发明创造名称：一种垂直连续电镀设备
外观设计名称：
决定号：42752
决定日：2019-12-25
委内编号：5W117819
优先权日：
申请（专利）号：201520024612.4
申请日：2015-01-14
复审请求人：
无效请求人：昆山科比精工设备有限公司
授权公告日：2015-07-01
审定公告日：
专利权人：昆山东威科技股份有限公司
主审员：孙丽芳
合议组组长：兰琪
参审员：周芳宇
国际分类号：C25D17/00
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果实用新型的权利要求与最接近现有技术的区别特征解决了现有技术中存在的技术缺陷，且请求人举证的现有技术中不存在明确的技术教导，同时也不属于常规的技术手段，则该权利要求具备专利法第22条第3款规定的创造性。
全文：
本专利的专利号为201520024612.4，申请日为2015年01月14日，授权公告日为2015年07月01日。本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种垂直连续电镀设备，包括机架(1)，以及
电镀槽装置，包括供待镀板在其中电镀的电镀槽体(A1)，装有电镀药液的回流箱体(A2)，设置在所述电镀槽体(A1)内，对待镀板的表面进行喷镀的喷管(A3)，以及设置在所述回流箱体(A2)内实现电镀槽体(A1)、回流箱体(A2)之间电镀药液循环的过滤循环系统；
待镀板传送装置，运载待镀板在所述电镀槽体(A1)内前行；
电解装置,以待镀板为阴极，以待镀金属为阳极，对所述电镀槽体(A1)内的待镀板进行电镀；
电气装置,为所述电解装置提供直流电源；
其特征在于：
所述回流箱体(A2)设置在所述机架(1)的底部，所述电镀槽体(A1)处于所述机架(1)的中部，且位于所述回流箱体(A2)的上方，所述待镀板传送装置位于所述电镀槽体(A1)的上方，所述电解装置的阴极与所述待镀板传送装置上的夹紧待镀板的夹具(26)电连接，阳极与所述电镀槽体(A1)内电镀药液导通，所述电气装置设置在所述机架(1)的顶部，还包括电镀浮床装置，所述电镀浮床装置包括处于所述电镀槽体(A1)内的浮板(2),以及处于所述待镀板传送装置上方，驱动所述浮板(2)在所述电镀槽体内上升或下降的浮板升降机构。
2. 根据权利要求1所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述待镀板传送装置为传送链结构，所述电镀槽体(A1)处于所述传送链结构一侧的链条(27)下方，所述传送链结构另一侧的链条(27)下方处设有夹具清洗装置，所述回流箱体(A2)的一部分处于所述电镀槽体(A1)下方，所述回流箱体(A2)的另一部分处于所述夹具清洗装置的下方。
3. 根据权利要求2所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述夹具清洗装置包括硝酸段夹具接水盒(24)和水洗段接水盒(25)。
4. 根据权利要求1所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述链条(27)上间隔固设有若干个附件，所述附件包括一导电滑块以及设置在所述导电滑块下的若干所述夹具(26)；所述链条(27)位于主动链轮和从动链轮之间的部分的两外侧分别固设有一轨道(16)，所述轨道(16)的长度方向与所述链条(27)的长度方向平行，且所述链条(27)运行时，所述导电滑块能够卡合于所述轨道上，所述轨道(16)导电，且与所述导电滑块接触的侧面为导电的工作面。
5. 根据权利要求4所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述待镀板通过夹具(26)、所述轨道(16)与所述电气装置的负极连接。
6. 根据权利要求5所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述电镀槽体(A1)的两侧上还设有添加盒(A26)，所述添加盒(A26)上分布有若干容纳孔，盛放装有阳极金属材料的钛篮(A24)通过所述容纳孔分布在所述添加盒(A26)上，所述钛篮(21)通过阳极钛包铜与所述电气装置的正极连接。
7. 根据权利要求6所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述喷管(A3)也安装在所述添加盒(20)上。
8. 根据权利要求7所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，每个所述喷管(A3)上设置有若干喷嘴(A14)。
9. 根据权利要求8所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)一侧的所述喷管(A3)相对于另一侧的所述喷管(A3)是以错位排布的方式布置。
10. 根据权利要求9所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)同一侧的相邻的喷嘴(A14)在竖直方向上以错位排布的方式布置。
11. 根据权利要求1-10中任一项所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述电气装置包括将交流电转换为直流电的整流机(22)，以及给所述整流机(22)降温的冷水管路(23)，所述整流机(22)以及所述冷水管路(23)均处于所述电镀浮床装置的上方。
12. 根据权利要求11所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述过滤循环系统包括由所述回流箱体(A23)向所述电镀槽体(A1)内供洁净电镀药液的第一循环部分，由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分，以及从所述电镀槽体(A1)中向所述回流箱体(A23)中溢流电镀药液的第三循环部分。
13. 根据权利要求12所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述第一循环部分包括从所述回流箱体(A23)内抽取电镀药液的第一泵(A20)，与所述第一泵(A20)的出液口连接的第一过滤器(A4)，将所述第一过滤器(A4)与所述电镀槽体(A1)底部连通的第一管路(A5)。
14. 根据权利要求13所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，连接在所述第一泵(A20)进液口处的吸液管(A25)伸入所述回流箱体(A23)内的一端还设有吸入口网罩(A6)。
15. 根据权利要求14所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述第二循环部分包括从所述回流箱体(A2)内抽取电镀药液的的第二泵(A21)，第二过滤器，连通所述第二泵(A21)的出液口与所述第二过滤器(A7)进液口的第二管路，以及连通所述第二过滤器(A7)的出液口与所述喷管(A3)的第三管路(A8)。
16. 根据权利要求15所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述第三循环部分包括成型在所述电镀槽体(A1)的侧壁的上端的溢流孔(A9)，处于所述电镀槽体(A1)的外侧壁上，且围绕所述溢流孔(A9)设置的溢流腔(A10)，以及将所述溢流腔(A10)处的电镀药液导向所述回流箱体(A2)内 的回流通道(A11)。
17. 根据权利要求16所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述溢流腔(A10)由若干溢流板围成。
18. 根据权利要求17所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述电镀槽体(A1)的侧壁上高于所述溢流孔(A9)的位置处还设有药液气味排出孔(A12)，且所述溢流孔(A9)与所述药液气味排出孔(A12)之间还设有溢流抽风隔板(A13)。
19. 根据权利要求18所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述电镀槽体(A1)与所述回流箱体(A2)之间的槽体中间板(A15)上设有循环泄流口(A16)、循环吐出口(A17)，以及铜球排泄口(A18)。
20. 根据权利要求19所述的垂直连续电镀设备，其特征在于，所述电镀槽体(A1)由多个电镀分槽体首尾相接形成，每个所述电镀分槽体配设有一个分回流箱体，每个所述分回流箱体上设置有连通管(A19)，相邻两所述分回流箱体之间通过所述连通管(A19)连通。
21. 根据权利要求1-10中任一项所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述浮板升降机构包括
伸缩管结构，至少设有一个，包括升降外管(3)，以及可伸出或缩回地套设在所述升降外管(3)内的升降内管/杆(4)，所述升降外管(3)或所述升降内管/杆(4)与所述浮板(2)固定连接，所述升降内管/杆(4)或所述升降外管(3)固装在所述机架(1)上；
钢丝绳(5)，设置的数目与所述伸缩管结构的数目一致，所述钢丝绳(5)的一端与固定连接在所述浮板(2)上的所述升降外管(3)或所述升降内管/杆(4)连接；
钢丝绳收放结构，控制所述钢丝绳(5)的收放，其与所述钢丝绳(5) 的另一端连接。
22. 根据权利要求21所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：还包括设置在所述钢丝绳收放结构与所述伸缩结构之间，对所述钢丝绳(5)的引出进行导向的滑轮改向结构，所述滑轮改向结构包括若干滑轮，以及将所述滑轮安装在所述机架(1)上的滑轮安装件(6)。
23. 根据权利要求22所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述滑轮安装件(6)为U型槽结构，所述U型槽结构的一侧外侧壁通过吊臂(17)固定在所述机架(1)上，另一侧外侧壁固定安装所述滑轮。
24. 根据权利要求23所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述升降内管/杆(4)或所述升降外管(3)的上端通过固定连接在所述U型槽结构的底面固装在所述机架(1)上。
25. 根据权利要求24所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述伸缩管结构成对设置在所述通道两侧，所述滑轮改向结构包括两个由两单滑轮同轴构成的双滑轮(7)，以及两个单独的单滑轮(8)，所述伸缩管结构对应的所述钢丝绳(5)通过对应的所述单独的单滑轮(8)，以及先后两个所述双滑轮(7)上对应侧的所述单滑轮引向所述钢丝绳收放结构。
26. 根据权利要求25所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：成对设置的所述伸缩管结构设置有三套。
27. 根据权利要求26所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述钢丝绳收放结构包括捆绕以及释放钢丝绳(5)的主导轮(9)，以及驱动所述主导轮(9)正反转的马达(10)或所述钢丝绳收放结构为直线马达。
28. 根据权利要求27所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述钢丝绳收放结构还包括获取马达(10)转速信号，控制所述马达(10)运转的编码器(11)，检测和控制浮板的最高点和最低点的传感器，以及安装所述传 感器的申舍固定座(12)。
29. 根据权利要求28所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述浮板(2)上的供待镀板下端通过的通道(14)的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道(14)中的前行进行导向的两波浪状的导向板(13)。
30. 根据权利要求29所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述浮板(2)上设有若干贯通所述浮板(2)上下表面的通孔(15)。
31. 根据权利要求30所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：所述轨道(16)通过所述吊臂(17)固定安装在所述机架(1)上，所述待镀板传送装置设置在所述滑轮安装件(6)的下方。
32. 根据权利要求31所述的垂直连续电镀设备，其特征在于：还包括浮板高度指示装置，所述浮板高度指示装置包括固定在所述吊臂(17)上且竖向设置的标尺(18)，以及下端固定在所述浮板(2)上的指示导杆(19)，所述标尺(18)上还设置有连接件，所述连接件垂直于所述标尺(18)的设有刻度的表面设置，且所述连接件上成型有适合所述指示导杆(19)穿过的通孔。”
请求人于2019年06月12日向国家知识产权局提出了无效宣告请求，请求宣告本专利权利要求1-32无效，同时提交了如下证据：
证据1’：中国专利CN1962962B，授权公告日为2011年02月02日；
证据2’：中国实用新型专利CN104005077A，公布日为2014年08月27日；
证据3’：台湾专利TW200301320A，公开日2003年07月01日；
证据4’：中国实用新型专利CN201420100Y，授权公告日2010年03月10日；
证据5’：中国实用新型专利CN203307457U，授权公告日为2013年11月27日；
证据6’：中国实用新型专利CN202492608U，授权公告日为2012年10月17日；
证据7’：中国实用新型专利CN202499923U，授权公告日为2012年10月24日；
证据8’：中国实用新型专利CN2839303Y，授权公告日为2006年11月22日。
请求人认为，本专利说明书不符合专利法第26条第3款的规定；权利要求1-32不符合专利法第26条第4款的规定，以及权利要求1-32不符合专利法第22条第3款的规定。
请求人于2019年07月02日补充提交了无效宣告请求书的理由以及以下证据：
证据1：中国专利CN1962962B，授权公告日为2011年2月2日，复印件共41页；
证据2：中国实用新型专利CN203834041U，授权公告日为2014年09月17日，复印件共7页；
证据3：中国实用新型专利CN203096220U，授权公告日为2013年07月31日，复印件共5页；
证据4：中国实用新型专利CN202492608U，授权公告日为2012年10月17日，复印件共5页；
证据5：中国实用新型专利CN202499923U，授权公告日为2012年10月24日，复印件共11页；
证据6：台湾专利TW200301320A，公开日2003年07月01日，复印件共19页；
证据7：中国实用新型专利CN2839303Y，授权公告日为2006年11月22日，复印件共11页；
证据8：2014年09月09日，昆山科比精工设备有限公司与安捷利（番禺）电子实业有限公司签署的垂直连续电镀铜线和接驳输送段设备的销售合同，复印件共4页；
证据9：安捷利（番禺）电子实业有限公司的验收标准，复印件共3页；
证据10：昆山科比精工设备有限公司关于自动垂直连续电镀铜线的设备规格说明书，复印件共11页；
证据11：垂直连续电镀设备的设计图纸，复印件共1页；
证据12：2014年09月09日，昆山科比精工设备有限公司给安捷利（番禺）电子实业有限公司出具的垂直连续电镀设备的报价单，复印件共2页；
证据13：请求人声称的安捷利（番禺）电子实业有限公司分别于2014年09月23日、2015年2月4日、2016年2月1日和2016年12月1日，分四次经中国工商银行向本无效宣告请求人昆山科比精工设备有限公司汇款的网上银行电子回单，复印件共4页；
证据14：请求人声称的昆山科比精工设备有限公司分别于2014年09月17日（6页）、2014年12月17日（6页）、2015年11月9日（1页）和2015年11月10日（7页），向安捷利（番禺）电子实业有限公司开具的江苏增值税专用发票，复印件共20张。
请求人认为，1、权利要求1-32不具备创造性：A.以证据1为最接近现有技术，权利要求1与证据1的区别在于，（1）权利要求1还包括装有电镀药液的回流箱体A2，以及（2）设置在所述回流箱体A2内实现电镀槽体Al、回流箱体A2之间电镀药液循环的过滤循环系统。区别特征（1）为公知常识，区别特征（2）在证据2中公开。权利要求1相对于证据1和2不具备创造性。
B.以证据3为最接近的现有技术，权利要求1与证据3的区别在于，（1）权利要求1还包括电解装置，以待镀板为阴极，以待镀金属为阳极，对所述电镀槽体（A1）内的待镀板进行电镀；电气装置，为所述电解装置提供直流电源；所述电解装置的阴极与所述待镀板传送装置上的夹紧待镀板的夹具26电连接，阳极与所述电镀槽体A1内电镀药液导通，所述电气装置设置在所述机架1的顶部；（2）权利要求1还包括电镀浮床装置，所述电镀浮床装置包括处于所述电镀槽体A1内的浮板2，以及处于所述待镀板传送装置上方，驱动所述浮板2在所述电镀槽体内上升或下降的浮板升降机构。区别特征（1）是公知常识，区别特征（2）在证据2中公开。权利要求1相对于证据3和2不具备创造性。
C.以证据1为最接近现有技术，区别特征（1）在证据3中公开，区别特征（2）在证据2中公开。权利要求1相对于证据1与证据2和3的结合不具备创造性。
权利要求2-3的附加技术特征部分在证据1（或证据3）、证据2和证据4的结合中公开，部分属于本领域的公知常识；权利要求4-5的附加技术特征在证据1（或证据3）、证据2和证据4的结合中公开；权利要求6-11的附加技术特征在证据1（或证据3）、证据2、证据4和证据5的结合中公开；权利要求12-28的附加技术特征在证据1（或证据3）、证据2、证据4、证据5、证据6和证据7的结合中公开；权利要求29-30的附加技术特征包括波浪状浮板2的设置，该附加技术特征为公知常识；权利要求31的附加技术特征在证据1结合公知常识中公开，权利要求32的附加技术特征在证据2结合公知常识中公开。
2、本专利说明书不符合专利法第26条第3、4款的规定，喷管的单位时间内电解液流量由第二泵的特性决定，与电镀槽内的液面没有关联。说明书也未记载其它喷管喷液方式可以使得在电镀槽液面稳定并由其向喷管供液，能保证喷管单位时间内喷出来的电解液量以及液压均衡；本专利说明书对权利要求2中所述的夹具清洗装置的具体结构没有描述。
3、权利要求1-32相对于证据8-14构成的证据链不具备新颖性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年07月08日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人针对上述无效宣告请求于2019年07月30日提交了意见陈述书，认为证据8-14内容模糊，真实性和关联性无法确认。
国家知识产权局本案合议组于2019年08月05日将专利权人的上述意见陈述转文给请求人。同日，向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2019年 09月17日举行口头审理。
请求人于2019年08月12日提交意见陈述，认为证据8-14内容清晰，应当对所述证据予以认可。
合议组于2019年08月16日将请求人的上述意见陈述转文给专利权人。
专利权人于2019年08月23日提交了权利要求书的修改替换页，将权利要求29的附加技术特征限入权利要求1中，删除权利要求29，调整权利要求30-31的引用关系。修改后的权利要求1为：
“1. 一种垂直连续电镀设备，包括机架(1)，以及
电镀槽装置，包括供待镀板在其中电镀的电镀槽体(A1)，装有电镀药液的回流箱体(A2)，设置在所述电镀槽体(A1)内，对待镀板的表面进行喷镀的喷管(A3)，以及设置在所述回流箱体(A2)内实现电镀槽体(A1)、回流箱体(A2)之间电镀药液循环的过滤循环系统；
待镀板传送装置，运载待镀板在所述电镀槽体(A1)内前行；
电解装置,以待镀板为阴极，以待镀金属为阳极，对所述电镀槽体(A1)内的待镀板进行电镀；
电气装置,为所述电解装置提供直流电源；
其特征在于：
所述回流箱体(A2)设置在所述机架(1)的底部，所述电镀槽体(A1)处于所述机架(1)的中部，且位于所述回流箱体(A2)的上方，所述待镀板传送装置位于所述电镀槽体(A1)的上方，所述电解装置的阴极与所述待镀板传送装置上的夹紧待镀板的夹具(26)电连接，阳极与所述电镀槽体(A1)内电镀药液导通，所述电气装置设置在所述机架(1)的顶部，还包括电镀浮床装置，所述电镀浮床装置包括处于所述电镀槽体(A1)内的浮板(2),以及处于所述待镀板传送装置上方，驱动所述浮板(2)在所述电镀槽体内上升或下降的浮板升降机构；
所述浮板(2)上的供待镀板下端通过的通道(14)的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道(14)中的前行进行导向的两波浪状的导向板(13)。”
合议组于2019年08月29日将专利权人修改后权利要求书转文给请求人。
请求人于2019年9月12日提交了意见陈述书和证据15：
证据15：中国外观设计专利CN302030732S，授权公告日2012年08月08日，复印件共3页。
请求人认为，本专利修改后的权利要求1与证据1的区别技术特征为：权利要求1中的导向板为波浪形。证据15公开了一种浮板的外观设计，并指出其用途为电镀设备中起稳定传输物体的作用。所以，权利要求1相对于证据1和15的结合不具备创造性。
口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理。在口头审理过程中，合议组调查并记录了如下审查事项：
（1）请求人对专利权人于2019年08月23日提交的权利要求书的修改没有异议。
（2）请求人当庭放弃2019年06月12日提交的无效请求书以及证据1’-8’的使用；当庭放弃本专利权利要求1-32不符合专利法第22条第2款的规定的无效理由以及相应证据8-14的使用；放弃本专利的权利要求1-14不符合专利法第26条第4款的规定的无效理由；
请求人当庭明确无效理由为，权利要求2不符合专利法第26条第3款的规定，权利要求1-31不符合专利法第22条第3款的规定。
（3）合议组当庭将请求人于2019年09月12日提交的意见陈述及证据15转文给专利权人签收。并告知请求人，由于证据15属于超期证据，不纳入审理范围，其与证据1组合评述创造性的无效理由也不予调查和审理；请求人当庭放弃证据15的使用。
（4）专利权人对请求人提交的证据1-7的真实性和公开性无异议。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查基础
专利权人于2019年08月23日提交的权利要求书的修改符合专利法及专利审查指南的规定，因此，本决定针对的文本是，专利权人于2019年08月23日提交的权利要求1-31以及授权公告文本的说明书和附图。
2、证据认定
请求人对证据1-7的真实性没有异议。经核，合议组依法认可证据1-7的真实性。其公开日均早于本专利的申请日，可以作为现有技术评价本专利的创造性。
3、关于专利法第26条第3款
专利法第26条第3款规定：说明书应当对发明或者实用新型作出完整的说明，以所述技术领域的技术人员能够实现为准；必要时，应当有附图。
本案中，请求人认为，权利要求2中夹具清洗装置结构在说明书中未有具体公开，本领域技术人员无法根据公知常识获知如何在电镀的进行过程中实现对夹具的自动清洗。
对此，合议组认为，本专利的发明目的在于提出一种结构简单紧凑，所占空间小，电镀效果好的垂直连续电镀设备（参见本专利说明书0004段）。在背景技术部分指出，现有的连续电镀设备包括最基础的电镀槽之外，还包括电源、将交流电源转换为直流电源的整流器，给整流器冷却的冷却装置，由电镀液、待镀零件(阴极)和阳极构成的电解装置，与电镀槽内的药液形成循环的回流箱，运送待镀件在电镀槽内前行的运载装置，清洗夹具的清洗装置，遮挡电力线的浮板结构等（参见本专利说明书0003段）。由此可见，清洗夹具的清洗装置并不是本专利保护的新结构或新装置，而现有技术已知结构。如此，本专利说明书未详细记载夹具清洗装置结构并不会造成本领域技术人员无法理解和实施本专利的技术方案。因此，权利要求2不符合专利法第26条第3款的无效理由不成立。
4、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指于现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果实用新型的权利要求与最接近现有技术的区别特征解决了现有技术中存在的技术缺陷，且请求人举证的现有技术中不存在明确的技术教导，同时也不属于常规的技术手段，则该权利要求具备专利法第22条第3款规定的创造性。
4.1 本案中，请求人主张，以证据1作为最接近的现有技术，权利要求1相对于证据1结合证据2，或证据1结合证据2、证据3不具备创造性。
经核，证据1说明书公开了一种电镀槽（从图1可见为垂直电镀装置），包括处理槽主体100填充有电镀液（相当于权利要求1中的电镀槽体Al），溢流槽202、排液装置200。板状工件的薄板基板W（相当于权利要求1中的待镀件），其上端部被保持并悬挂在搬送用吊架15（相当于权利要求1中的待镀板传送装置）的夹钳48（相当于权利要求1中的夹具26）上。从图1中也可以看到吊架15位于处理槽主体100上方（相当于权利要求1中待镀件传动装置位于电镀槽体Al上方），通过搬送用吊架15的移动，薄板基板W也在处理槽主体100内移动（相当于权利要求1中的待镀板传送装置运载待镀板在电镀槽体Al内前行）（参见证据1说明书0092段）。在处理槽主体100中设置有：阳极装置301，其用于供给进行电镀的金属离子；喷出装置302（相当于权利要求1中的喷管A3），其朝向薄板基板W喷出电镀液；屏蔽装置303，其对电流进行屏蔽，以使电流不会集中到薄板基板W的端部（参见证据1说明书0093段）。阳极装置301由图1所示的下列部分构成：一对阳极102、104，沿薄板基板W的行进方向隔开预定的间隔设置多个；和供电导轨224，其沿薄板基板W的行进方向配设在处理槽主体100上，将上述阳极102、104悬架起来并对其通电（相当于权利要求1所述阳极与电镀槽体Al内电镀药液导通；而待镀板为阴极，待镀板通过夹具与电解装置的阴极电连接）（参见证据1说明书0094段）。在图17中，喷出装置302对薄板基板W从喷射器106喷出电镀液。从喷射器106喷出的电镀液利用排液装置200或溢流槽202从处理槽主体100排出，通过过滤器209施行过滤处理，然后，由循环泵208通过管道210返回到喷射箱204，在喷射箱204中，使电镀液的压力均等化后，再次返回到喷射器106，进行循环（相当于实现权利要求1中电镀槽体（Al）内电镀药液循环的循环系统）（参见证据1说明书0116段）。
请求人主张，管道210和循环泵208，利用过滤器对从排液装置200或溢流槽202排出后的电镀液进行过滤处理后，使该电镀液通过管道210返回到喷射箱204,相当于实现本专利权利要求1中电镀槽体Al、回流箱体A2之间电镀药液循环的过滤循环系统。
对此，合议组认为，本专利中回流箱体是一个独立于电镀槽体的、可以盛放循环电镀液的箱体，它和电镀槽体是两个不同的槽体，且具有一定的容置空间。证据1中并没有公开这样一个独立箱体，其管路210仅仅是连接电镀槽体和过滤器的管道，也不具有回流箱体的功能，因此并不能相当于本专利的回流箱体。进而，证据1也没有公开权利要求1所述的电镀槽体Al、回流箱体A2之间的电镀药液循环过滤循环系统。
因此，权利要求1与证据1的区别技术特征是，证据1未公开权利要求1所述的
（1）电镀槽装置还包括装有电镀药液的回流箱体A2，以及设置在所述回流箱体A2内实现电镀槽体Al、回流箱体A2之间电镀药液循环的过滤循环系统；
（2）回流箱体A2设置在所述机架的底部，所述电镀槽体处于所述机架1的中部，且位于所述回流箱体的上方，所述电气装置设置在所述机架1的顶部；
（3）电镀浮床装置，所述电镀浮床装置包括处于所述电镀槽体Al内的浮板2，以及处于所述待镀板传送装置上方，驱动所述浮板2在所述电镀槽体内上升或下降的浮板升降机构；所述浮板2上的供待镀板下端通过的通道14的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道14中的前行进行导向的两波浪状的导向板13。
根据本实用新型专利说明书的记载，一套完整的电镀设备包括电镀槽、电源、整流器、给整流器冷却的冷却装置、电解装置以及与电镀槽内的药液形成循环的回流箱、运送待镀件在电镀槽内前行的运载装置、清洗夹具的清洗装置、遮挡电力线的浮板结构等（参见本专利说明书0003段）。本实用新型的垂直连续电镀设备分将各组成部分有机巧妙地布置在机架的上、中、下位置，不仅能够实现垂直的连续电镀，而且结构简单紧凑，布局合理，所占空间小，此外，浮板升降机构的设置保证了好的电镀效果。电镀浮床装置不仅能够实现浮板在机架上的上升和下降的调整，而且由于使用质量较轻的钢丝绳配合结构简单的伸缩管结构来拉动浮板，因此，需要耗费驱动浮板上升和下降的能量就大大减少，大大降低了生产成本，而且整体结构也更为紧凑。电镀浮床装置浮板上的导向板的设置，能够在待镀板沿着通道前行时，代替浮板接触的是导向板，由于导向板是波浪状，因此，对待镀件不会造成刮痕，不会像现有技术中浮板直接与待镀板接触，使得划痕集中在一条直线上，非常明显，从而影响待镀板的美观和性能。电镀槽装置包括有三路循环部分的过滤循环系统的设置，使得在电镀生产过程中，电镀液不仅可以在电镀槽体与回流箱体之间循环流动，同时也使得电镀液可以在电镀槽体内部循环流动，增加了电镀液的流动性，使电镀槽装置内电镀液的化学成分更加均匀，从而使电镀层也更加均匀，提高了电镀效果。而第三循环部分的设置，既能控制电镀槽体的液面高度，同时能够实现将溢流出来的电镀药液回流至回流箱体，另外，由于喷管的进液是从液面稳定的电镀槽体中提供，而不是直接从液面不稳定的回流箱体中提供，因此，能够保证喷管单位时间内喷出来的电解液的量，以及液压均衡，电镀质量高（参见本专利说明书0048、0052、0054、0056段）。因此，本实用新型专利相对于证据1实际解决的技术问题是提供一种结构简单紧凑、所占空间小、喷镀液压稳定、电镀板外表美观的垂直连续电镀设备。
针对上述区别技术特征（1）和（2），请求人认为，基于电镀过程中会不断消耗电镀药液以及产生电镀杂质，本领域技术人员为利用除杂后的电镀药液而使用循环流动系统提高电镀效果，容易想到增设盛放多余电镀药液的回流箱体向电镀槽体Al内循环供应被过滤后的电镀药液；另外，为了使得装置整体结构紧凑，少占空间，同时又不影响待镀件传动装置的功能，很容易想到将电镀槽体与回流箱体上下设置。除此之外，证据3也公开了上述区别特征（1），其中，循环泵浦装置1和过滤装置2相当于权利要求1所述的电镀槽体A1和回流箱体A2的组合，循环泵浦装置1所在槽相当于权利要求1中装有电镀药液的回流箱体，所述过滤装置2的出口端通过循环管路4连通于所述喷管组件3相当于权利要求1中设置在回流箱体A2内实现电镀槽体Al、回流箱体A2之间电镀药液循环的过滤循环系统。
对此，合议组认为，首先，请求人并未提交证据说明设置回流箱体以及在回流箱体和电镀槽体之间设置过滤循环系统属于本领域的常规手段；证据1则显示通过管路来接收溢流出来的电镀液并将其打回喷流组件是现有技术常用的处置方式；另外，本专利利用区别特征（1）解决的是电镀槽体内液面稳定性的技术问题，使得电镀不同规格的待镀板时都能保证电镀质量，而现有技术，如证据1中的循环管路系统，循环的目的是为了避免溢流出来的电镀液损失，而不是为了保证电镀不同规格的待镀板时电镀槽内液面始终稳定，因此，直接将区别特征（1）认定为公知常识或常规手段需要进一步的证据说明。
其次，证据3公开了的是一种电镀槽过滤循环系统，其目的在于节约占地空间，并能够使喷管分流均匀，提高产品品质。所述电镀槽过滤循环系统，包括循环泵浦装置1、过滤装置2和喷管组件3，所述循环泵浦装置1连接于所述过滤装置2的进口端，其特征在于：所述过滤装置2和喷管组件3均定位设置在电镀槽内，且所述过滤装置2的出口端通过循环管路4连通于所述喷管组件3（参见证据3说明书0003、0013段）。
证据3全文中没有关于回流箱体的记载，其说明书0013段仅记载了过滤装置2和喷管组件3都定位设置在电镀槽内，从证据3的附图1中仅能够看出“循环泵浦装置1”设置在整个电镀槽过滤循环系统的底部，但是以证据3所公开的内容无法得知循环泵浦装置1是设置在槽体中的，证据3图1显示的底部框架，也不能毫无疑义的确定是回流箱体。也就是说，证据3没有公开循环泵浦装置1所在的位置究竟是槽体、支架或者其他结构，证据3中更没有公开循环泵浦装置1所在的位置装有电镀药液，因此，证据3中“循环泵浦装置1所在槽”不能相当于权利要求1所述的“装有电镀药液的回流箱体”，证据3仅公开了一个电镀槽，而没有公开独立于电镀槽的回流箱体，更没有公开设置在电镀槽体和回路箱体之间的过滤循环系统。因此，证据3没有公开该区别技术特征（1）。
针对区别特征（3），请求人认为证据2公开了相同的电镀浮床装置，而浮板上设置供待镀板下端通过的波浪状导向板属于本领域的公知常识。
对此，合议组认为，证据2公开了一种垂直式连续电镀线浮架自动升降系统，该垂直式连续电镀线浮架自动升降系统（相当于权利要求1中的电镀浮床装置）包括驱动机构1、传动机构、浮架支撑机构和浮架连接机构（上述四个部件结合相当于权利要求1中的浮板升降机构），所述驱动机构经传动机构与浮架支撑机构传动连接，所述浮架支撑机构2与浮架连接机构上部连接，所述浮架连接机构下端与浮架（相当于权利要求1中的浮板）连接，所述驱动机构还与控制单元连接。其中，所述驱动机构可采用相互配合的升降马达和减速机，所述传动机构可选用竖直设置的传动丝杆8，该传动丝杆上端与驱动机构连接，下部与所述浮架支撑机构连接，而该浮架连接机构包括对称设置的两根以上连接杆3，所述连接杆上端与所述浮架支撑机构连接，下端与所述浮架4连接。所述控制单元可采用业界己知的计算机系统、MCU、PLC等设备或元件，以实现对升降高度的自动控制(参见证据2说明书0017段，图1-3)。
即，证据2公开了电镀浮床装置的主体结构，并解决了电镀设备中浮架升降系统的准确控制，但证据2并不涉及浮板上设置导向板对待镀件电镀效果的影响。证据2没有公开权利要求1中“所述浮板（2）上的供待镀板下端通过的通道（14）的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道（14）中的前行进行导向的两波浪状的导向板（13）”的技术特征。本专利中设置波浪状导向板是为解决浮板会对待镀件造成集中划痕的技术问题（参见本专利说明书0054段），同时避免对电镀喷流产生影响，而且结构简单，能够解决本专利结构紧凑的技术问题；但是，请求人提供的证据2中仅有浮板而没有设置导向板；证据1中的导向部件是通过设置多个辊立柱和辊这种复杂结构来进行导向，证据1的辊立设体120是以基本到达薄板基板W（即，待镀板）的上部附近的高度立设在下部基板屏蔽板108上面的柱状结构，不仅结构复杂；且辊立设体120的设置客观存在很多方面的限制，否则会对电流屏蔽、电镀喷流等多方面产生不良影响（参见证据1说明书0095、0097、0113段）。
综上，请求人没有提交任何证据可以证明通过设置波浪形的导向板的手段来避免划痕集中属于本领域的公知常识。在证据2公开内容的基础上，本领域技术人员也不会想到通过在其浮板上增设波浪状导向板的技术手段解决待镀板外观美观的技术问题。因此，以证据1为最接近现有技术，证据1与证据2的结合，或者证据1与证据2、3的结合均不足以破坏权利要求1的创造性。
4.2请求人还主张，以证据3作为最接近的现有技术，权利要求1相对于证据3结合证据2不具备创造性。
证据3公开了一种电镀槽过滤循环系统，其目的在于节约占地空间，并能够使喷管分流均匀，提高产品品质。所述电镀槽过滤循环系统，包括循环泵浦装置1、过滤装置2和喷管组件3，所述循环泵浦装置1连接于所述过滤装置2的进口端，其特征在于：所述过滤装置2和喷管组件3均定位设置在电镀槽内，且所述过滤装置2的出口端通过循环管路4连通于所述喷管组件3（参见证据3说明书0003、0013段）。从说明书附图1可以看出待镀件是通过一个待镀件传送装置的夹具悬挂在电镀槽内两个阳极的两侧喷管之间，显然存在一个待镀件传动装置带动夹具以及夹具下方的待镀件在电镀槽内移动。
因此，权利要求1与证据3的区别特征在于，证据3未公开权利要求1所述的
（1）电解装置，以待镀板为阴极，以待镀金属为阳极，对所述电镀槽体Al内的待镀板进行电镀；电气装置，为所述电解装置提供直流电源；所述电解装置的阴极与所述待镀板传送装置上的夹紧待镀板的夹具电连接，阳极与所述电镀槽体Al内电镀药液导通，所述电气装置设置在所述机架1的顶部；
（2）电镀槽装置还包括装有电镀药液的回流箱体A2，以及设置在所述回流箱体A2内实现电镀槽体Al、回流箱体A2之间电镀药液循环的过滤循环系统；回流箱体A2设置在所述机架的底部，所述电镀槽体处于所述机架1的中部，且位于所述回流箱体的上方；
（3）电镀浮床装置，所述电镀浮床装置包括处于所述电镀槽体Al内的浮板2，以及处于所述待镀板传送装置上方，驱动所述浮板2在所述电镀槽体内上升或下降的浮板升降机构；所述浮板2上的供待镀板下端通过的通道14的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道14中的前行进行导向的两波浪状的导向板13。
基于上述分析，权利要求1相对于证据3实际解决的技术问题是提供一种整体上结构简单紧凑、所占空间小、喷镀液压稳定、电镀板外表美观的垂直连续电镀设备。
如上所述，证据3全文中没有关于回流箱体的记载，由证据3所公开的内容无法得知循环泵浦装置1是设置在槽体中，证据3没有公开独立于电镀槽的回流箱体，更没有公开设置在电镀槽体和回路箱体之间的过滤循环系统。而证据2虽然公开了电镀浮床装置的主体结构， 但2并不涉及浮板上设置导向板对待镀件电镀效果的影响，没有公开权利要求1中“所述浮板（2）上的供待镀板下端通过的通道（14）的两侧的上表面还设有对待镀件在所述通道（14）中的前行进行导向的两波浪状的导向板（13）”的技术特征。请求人没有提交任何证据可以证明通过设置波浪形的导向板的手段来避免划痕集中属于本领域的公知常识。因此，以证据3为最接近现有技术，证据3与证据2的结合仍不足以破坏权利要求1的创造性。
证据4公开了垂直连续电镀的传动系统，证据5、证据7均公开了喷流漂浮式电镀槽结构，证据6公开了一种适用于半导体基板用电镀设备。至少，这些证据中均没有公开波浪状导向板的使用。
因此，在权利要求1相对于证据1结合证据2、证据1结合证据2、证据3、或证据3结合证据2具备创造性的基础上，直接或间接引用权利要求1的权利要求2-31同样具备创造性。
基于上述事实和理由，合议组作出如下审查决定。
三、决定
在专利权人于2019年08月23日提交的权利要求1-31项基础上，维持201520024612.4号实用新型专利权有效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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