可调电容，其特征在于，所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；
所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；
所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠。
4. 根据权利要求3所述的可调电容，其特征在于，所述第二控制电极的数量为两个，所述第二电极位于所述两个所述第二控制电极之间；
所述第一电极的数量为两个，所述第一控制电极位于所述两个所述第一电极之间。
5. 根据权利要求3或4所述的可调电容，其特征在于，所述第二 控制电极与所述第一电极一一对应相对设置；
所述第一控制电极与所述第二电极一一对应相对设置。
6. 根据权利要求5所述的可调电容，其特征在于，相对设置的所述第二控制电极和所述第一电极在所述铁电介质层上的正投影完全重合；
相对设置的所述第一控制电极和所述第二电极在所述铁电介质层上的正投影完全重合。
7. 根据权利要求1所述的可调电容，其特征在于，所述第一电极和第二电极分别设置在所述铁电介质层的上侧和下侧；
所述第一控制电极和所述第二控制电极分别设置在铁电介质层的左侧和右侧。
8. 一种阻抗匹配装置，包括采集单元、匹配网络和控制单元，其特征在于，所述匹配网络串接在射频电源和反应腔室之间，所述匹配网络包括权利要求1-7任意一项所述的可调电容，且所述第一电极和第二电极接入所述匹配网络的电路中，所述第一控制电极与所述控制单元电连接，所述第二控制电极接地；
所述采集单元用于采集所述射频电源和所述匹配网络之间所在传输线上的电信号并发送至所述控制单元；
所述控制单元用于根据所述采集单元采集到的电信号进行阻抗匹配运算并根据所述运算结果控制加载至所述第一控制电极和第二控制电极之间的电压，以调节所述第一电极和所述第二电极之间的容值。
9. 根据权利要求8所述的阻抗匹配装置，其特征在于，还包括低通滤波器，且所述低通滤波器设置在所述控制单元与所述第一控制电极之间。
10. 根据权利要求9所述的阻抗匹配装置，其特征在于，所述可调电容的数量为多个，所述低通滤波器与所述可调电容一一对应设置且数量相等。”
针对上述专利权，康姆艾德机械设备（上海）有限公司（下称请求人）于2019年05月20日向国家知识产权局提出了无效宣告请求，其理由是权利要求1-2、7不具备专利法第22条第2款规定的新颖性，权利要求1-10不具备专利法第22条第3款规定的创造性，请求宣告本专利权利要求1-10全部无效，同时提交了如下证据：
证据1：公开号为CN101567266A的中国发明专利；
证据2：公开号为TW201611058A的中国台湾地区发明专利；
证据3：公布号为CN101682315A的中国发明专利；
证据4：公开号为CN104349567A的中国发明专利；
证据5：公布号为CN107004507A的中国发明专利。
请求人认为：权利要求1、2相对于证据1、或证据2、或证据3或证据5不具备新颖性，权利要求7相对于证据1不具备新颖性；权利要求1、2相对于证据1、或证据2、或证据3、或证据1结合证据3、或证据2结合证据3不具备创造性，权利要求3-6相对于证据1结合公知常识、或证据2结合公知常识、或证据3结合公知常识、或证据1结合证据3结合公知常识、或证据2结合证据3结合公知常识不具备创造性，权利要求7相对于证据1、或证据1结合公知常识、或证据2结合公知常识、或证据3结合公知常识、或证据1结合证据3结合公知常识、或证据2结合证据3结合公知常识不具备创造性，权利要求8-10相对于证据4结合证据1、或证据4结合证据2、或证据4结合证据3、或证据4结合证据1结合证据3、或证据4结合证据2结合证据3、或证据2结合公知常识、或证据2结合证据1、或证据2结合证据3、或证据2结合证据4、或证据2结合证据4结合证据3不具备创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年07月09日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人逾期未答复。
合议组2019年09月25日向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2019年11月15日举行口头审理。
口头审理如期举行，双方当事人均委托代理人出席了本次口头审理。在口头审理过程中，明确了以下事项：
（1）双方当事人对对方出庭人员身份和资格无异议，对合议组成员及书记员无回避请求。
（2）专利权人当庭提交权利要求书修改替换页，合议组当庭转交给请求人，请求人当庭签收。当庭提交的权利要求书如下：
“1. 一种可调电容，其特征在于，包括铁电介质层和位于所述铁电介质层相对两侧的第一电极和第二电极；所述可调电容还包括与第一电极和第二电极绝缘设置的第一控制电极和第二控制电极；所述第一控制电极和所述第二控制电极，用于向所述铁电介质层提供电场，以通过控制所述电场的电场强度来调整所述铁电介质层的介电常数，从而调节所述第一电极和第二电极之间的容值；
至少部分所述铁电介质层同时位于所述第一控制电极和所述第二控制电极之间的电场以及所述第一电极和所述第二电极之间的电场中；
所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠。
2. 根据权利要求1所述的可调电容，其特征在于，所述第二控制电极的数量为两个，所述第二电极位于所述两个所述第二控制电极之间；所述第一电极的数量为两个，所述第一控制电极位于所述两个所述第一电极之间。
3. 根据权利要求1或2所述的可调电容，其特征在于，所述第二控制电极与所述第一电极一一对应相对设置；所述第一控制电极与所述第二电极一一对应相对设置。
4. 根据权利要求3所述的可调电容，其特征在于，相对设置的所述第二控制电极和所述第一电极在所述铁电介质层上的正投影完全重合；相对设置的所述第一控制电极和所述第二电极在所述铁电介质层上的正投影完全重合。
5. 一种阻抗匹配装置，包括采集单元、匹配网络和控制单元，其特征在于，所述匹配网络串接在射频电源和反应腔室之间，所述匹配网络包括权利要 求1-4任意一项所述的可调电容，且所述第一电极和第二电极接入所述匹配网络的电路中，所述第一控制电极与所述控制单元电连接，所述第二控制电极接地；所述采集单元用于采集所述射频电源和所述匹配网络之间所在传输线上的电信号并发送至所述控制单元；所述控制单元用于根据所述采集单元采集到的电信号进行阻抗匹配运算并根据所述运算结果控制加载至所述第一控制电极和第二控制电极之间的电压，以调节所述第一电极和所述第二电极之间的容值。
6. 根据权利要求5所述的阻抗匹配装置，其特征在于，还包括低通滤波器，且所述低通滤波器设置在所述控制单元与所述第一控制电极之间。
7. 根据权利要求6所述的阻抗匹配装置，其特征在于，所述可调电容的数量为多个，所述低通滤波器与所述可调电容一一对应设置且数量相等。”
专利权人所做的修改为删除式修改，将原权利要求1、2、7删除，原权利要求3作为新的权利要求1；请求人对权利要求书的上述修改无异议；本次无效宣告请求口头审理的基础为专利权人2019年11月15日提交的权利要求1-7项以及本专利授权公告文本中的其他部分。
（3）请求人当庭放弃证据5作为证据使用，专利权人对请求人提交的证据1-4的真实性和公开日期无异议。
（4）请求人当庭放弃新颖性的无效理由，并当庭明确其无效理由为修改后的权利要求1-7不符合专利法第22条第3款的规定，证据的具体组合方式为：修改后的权利要求1相对于证据1结合公知常识、或证据2结合公知常识、或证据3结合公知常识不具备创造性；权利要求2-4的附加技术特征属于公知常识；权利要求5除引用权利要求1-4的部分外，被证据4结合公知常识公开，或者被证据2结合公知常识公开；权利要求6的附加技术特征属于公知常识或者被证据2结合公知常识公开；权利要求7的附加技术特征属于公知常识。
（5）双方当事人当庭就修改后的权利要求1-7的创造性均充分发表了各自的意见。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
（一）审查基础
专利权人口头审理当庭提交了权利要求书的修改替换页，所做的修改为删除式修改，请求人对权利要求书的上述修改无异议，本决定的审查基础为专利权人2019年11月15日提交的权利要求第1-7项以及本专利授权公告文本中的其他部分。
（二）证据认定
请求人提交的证据1-4均为专利文献，专利权人对请求人提交的证据1-4的真实性和公开日期无异议，合议组经查，未发现影响证据1-4真实性的明显瑕疵，因此合议组认可证据1-4的真实性，且证据1-4的公开日期均在本专利的申请日之前，可以作为用于评述本专利创造性的现有技术使用。
（三）关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果本领域技术人员在现有技术的基础上结合本领域的公知常识并不能显而易见地得到权利要求所要求保护的技术方案，则该权利要求具备创造性。
3.1 权利要求1
3.1.1以证据1为最接近现有技术
权利要求1请求保护一种可调电容，证据1公开了一种可变电容器及电子装置，并具体公开了如下特征（参见说明书具体实施方式第一实施例部分，附图1-5）：图3A和3B分别是根据本发明的第一实施例的可变电容器的示意立体图和其剖面构造图。根据本发明的第一实施例的可变电容器1（相当于可调电容）包括形成为长方体形状的电介质层4，其四个面分别具有四个端子。用于电介质层4（相当于铁电介质层）的材料的示例包括离子极化及电子极化的铁电材料。在根据第一实施例的可变电容器1中，平板状的控制端子2（相当于第一控制电极和第二控制电极）形成在长方体电介质层4的yz面的表面上，而信号端子3（相当于设置在电介质层相对两侧的第一电极和第二电极）形成在长方体电介质层4的xy面的表面上。此外，信号端子3及控制端子2以彼此不会发生接触的方式形成在电介质层4上（相当于第一电极和第二电极与第一控制电极和第二控制电机绝缘设置）。在根据第一实施例的可变电容器中，可通过在控制端子2之间施加的控制电压（DC电压）来控制控制电容的电容值。在控制端子2之间施加控制电压是的在信号端子3之间产生的信号电容的电容值依从于控制电容的电容值而改变，并且当在信号端子之间传送AC信号时，可变电容器1用作其信号电容可控的电容器。电容值的改变源于介电常数因电介质层的极化状态的改变而发生改变。可通过在控制端子2之间施加控制电压来改变在信号端子3之间获得的信号电容值（相当于控制电极用于向铁电介质层提供电场，通过控制电场强度调整介电常数，从而调节电极电容值）。此外，从附图3A中可以看出，至少部分铁电介质层同时位于信号端子3与控制端子2之间的电场中。
因此，权利要求1相对于证据1的区别在于：所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠。上述区别特征实际所解决的技术问题是：通过特定的电极和控制电极之间的位置排布，使得控制电极对电极可以在两个矢量方向上产生极化效果，从而影响整体的介电常数。
请求人在请求书以及口头审理时主张：（1）证据1中公开了“在根据第一实施例的可变电容器中，电介质层4形成为长方体形状，由此控制电场与信号电场彼此呈直角相交。但是，控制电场与信号电场也可不呈直角相交，而只是彼此相交即可”的特征，因此基于证据1的启示，可以得到权利要求1的具体设置方式；（2）“上”“下”“左”“右”是电容器的摆放位置和观察者的相对站立方向而言，本领域技术人员可以自由设置，属于本领域的公知常识。
对此，合议组认为：首先，合议组经查，证据1（参见说明书第6页最后一段-第7页第一段）所公开的是，由于实施例中电介质层4形成为长方体形状，控制电场与信号电场彼此呈直角相交；而控制电场与信号电场也可不呈直角相交，而只是彼此相交即可。也就是说，证据1中仅公开了基于不同形状的电介质层，控制电场和信号电场可呈现出不同角度的相交的特征；由于证据1中控制端子和信号端子是位于电介质层的不同侧面，控制电场和信号电场呈现的角度仅是由电介质层的侧面形状所带来的，而并非由控制电极之间在电介质上投影位置关系所带来。证据1并未公开电极及控制电极如权利要求1中所限定的具体位置关系，也并未公开控制电极之间在电介质层上正投影不重叠的特征。因此，上述证据1中公开的特征无法给出具体限定电极及控制电极具体位置关系的启示，也无法给出对控制电极在电介质层上投影关系设置的启示。
其次，权利要求1中通过特定的电极、控制电极之间的位置排布，即在权利要求中具体限定了：“所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠”的特征，从而使得对可变电容的介电常数的控制可以在两个矢量方向上产生极化效果，也就是在水平和垂直两个方向上都有分量，因而调节控制介电常数的效果比仅为一个方向调节控制的效果更强。
此外，虽然对本领域技术人员而言，“上”“下”“左”“右”等方向是相对而言的，但是目前并没有证据表明上述区别特征的具体限定电极及控制电极具体位置关系以及控制电极在电介质层上投影不重叠的设置属于本领域的公知常识，本领域技术人员在证据1的基础上结合本领域的公知常识，并不能显而易见地得到权利要求1所要求保护的技术方案，而上述区别特征通过特定的位置排布，带来了可以同时在两个矢量方向上产生更强极化效果、进而控制调节整体介电常数的有益效果。因此，权利要求1具有实质性特点和进步，符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3.1.2 以证据2为最接近现有技术
权利要求1请求保护一种可调电容，证据2公开了一种用于射频功率应用之可变功率电容器（相当于可调电容），并具体公开了如下特征（参见说明书第0002-0045段，附图1-9）：如图6及7所示之实例中，由五个电极18、26、27、28、19及介电质17形成两个电容器Cd1及Cd2。其中，电容器Cd1在RF电极18（相当于第一电极）与常见DC偏压电极27之间形成，且电容器Cd2在RF电极19（相当于第二电极）与常见DC偏压电极27之间形成。此外，DC偏压电极26（相当于第一控制电极）及28（相当于第二控制电极）用于对顺电介电质17施加DC偏压、或至少用于对介于DC偏压电极26与27之间及介于DC偏压电极27与28之间的顺电介电质17（相当于铁电介质层）的部分施加DC偏压。本发明是使用电DC偏压在电容器介电质中产生电场，以替代真空可变电容的机械式调节机制。藉改变DC电压是可以控制及调节顺电介电质之相对电容率。其中，顺电介电材料可以采用铁电材料。
因此，权利要求1相对于证据2的区别在于：所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠。上述区别特征实际所解决的技术问题是：通过特定的电极和控制电极之间的位置排布，使得控制电极对电极可以在两个矢量方向上产生极化效果，从而影响整体的介电常数。
如前述第3.1.1节所分析，权利要求1中通过特定的电极、控制电极之间的位置排布，使得对可变电容的介电常数的控制可以在两个矢量方向上产生极化效果，也就是在水平和垂直两个方向上都有分量，因而调节控制介电常数的效果比仅为一个方向调节控制的效果更强。虽然对本领域技术人员而言，“上”“下”“左”“右”等方向是相对而言的，但是目前并没有证据表明上述区别特征的具体限定电极及控制电极具体位置关系以及控制电极在电介质层上投影不重叠的设置属于本领域的公知常识，本领域技术人员在证据2的基础上结合本领域公知常识并不能显而易见地得到权利要求1所要求保护的技术方案，而上述区别特征通过特定的位置排布，带来了可以同时在两个矢量方向上产生更强极化效果、进而控制调节整体介电常数的有益效果。因此，权利要求1具有实质性特点和进步，符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3.1.3 以证据3为最接近现有技术
权利要求1请求保护一种可调电容，证据3公开了一种用于可调MEMS电容器（相当于可调电容）的控制器，并具体公开了如下特征（参见说明书第1-9页，附图1-17）：本发明提供了具有可调电介质的MEMS继电器器件，可调电介质例如铁电体或其它可调电介质材料。图9示出了两个电容器极板提供有分开的电极用于电介质调节和MEMS切换的修改。因而，每一个电容器极板包括MEMS开关电极20（相当于第一电极）和92（相当于第二电极），并且这些电极彼此面对，每一个电容器极板具有电介质调节电极10（相当于第一控制电极）和94（相当于第二控制电极）的集合，再次地，这些电极彼此面对。如示意性地示出的，可移动电极具有绝缘基底90，以使得可以向可移动基板上的两组电极92、94提供独立电压。其中，控制器适于改变电容器电介质间隔，以获得MEMS电容器的电容调整的第一连续范围，并调节电介质材料，以获得MEMS电容器的电容调整的第二连续范围，从而提供包括第一范围和第二范围的连续的模拟调整范围。
因此，权利要求1相对于证据3的区别在于：所述第一电极和所述第一控制电极均设置于所述铁电介质层上侧，且所述第一电极位于左侧，第一控制电极位于右侧；所述第二电极和所述第二控制电极均设置在所述铁电介质层的下侧且所述第二电极位于右侧，第二控制电极位于左侧；所述第一控制电极与所述第二控制电极在所述铁电介质层上的正投影不重叠。上述区别特征实际所解决的技术问题是：通过特定的电极和控制电极之间的位置排布，使得控制电极对电极可以在两个矢量方向上产生极化效果，从而影响整体的介电常数。
如前述第3.1.1节所分析，权利要求1中通过特定的电极、控制电极之间的位置排布，使得对可变电容的介电常数的控制可以在两个矢量方向上产生极化效果，也就是在水平和垂直两个方向上都有分量，因而调节控制介电常数的效果比仅为一个方向调节控制的效果更强。虽然对本领域技术人员而言，“上”“下”“左”“右”等方向是相对而言的，但是目前并没有证据表明上述区别特征的具体限定电极及控制电极具体位置关系以及控制电极在电介质层上投影不重叠的设置属于本领域的公知常识，本领域技术人员在证据3的基础上结合本领域公知常识并不能显而易见地得到权利要求1所要求保护的技术方案，而上述区别特征通过特定的位置排布，带来了可以同时在两个矢量方向上产生更强极化效果、进而控制调节整体介电常数的有益效果。因此，权利要求1具有实质性特点和进步，符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3.2 权利要求2-7
请求人仅主张，权利要求2-4的附加技术特征属于公知常识；权利要求5除引用权利要求1-4的部分外，被证据4结合公知常识公开，或者被证据2结合公知常识公开；权利要求6的附加技术特征属于公知常识或者被证据2结合公知常识公开；权利要求7的附加技术特征属于公知常识。
基于前述第3.1节的分析，在权利要求1相对于请求人的证据组合方式具备创造性的基础上，直接或间接引用权利要求1的权利要求2-7相对于请求人的上述证据组合方式也具备创造性，符合专利法第22条第3款的规定。
综上所述，请求人的主张均不能成立，修改后的权利要求1-7相对于请求人的证据组合方式具备专利法第22条第3款规定的创造性。
三、决定
宣告201720763370.X号实用新型专利权部分无效，在专利权人2019年11月15日提交的权利要求1-7的基础上维持本专利权有效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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