发明创造名称：用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法
外观设计名称：
决定号：201739
决定日：2020-01-20
委内编号：1F277139
优先权日：
申请（专利）号：201480076871.X
申请日：2014-12-02
复审请求人：应用材料意大利有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：谢绍俊
合议组组长：周江
参审员：吕媛
国际分类号：H01L31/18
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
决定要点：如果一项权利要求的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，则该权利要求具备新颖性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201480076871.X，名称为“用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法”的发明专利申请（本申请）。申请人为应用材料意大利有限公司。本申请的申请日为2014年12月02日，公开日为2016年11月09日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年12月05日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1，3，4，6-11和16-20相对于对比文件2(CN103252991A，公开日为2013年08月21日)不具有专利法第22条第2款规定的新颖性，权利要求2，5，11-15相对于对比文件2和本领域公知常识的结合不具有专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为：2016年09月06日提交的说明书附图、说明书摘要、摘要附图；2017年03月16日提交的说明书第1-83段；2018年01月11日提交的权利要求第1-20项作出本驳回决定。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种用于处理基板的太阳能电池生产装置，包括：
至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；
一个或多个印刷站，经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及
检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。
2. 如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个第一相机包括至少一个线性相机或至少一个矩阵相机。
3. 如权利要求1所述的装置，包括：
包括所述一个或多个印刷站的两个或更多个处理站；及
至少一个传输装置，经配置以在水平方向及垂直方向上传输所述至少一个基板支撑件，以供在所述两个或更多个处理站间传输所述至少一个基板支撑件。
4. 如权利要求1所述的装置，其中所述检查系统经配置以进行所述基板上的印刷结构的质量检查。
5. 如权利要求2所述的装置，其中所述检查系统经配置以进行所述基板上的印刷结构的质量检查。
6. 如权利要求1所述的装置，更包括对准系统，所述对准系统经配置以对准所述基板支撑件及印刷装置中的至少一者的位置及角定向中的至少一者。
7. 如权利要求6所述的装置，其中所述对准系统经配置以在水平平面中对准所述基板支撑件及所述印刷装置中的至少一者的位置及角定向中的至少一者。
8. 如权利要求6所述的装置，其中所述对准系统经配置以基于由所述检查系统所检测的所述印刷结构的所述位置，来调整所述基板支撑件及所述印刷装置中的至少一者的所述位置及所述角定向中的至少一者。
9. 如权利要求7所述的装置，其中所述对准系统是经配置以在所述基板上形成另一印刷结构之前，调整所述基板支撑件及所述印刷装置中的至少一者的所述位置及所述角定向中的至少一者。
10. 如权利要求6所述的装置，其中所述对准系统经配置，以基于所述基板支撑件上的所述基板上的所述印刷结构的所述经检测位置，来调整后续基板支撑件的所述位置及所述角定向中的至少一者。
11. 如权利要求1至10中的任一权利要求所述的装置，其中所述检查系统更包括至少一个第二相机。
12. 如权利要求11所述的装置，其中所述至少一个第二相机是矩阵相机。
13. 如权利要求11所述的装置，其中所述至少一个第二相机经配置以供在所述基板上形成所述印刷结构前，检测所述基板支撑件上的所述基板的位置。
14. 如权利要求11所述的装置，更包括传输轨迹，所述传输轨迹经配置以传输所述基板支撑件，其中所述至少一个第二相机、所述一个或多个印刷站中的至少一个印刷站及所述至少一个第一相机沿所述传输轨迹顺序布置。
15. 如权利要求13所述的装置，更包括传输轨迹，所述传输轨迹经配置以供传输所述基板支撑件，其中所述至少一个第二相机、所述一个或多个印刷站中的至少一个印刷站及所述至少一个第一相机沿所述传输轨迹顺序布置。
16. 如权利要求1所述的装置，其中所述装置经配置以进行以下步骤中的至少一者：丝网印刷、喷墨印刷及激光处理。
17. 一种用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法，包括以下步骤：
在定位于基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及
在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过至少一个第一相机的视场时，藉由所述至少一个第一相机，来检测所述基板上的所述印刷结构的位置。
18. 如权利要求17所述的方法，更包括以下中的至少一项：
在所述基板上形成另一印刷结构之前，基于由所述至少一个第一相机所检测的所述印刷结构的所述位置，来调整所述基板支撑件及印刷装置中的至少一者的所述位置及所述角定向中的至少一者；及
使用反馈控制，基于所述基板支撑件上的所述基板上的所述印刷结构的所检测位置，来调整后续基板支撑件的所述位置及所述角定向中的至少一者。
19. 如权利要求17或18所述的方法，更包括：
在印刷处理期间，相对于印刷装置，移动所述基板支撑件。
20. 如权利要求19所述的方法，其中所述印刷装置在所述印刷处理期间固定在位。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年03月20日向国家知识产权局提出了复审请求，未修改申请文件。复审请求人认为：对比文件1中，如图9-10所示，基板必须在位置1处停止，沿着由箭头D1指示的方向从位置1转移到位置2以进行丝网印刷，沿着方向D2转移到位置3，停止，然后转移到传出输送机912。显然，在对比文件2的系统中，相机921不“在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置”。也就是说，对比文件2的系统是在基板的停止状态下进行检测的。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年03月27日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为，对比文件2（说明书第0098-0099段）公开了相机921定位成检验设置于位置“1”的印刷巢931上的进入或处理后的衬底650 和位置“3”的处理后的衬底650，即本申请所述相机921固定在位置“1”和位置“3”的上方。可以包括一个或多个相机921的检验组件1000能够在已经进行处理之前和之后检验衬底650。由此可见，对比文件的包括一个或多个相机921的检验组件1000是对基本进行实时检测。另外，基本的处理过程，例如印刷、掩膜沉积、蚀刻等处理操作，不可能完全是在基板的运动状态下进行的，有些处理过程要求在基板处于停止的状态下进行。对运动状态下和停止状态下的基板进行检测，都是基板的检测过程，这在基板的处理过程都是必须的。因此复审请求人关于本申请权利要求具有新颖性和创造性的意见陈述不能被接受 ，因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019 年08 月13 日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1，3，4，6-15，和16-20相对于对比文件2不具有专利法第22条第2款规定的新颖性，权利要求2，5，11-15相对于对比文件2和本领域公知常识的结合不具有专利法第22条第3款规定的创造性。
复审请求人于2019年09月29日提交了意见陈述书，并提交了新的权利要求第1-20项。复审请求人认为：对比文件2没有提供任何与提供基板支撑件的垂直移动有关的技术启示，本申请在水平方向和垂直方向上均可移动基板支撑件，使得该基板支撑件被垂直布置或堆叠，从而只需要较少的安装空间，进而增加装置的生产量，对比文件1和对比文件2均没有上述技术效果。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人于2019年09月29日提交了权利要求书全文的修改替换页（包括权利要求第1-20项）。经审查，上述修改符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。
本复审决定依据的文本为：复审请求人于2016年09月06日提交的说明书附图、说明书摘要、摘要附图；2017年03月16日提交的说明书第1-83段；2019年09月29日提交的权利要求第1-20项。
具体理由的阐述
专利法第22条第2款规定：新颖性，是指该发明或者使用新型不属于现有技术；也没有任何单位或者个人就同样的发明或者实用新型在申请日以前向国务院专利行政部门提出过申请，并记载在申请日以后公布的专利申请文件或者公告的专利文件中。
如果一项权利要求的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，则该权利要求具备新颖性。
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，该区别技术特征不是本领域公知常识，且上述区别技术特征还使得权利要求的技术方案具备有益的技术效果，那么该项权利要求相对于已有的对比文件具备创造性。
本决定继续使用驳回决定中所引用的对比文件2，即：
对比文件2：CN103252991A，公开日为2013年08月21日。
独立权利要求1
权利要求1要求保护一种用于处理基板的太阳能电池生产装置。对比文件2（参见权利要求1-25，说明书第0080-0130段，附图9-18）公开了一种在太阳能电池基板上印刷图案的设备，包括：用于支撑衬底650的多个印刷巢931（本申请所述基板支撑件）；多个丝网印刷腔室902，丝网印刷腔室902适应于在丝网印刷过程期间将所需图案的材料沉积在位于处于印刷巢931上的衬底650的表面上（说明书第0084段）；检验组件1000，检验组件1000包括一个或多个相机921（说明书第0098段），该检验组件1000被定位成检验设置于印刷巢931上的衬底650的表面651（说明书第0104段），由检测器设备1101获取（印刷图案）的光学图像推导出定向和对准数据（说明书第0110段）。
该权利要求1所要求保护的技术方案与对比文件2所公开的技术内容相比，其区别在于：至少一个传输装置，经配置以在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，以供在所述一个或多个处理站之间传输所述至少一个基板支撑件。权利要求1的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，则该权利要求1具备新颖性。
基于上述区别技术特征，权利要求1相对于对比文件2实际所要解决的技术问题是：增加装置的生产量。
对于区别技术特征，对比文件2所述的基板传输是旋转式的或者线性的，不涉及垂直方向的移动。因此对比文件2未公开了上述区别技术特征：至少一个传输装置，经配置以在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，以供在所述一个或多个处理站之间传输所述至少一个基板支撑件。同时该区别技术特征也不是本领域公知常识。且该区别技术特征还带来了有益的技术效果即经配置以在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，使得所述基板支撑件上的所述基板可以同时从一个处理站移动至另一个处理站，而彼此不干扰，进而增加装置的生产量的有益技术效果。
因此权利要求1的技术方案相对于对比文件2和本领域公知常识具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求2-16
权利要求2-16直接或间接引用了权利要求1，由于权利要求1具备新颖性，则权利要求2-16具备新颖性；在权利要求1相对于对比文件2和本领域公知常识具备创造性时，权利要求2-16相对于对比文件2和本领域公知常识也具备创造性。
独立权利要求17
权利要求17要求保护一种用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法。对比文件2（参见权利要求1-25，说明书第0080-0130段，附图9-18）公开了一种在太阳能电池基板上印刷图案的方法，包括：用于支撑衬底650的多个印刷巢931（本申请所述基板支撑件）；多个丝网印刷腔室902，丝网印刷腔室902适应于在丝网印刷过程期间将所需图案的材料沉积在位于处于印刷巢931上的衬底650的表面上（说明书第0084段）；检验组件1000，检验组件1000包括一个或多个相机921（说明书第0098段），该检验组件1000被定位成检验设置于印刷巢931上的衬底650的表面651（说明书第0104段），由检测器设备1101获取（印刷图案）的光学图像推导出定向和对准数据（说明书第0110段）。
该权利要求17所要求保护的技术方案与对比文件2所公开的技术内容相比，其区别在于：在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，以供在所述一个或多个处理站之间传输所述至少一个基板支撑件。权利要求17的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，则该权利要求17具备新颖性。
基于上述区别技术特征，权利要求17相对于对比文件2实际所要解决的技术问题是：增加装置的生产量。
对于区别技术特征，对比文件2所述的基板传输是旋转式的或者线性的，不涉及垂直方向的移动。因此对比文件2未公开了上述区别技术特征：在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，以供在所述一个或多个处理站之间传输所述至少一个基板支撑件。同时该区别技术特征也不是本领域公知常识。且该区别技术特征还带来了有益的技术效果即经配置以在水平方向及垂直方向上传输定位于所述基板支撑件上的所述基板，使得所述基板支撑件上的所述基板可以同时从一个处理站移动至另一个处理站，而彼此不干扰，进而增加装置的生产量的有益技术效果。
因此权利要求17的技术方案相对于对比文件2和本领域公知常识具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求18-20
权利要求18-20直接或间接引用了权利要求17，由于权利要求17具备新颖性，则权利要求18-20具备新颖性；在权利要求17相对于对比文件2和本领域公知常识具备创造性时，权利要求18-20相对于对比文件2和本领域公知常识也具备创造性。
关于驳回决定和前置审查意见
原审查部门在驳回决定和前置审查意见书中认为：对比文件2（说明书第0098-0099段）公开了相机921定位成检验设置于位置“1”的印刷巢931上的进入或处理后的衬底650 和位置“3”的处理后的衬底650，即本申请所述相机921固定在位置“1”和位置“3”的上方。可以包括一个或多个相机921的检验组件1000能够在已经进行处理之前和之后检验衬底650。由此可见，对比文件的包括一个或多个相机921的检验组件1000是对基本进行实时检测。另外，基本的处理过程，例如印刷、掩膜沉积、蚀刻等处理操作，不可能完全是在基板的运动状态下进行的，有些处理过程要求在基板处于停止的状态下进行。对运动状态下和停止状态下的基板进行检测，都是基板的检测过程，这在基板的处理过程都是必须的。
对此，合议组认为：对比文件2没有具体公开相机 921所检测的衬底650是在衬底处于运动的状态进行检测的问题，本领域技术人员为了提高太阳能电池基板的生产效率，会自然的想到对太阳能电池基板处于运动状态时，对其进行实时检测，以避免由于基板的停顿所可能导致的太阳能电池基板生产效率的降低。
三、决定
撤销国家知识产权局于 2018年12 月05 日对本申请作出的驳回决定。由国家知识产权局原审查部门以下述文本为基础继续进行审批程序：
复审请求人于2016年09月06日提交的说明书附图、说明书摘要、摘要附图；2017年03月16日提交的说明书第1-83段；2019年09月29日提交的权利要求第1-20项。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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