发明创造名称：用于处理基板的设备及方法
外观设计名称：
决定号：199303
决定日：2020-01-03
委内编号：1F285128
优先权日：2014-07-08
申请（专利）号：201510388839.1
申请日：2015-07-03
复审请求人：细美事有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：蒋煜婧
合议组组长：刘乐
参审员：马良
国际分类号：H01L21/67，H01L21/02
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：权利要求与对比文件相比存在区别特征，而区别特征属于本领域的常用技术手段，对所属领域的技术人员来说，在最接近的现有技术的基础上结合本领域的常用技术手段得到该权利要求所要求保护的技术方案是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201510388839.1，名称为“用于处理基板的设备及方法”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为细美事有限公司。本申请的申请日为2015年07月03日，优先权日为2014年07月08日，公开日为2016年01月27日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2019年02月14日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-8不符合专利法第22条第3款的规定。权利要求1的技术方案与对比文件1（JP特开2008-253893A，公开日为2008年10月23日）公开的技术方案相比，区别技术特征为所述流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩；测量所述第一流速的流速测量单元。基于此区别技术特征，该权利要求实际所要解决的技术问题是增加气体的压力及精确控制液体流速。在所属技术领域，通过设置孔的内径逐渐收缩，来增加流体的压力，属于本领域的常用技术手段。对比文件1公开了需要调整液体至所需流速，在此基础上，为了精确控制液体流速，设置测量处理液的流速（即第一流速）的流速测量单元，这是本领域的常用技术手段。因此，权利要求1相对于对比文件1和本领域的常用技术手段的结合不具备创造性。权利要求2-5的附加技术特征或被对比文件1所公开或属于本领域的公知常识，因此权利要求2-5也不具备创造性。基于类似的理由，权利要求6-8也不具备创造性。驳回决定所依据的文本为申请日2015年07月03日提交的说明书第1-52段、说明书附图图1-7、说明书摘要、摘要附图；2018年11月19日提交的权利要求第1-8项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种用于处理基板的设备，其特征在于，所述设备包括：
基板支撑单元，所述基板支撑单元支撑基板；以及
液体供应单元，所述液体供应单元将处理液供应到所述基板支撑单元所支撑的基板上，
其中，所述液体供应单元包括：
将所述处理液排放到基板上表面的喷嘴；
将所述处理液供应到所述喷嘴的液体供应管线；
安装在所述液体供应管线上的混合构件，所述混合构件在其内部形成有混合空间；以及
连接到所述混合构件以将气体供应到所述混合空间的气体供应管线，
其中，所述混合构件包括：
壳体，所述壳体在其内部形成有所述混合空间；和
流入孔，所述流入孔与所述壳体相通且所述流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩，以使通过所述流入孔供应的气体在所述混合空间内与所述处理液混合以形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡，
所述用于处理基板的设备进一步包括：
安装在所述液体供应管线上的液体流速调节器，所述液体流速调节器控制所述处理液的第一流速；
安装在所述气体供应管线上的气体流速调节器，所述气体流速调节器控制所述气体的第二流速；以及
控制器，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速；以及
测量所述第一流速和所述第二流速的流速测量单元。
2. 根据权利要求1所述的用于处理基板的设备，其特征在于，进一步包括：
从所述液体供应管线的某部分上分叉的排出管线，所述排出管线设置在所述处理液的供应方向上所述混合构件的下游。
3. 根据权利要求2所述的用于处理基板的设备，其特征在于，进一步包括：
安装在所述液体供应管线上的供应阀，所述供应阀设置在所述处理液的供应方向上在所述排出管线分叉所在点的下游；和
安装在所述排出管线上的排出阀，
其中，所述控制器根据从所述流速测量单元接收的数据控制所述供应阀和所述排出阀。
4. 根据权利要求3所述的用于处理基板的设备，其特征在于，
如果接收的数据为正常状态，所述控制器打开所述供应阀以打开所述液体供应管线；
如果接收的数据为错误状态，所述控制器打开所述排出阀以打开所述排出管线，
其中，所述正常状态是指气泡的直径等于或小于1微米，
所述错误状态是指气泡的直径大于1微米。
5. 根据权利要求1-4任一项所述的用于处理基板的设备，其特征在于，
所述第一流速对应于第一压力，
所述第二流速对应于第二压力，
其中，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第一压力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa。
6. 一种用于处理基板的方法，其特征在于，所述方法包括：
通过内径朝着壳体逐渐收缩的流入孔，将气体供应到处理液，以使所述处理液与所述气体相混合；然后，
将混合有气体的处理液供应到基板上以处理所述基板；
其中，所述气体与所述处理液相混合以在所述处理液中形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡；
所述将气体供应到处理液包括：
测量所述处理液的第一流速、和所述气体的第二流速；和
调节处理液的第一流速和气体的第二流速中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速。
7. 根据权利要求6所述的用于处理基板的方法，其特征在于，如果 所述气泡的直径等于或小于1微米，则将处理液供应到基板上；
如果所述气泡的直径大于1微米，则将处理液收集起来。
8. 根据权利要求6或7所述的用于处理基板的方法，其特征在于，所述第一流速对应于第一压力，
所述第二流速对应于第二压力，
其中，所述调节第一流速和第二流速中的至少一个包括：
调节所述第一压力和所述第二压力中的至少一个，以使所述第一压力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年06月03日向国家知识产权局提出了复审请求，同时提交了权利要求书的替换页，包括权利要求第1-6项，其中分别将原从属权利要求5和8的附加技术特征加入原独立权利要求1和6中，删除原权利要求5和8。复审请求人认为：1）对比文件1说明书第5-6段、及权利要求1、3-4只是概述性的提及了“纳米颗粒”；对比文件1中提供的装置未公开可形成纳米级气泡，只公开其中产生的气泡为微泡，比本申请获得的纳米级气泡大很多。2）对比文件1已经实现了对气体供应管线的加压控制（增外压的方式）。由此可知，基于对比文件1已经没有动机采用进一步的气体加压部件或手段（如本申请权利要求1的“流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩”）来进一步实现加压控制。3）基于对比文件1说明书第19段的公开“处理液的压力为8kg／cm2-9kg／cm2，气体压力为9kg／cm2-10kg／cm2”，由此基于对比文件1的上述公开可知，气体压力和处理液压力之差为0-196kPa，新增入权利要求1的技术特征限定了一个相对于对比文件1公开的数值更小的压差。复审请求时新修改的权利要求第1和5项如下：
“1. 一种用于处理基板的设备，其特征在于，所述设备包括：
基板支撑单元，所述基板支撑单元支撑基板；以及
液体供应单元，所述液体供应单元将处理液供应到所述基板支撑单元所支撑的基板上，
其中，所述液体供应单元包括：
将所述处理液排放到基板上表面的喷嘴；
将所述处理液供应到所述喷嘴的液体供应管线；
安装在所述液体供应管线上的混合构件，所述混合构件在其内部形成有混合空间；以及
连接到所述混合构件以将气体供应到所述混合空间的气体供应管线，
其中，所述混合构件包括：
壳体，所述壳体在其内部形成有所述混合空间；和
流入孔，所述流入孔与所述壳体相通且所述流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩，以使通过所述流入孔供应的气体在所述混合空间内与所述处理液混合以形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡，
所述用于处理基板的设备进一步包括：
安装在所述液体供应管线上的液体流速调节器，所述液体流速调节器控制所述处理液的第一流速；
安装在所述气体供应管线上的气体流速调节器，所述气体流速调节器控制所述气体的第二流速；以及
控制器，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速；以及
测量所述第一流速和所述第二流速的流速测量单元；
其中所述第一流速对应于第一压力，所述第二流速对应于第二压力，和
其中，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第一压力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa。
5. 一种用于处理基板的方法，其特征在于，所述方法包括：
通过内径朝着壳体逐渐收缩的流入孔，将气体供应到处理液，以使所述处理液与所述气体相混合；然后，
将混合有气体的处理液供应到基板上以处理所述基板；
其中，所述气体与所述处理液相混合以在所述处理液中形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡；
所述将气体供应到处理液包括：
测量所述处理液的第一流速、和所述气体的第二流速；和
调节处理液的第一流速和气体的第二流速中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速；以及
所述第一流速对应于第一压力，所述第二流速对应于第二压力，
其中，所述调节第一流速和第二流速中的至少一个包括：
调节所述第一压力和所述第二压力中的至少一个，以使所述第一压 力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa。”
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年06月10日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：（1）对比文件1第0006段记载了“前記洗浄液供給手段によって前記吐出ノズルへ供給される洗浄液中に気体を混入させて洗浄液中にマイクロバブルもしくはナノバブル（以下、代表して単に「マイクロバブル」という）を発生させるバブル発生手段を備えて”，对比文件1在第0006段以后的下文中出现的“微米气泡”均是代表“微米气泡和纳米气泡”；第0005段、权利要求1、3、4中均提到了“ナノバブル”即纳米级气泡；第0004段中记载的是“微米气泡是具有直径等于或小于70u m~50u m超细气泡”，其包括小于70u m~50u m即可以达到纳米级别；因此，对比文件1形成了纳米级气泡。（2）复审请求人在意见陈述中所述“流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩，来实现加压控制”，在原始申请文件中没有记载，为复审请求人事后赋予。虽然对比文件1中采用“增外压的方式”来增加气体压力，但是采用本申请的“流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩”来增加流体的压力，属于本领域的另一常用技术手段，因此，本领域技术人员有动机将其应用到对比文件1中，以进一步增加气体的压力。申请人在意见陈述中所述“本申请只采用了对比文件1没有明确教导的方式（内径朝着壳体逐渐收缩），而没有采用对比文件1明确教导的增外压的方式”，在权利要求中没有记载，在原说明书中也没有记载。（3）对比文件1第0019段公开了“处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，气体的压力稍高于处理液的压力”，因此，本领域技术人员可以确定这相当于本申请中的使所述气体的流速大于所述处理液的流速，即已经公开了特征“所述第二流速大于所述第一流速”。（4）新加入的原权利要求5的特征：对比文件1第0018-0019段已经公开了“所述处理液的流速对应于处理液的压力（相当于第一压力），所述气体的流速对应于气体的压力（相当于第二压力），其中，所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18（二者相当于液体流速调节器）和所述流量调整阀34与加压阀30（二者相当于气体流速调节器）中的至少一个，处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，气体的压力稍高于处理液的压力，由于1 kg/cm2=98kpa，通过计算可知处理液的压力与气体的压力之差范围为0-196kpa”，在此基础上，本领域技术人员在实际应用中有动机在上述数值范围内优化选择，以使气体的压力稍高于处理液的压力，权利要求中的数值“100 kPa或小于100 kPa”是本领域技术人员经过合乎逻辑的推理和有限试验可以得到，无需付出创造性的劳动，其未带来预料不到的技术效果，因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年08月28日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1-6相对于对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。针对复审请求人的陈述意见，合议组认为：1）对比文件1第0006段记载了“前記洗浄液供給手段によって前記吐出ノズルへ供給される洗浄液中に気体を混入させて洗浄液中にマイクロバブルもしくはナノバブル（以下、代表して単に「マイクロバブル」という）を発生させるバブル発生手段を備えて”，对比文件1在第0006段以后的下文中出现的“微米气泡”均是代表“微米气泡和纳米气泡”；第0005段、权利要求1、3、4中均提到了形成纳米级气泡，也就是说对比文件1公开了能够产生纳米级气泡的技术方案。2）虽然对比文件1中采用“增外压的方式”来增加气体压力，但是采用本申请的“流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩”来增加流体的压力，属于本领域的另一常用技术手段，因此，本领域技术人员可以用其替代对比文件1中的增压方法，这种代替是所属技术领域中的常用手段，其效果实质上相同。3）对比文件1第0019段公开了“处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，气体的压力稍高于处理液的压力”，因此，本领域技术人员可以确定这相当于本申请中的使所述气体的流速大于所述处理液的流速，即已经公开了特征“所述第二流速大于所述第一流速”。针对新加入的权利要求1的技术特征，对比文件1第0018-0019段已经公开了“所述处理液的流速对应于处理液的压力（相当于第一压力），所述气体的流速对应于气体的压力（相当于第二压力），其中，所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18（二者相当于液体流速调节器）和所述流量调整阀34与加压阀30（二者相当于气体流速调节器）中的至少一个，处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，气体的压力稍高于处理液的压力，由于1 kg/cm2=98kpa，通过计算可知处理液的压力与气体的压力之差范围为0-196kpa”，在此基础上，本领域技术人员在实际应用中有动机在上述数值范围内优化选择，本领域技术人员经过合乎逻辑的推理和有限试验可以得到第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa，无需付出创造性的劳动，其未带来预料不到的技术效果。并且如果对比文件1中的处理液的压力为8kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2时，压力差落入到100 kPa或小于100 kPa范围内。
复审请求人于2019年10月11日提交了意见陈述书，同时提交了权利要求书的替换页，包括权利要求第1-2项，其中将原权利要求2-4的附加技术特征补充到原权利要求1中，将原权利要求6的附加技术特征补充到原权利要求5中，并删除了原权利要求2-4和6。复审请求人认为：1）本申请的处理液和气体是在混合构件的壳体内部的混合空间之内进行混合，而对比文件1并未特意设置混合空间；2）对比文件1中即使提到了纳米气泡，也只是概述性的，基于对比文件1的上述公开内容，如果气泡的直径为纳米级的，则无法实现对比文件1清除基板表面粒子的技术效果。因此对比文件1给出了与本申请权1中的纳米级气泡相反的技术启示。3）对比文件1中通过外部增压装置，直接将清洗液和气体供应至三路支管中，供应的流体已经为高压流体，因此在对比文件1的基础上，本领域的技术人员没有动机对上述高压流体再进一步进行加压。4）流体的压力与流速并不成比例关系，还与供应的管径、断面形状、管壁粗糙度等多种因素有关。因此对比文件1并未公开本申请权利要求1中所请求保护的“所述第二流速（气体流速）大于所述第一流速（液体流速）”的技术特征；5）对比文件1中的气体压力和处理液压力之差为0-196kPa。而本申请权利要求1将第一压力与第二压力限定在一个相对于对比文件1公开的数值更小的压差。6）对比文件1并未公开任何与本申请修改后的权利要求1中相同的、用于根据处理液中气泡直径大小控制处理液流向的控制器。新提交的权利要求书如下：
“1. 一种用于处理基板的设备，其特征在于，所述设备包括：
基板支撑单元，所述基板支撑单元支撑基板；以及
液体供应单元，所述液体供应单元将处理液供应到所述基板支撑单元所支撑的基板上，
其中，所述液体供应单元包括：
将所述处理液排放到基板上表面的喷嘴；
将所述处理液供应到所述喷嘴的液体供应管线；
安装在所述液体供应管线上的混合构件，所述混合构件在其内部形成有混合空间；以及
连接到所述混合构件以将气体供应到所述混合空间的气体供应管线，
其中，所述混合构件包括：
壳体，所述壳体在其内部形成有所述混合空间；和
流入孔，所述流入孔与所述壳体相通且所述流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩，以使通过所述流入孔供应的气体在所述混合空间内与所述处理液混合以形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡，
所述用于处理基板的设备进一步包括：
安装在所述液体供应管线上的液体流速调节器，所述液体流速调节器控制所述处理液的第一流速；
安装在所述气体供应管线上的气体流速调节器，所述气体流速调节器控制所述气体的第二流速；以及
控制器，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速；以及
测量所述第一流速和所述第二流速的流速测量单元；
其中所述第一流速对应于第一压力，所述第二流速对应于第二压力，和
其中，所述控制器控制所述液体流速调节器和所述气体流速调节器中的至少一个，以使所述第一压力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa；
其中，所述用于处理基板的设备进一步包括：
从所述液体供应管线的某部分上分叉的排出管线，所述排出管线设置在所述处理液的供应方向上所述混合构件的下游；
安装在所述液体供应管线上的供应阀，所述供应阀设置在所述处理液的供应方向上在所述排出管线分叉所在点的下游；和
安装在所述排出管线上的排出阀，
其中，所述控制器根据从所述流速测量单元接收的数据控制所述供应阀和所述排出阀；
其中，如果接收的数据为正常状态，所述控制器打开所述供应阀以打开所述液体供应管线；
如果接收的数据为错误状态，所述控制器打开所述排出阀以打开所述排出管线，
其中，所述正常状态是指气泡的直径等于或小于1微米，
所述错误状态是指气泡的直径大于1微米。
2. 一种用于处理基板的方法，其特征在于，所述方法包括：
通过内径朝着壳体逐渐收缩的流入孔，将气体供应到处理液，以使所述处理液与所述气体相混合；然后，
将混合有气体的处理液供应到基板上以处理所述基板；
其中，所述气体与所述处理液相混合以在所述处理液中形成直径为1微米或小于1微米的纳米级气泡；
其中，如果所述气泡的直径等于或小于1微米，则将处理液供应到基板上；
如果所述气泡的直径大于1微米，则将处理液收集起来，
所述将气体供应到处理液包括：
测量所述处理液的第一流速、和所述气体的第二流速；和
调节处理液的第一流速和气体的第二流速中的至少一个，以使所述第二流速大于所述第一流速；以及
所述第一流速对应于第一压力，所述第二流速对应于第二压力，
其中，所述调节第一流速和第二流速中的至少一个包括：
调节所述第一压力和所述第二压力中的至少一个，以使所述第一压力与所述第二压力之差为100kpa或小于100kpa。”
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人于2019年10月11日提交了权利要求书全文的修改替换页，包括权利要求第1-2项。经审查，上述修改符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。
本复审决定依据的文本为：申请日2015年07月03日提交的说明书第1-52段、说明书附图图1-7、说明书摘要、摘要附图；2019年10月11日提交的权利要求第1-2项。
关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步。
权利要求与对比文件相比存在区别特征，而区别特征属于本领域的常用技术手段，对所属领域的技术人员来说，在最接近的现有技术的基础上结合本领域的常用技术手段得到该权利要求所要求保护的技术方案是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
在本决定中引用原审查部门在驳回决定中所引用的对比文件1作为现有技术，即：
对比文件1：JP特开2008-253893A，公开日为2008年10月23日。
2.1. 权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求1要求保护一种用于处理基板的设备，对比文件1是最接近的现有技术，其公开了一种用于处理基板的设备，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0002-0031段，图1-6)：如图5所示，设备包括：旋转卡盘68（相当于基板支撑单元），所述旋转卡盘68支撑基板W；以及由喷嘴72、洗净液供给配管74或16、气体供应管线28和三向歧管24构成的液体供应单元，所述液体供应单元将处理液供应到所述旋转卡盘68所支撑的基板W上，其中，所述液体供应单元包括：将所述处理液排放到基板W上表面的喷嘴72；将所述处理液供应到所述喷嘴72的洗净液供给配管74或16（相当于液体供应管线）；安装在所述洗净液供给配管74或16上的三向歧管24（相当于混合构件），所述三向歧管24在其内部形成有混合空间；以及连接到所述三向歧管24以将气体供应到所述混合空间的气体供应管线28，其中，本领域技术人员可以确定所述三向歧管24包括：壳体，所述壳体在其内部形成有所述混合空间；和与注入部26连接的喷出孔（即流入孔，第0018段），所述喷出孔与所述壳体相通以使通过所述喷出孔供应的气体在所述混合空间内与所述处理液混合以形成纳米级气泡，本领域技术人员可以确定纳米级气泡的直径为等于或小于1微米，所述用于处理基板的设备进一步包括：安装在所述洗净液供给配管74或16上的流量调整阀22与高压泵18（二者相当于液体流速调节器），所述流量调整阀22和高压泵18控制所述处理液的流速（相当于第一流速）；安装在所述气体供应管线28上的流量调整阀34与加压阀30（二者相当于气体流速调节器），所述流量调整阀34和加压阀30控制所述气体的流速（相当于第二流速）；以及控制器38，所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，以使所述气体的压力大于所述处理液的压力，以及测量所述气体的流速的流量计36（相当于流速测量单元）。本领域技术人员可以确定，所述处理液的流速对应于处理液的压力（相当于第一压力），所述气体的流速对应于气体的压力（相当于第二压力），其中，所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，从所述洗净液供给配管74或16的上侧弯曲部76（相当于某部分上分叉）的排气管78（相当于排出管线），所述排气管78设置在所述处理液的供应方向上所述三向歧管24的下游，安装在所述排气管78上的流量调整阀80（相当于排出阀），其中，所述控制器38控制所述流量调整阀80。含有比微米级气泡大的大气泡时，控制器38打开流量调整阀80（相当于排出阀）以通过所述排气管78（相当于排出管线）排出集聚的气体。
该权利要求的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征是：1）所述流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩；测量所述第一流速的流速测量单元，第二流速大于所述第一流速；2）第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa；3）供应阀设置在所述处理液的供应方向上在所述排出管线分叉所在点的下游，所述控制器根据从所述流速测量单元接收的数据控制所述供应阀和所述排出阀；其中，如果接收的数据为正常状态，所述控制器打开所述供应阀以打开所述液体供应管线；如果接收的数据为错误状态，所述控制器打开所述排出阀以打开所述排出管线， 其中，所述正常状态是指气泡的直径等于或小于1微米，所述错误状态是指气泡的直径大于1微米。基于上述区别技术特征，该权利要求实际所要解决的技术问题是增加气体的压力以及精确控制液体流速和气泡。
针对区别特征1），在所属技术领域，通过设置孔的内径逐渐收缩，来增加流体的压力，也是本领域的一种常用技术手段，用其代替对比文件1中的增压方法是所属技术领域中的常用手段之间的替换，其效果实质上相同。使用流速测量单元测量液体流速是本领域的常用技术手段。根据对比文件1公开的所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，以使所述气体的压力大于所述处理液的压力，本领域的技术人员容易想到使气体流速大于液体流速。
针对区别特征2），在对比文件1已经公开处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，由此基于对比文件1的上述公开可知，气体压力和处理液压力之差为0-196kPa，在此基础上，本领域技术人员根据实际情况可以合理设置第一压力与第二压力之差，本领域技术人员经过合乎逻辑的推理和有限试验可以得到第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa，这无需付出创造性的劳动。
针对区别特征3），为了精准控制处理液，本领域技术人员容易想到在具有排出管线的分叉点的下游设置供应阀，并采用控制器根据从流速测量单元接收的数据进行控制供应阀和排出阀，这无需付出创造性的劳动。根据对比文件1公开的：含有比微米级气泡大的大气泡时，控制器38打开流量调整阀80（相当于排出阀）以通过所述排气管78（相当于排出管线）排出集聚的气体。本领域技术人员容易想到设置一个1微米的预定尺寸，气泡的直径等于或小于1微米为正常状态而气泡的直径大于1微米为错误状态，当为大气泡时即接收的数据为错误状态时则打开排出管线，当为正常状态时则控制器打开供应阀以打开液体供应管线进行基板清洗工艺，这是本领域的常用技术手段。
由此可知，在对比文件1的基础上结合本领域的常用技术手段得到该权利要求所要保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此该权利要求所要保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.2. 权利要求2不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求2要求保护一种用于处理基板的方法，对比文件1是最接近的现有技术，其公开了一种用于处理基板的方法，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0002-0031段，图1-6)：所述方法包括：通过与注入部26连接的喷出孔（即流入孔，第0018段），将气体供应到处理液，以使所述处理液与所述气体相混合；然后，将混合有气体的处理液供应到基板W上以处理所述基板W；其中，所述气体与所述处理液相混合以在所述处理液中形成纳米级气泡，本领域技术人员可以确定纳米级气泡的直径为等于或小于1微米；所述将气体供应到处理液包括：测量所述气体的流速（相当于第二流速）；和调节处理液的流速（相当于第一流速）和气体的流速（相当于第二流速）中的至少一个，以使所述气体的压力大于所述处理液的压力，本领域技术人员可以确定这相当于本申请中的使所述气体的流速大于所述处理液的流速。本领域技术人员可以确定，所述处理液的流速对应于处理液的压力（相当于第一压力），所述气体的流速对应于气体的压力（相当于第二压力），其中，所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2。含有比微米级气泡大的大气泡时，控制器38打开流量调整阀80（相当于排出阀）以通过所述排气管78（相当于排出管线）排除集聚的气体。
该权利要求的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征是：1）流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩；测量所述处理液的第一流速，第二流速大于所述第一流速；2）第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa；3）其中，如果所述气泡的直径等于或小于1微米，则将处理液供应到基板上；如果所述气泡的直径大于1微米，则将处理液收集起来。基于上述区别技术特征，该权利要求实际所要解决的技术问题是增加气体的压力及精确控制液体流速和气泡。
针对区别特征1），在所属技术领域，通过设置孔的内径逐渐收缩，来增加流体的压力，也是本领域的一种常用技术手段，用其代替对比文件1中的增压方法是所属技术领域中的常用手段之间的替换，其效果实质上相同。使用流速测量单元测量液体流速是本领域的常用技术手段。根据对比文件1公开的所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，以使所述气体的压力大于所述处理液的压力，本领域的技术人员容易想到使气体流速大于液体流速。
针对区别特征2），在对比文件1已经公开处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，由此基于对比文件1的上述公开可知，气体压力和处理液压力之差为0-196kPa，在此基础上，本领域技术人员根据实际情况可以合理设置第一压力与第二压力之差，本领域技术人员经过合乎逻辑的推理和有限试验可以得到第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa，这无需付出创造性的劳动。
针对区别特征3），根据对比文件1公开的：含有比微米级气泡大的大气泡时，控制器38打开流量调整阀80（相当于排出阀）以通过所述排气管78（相当于排出管线）排出集聚的气体。本领域技术人员容易想到如果所述气泡的直径等于或小于1微米，则将处理液供应到基板上；如果所述气泡的直径大于1微米，则将处理液收集起来这是本领域的常用技术手段。
由此可知，在对比文件1的基础上结合本领域的常用技术手段得到该权利要求所要保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此该权利要求所要保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
对复审请求人相关意见的评述
针对复审请求人2019年10月11日提交的意见陈述（参见上述案由部分），合议组认为：1）对比文件1公开了：洗净液和气体通过不同通路进入三向歧管24（相当于混合构件），那么三向歧管24内部的空间必然形成混合空间；2）对比文件1的第5段、权利要求1、3、4中均提到了形成纳米级气泡，并且第6段记载了：以后的下文中出现的“微米气泡”均是代表“微米气泡和纳米气泡”。因此，对比文件1明确记载了形成纳米级气泡的技术方案；3）虽然对比文件1中采用“增外压的方式”来增加气体压力，但是采用本申请的“流入孔的内径朝着所述壳体逐渐收缩”来增加流体的压力，属于本领域的另一常用技术手段，因此，本领域技术人员可以用其替代对比文件1中的增压方法，这种代替是所属技术领域中的常用手段，其效果实质上相同；4）根据对比文件1公开的所述控制器38控制所述流量调整阀22与高压泵18和所述流量调整阀34与加压阀30中的至少一个，以使所述气体的压力大于所述处理液的压力，本领域的技术人员容易想到使气体流速大于液体流速。5）在对比文件1已经公开处理液的压力为8kg/cm2-9kg/cm2，气体的压力为9kg/cm2-10kg/cm2，由此基于对比文件1的上述公开可知，气体压力和处理液压力之差为0-196kPa，在此基础上，本领域技术人员根据实际情况可以合理设置第一压力与第二压力之差，本领域技术人员经过合乎逻辑的推理和有限试验可以得到第一压力与第二压力之差为100kpa或小于100kpa，这无需付出创造性的劳动；6）对比文件1中公开了根据流量计等测量工具控制洗净液和气体的控制部38，还公开了：含有比微米级气泡大的大气泡时，控制器38打开流量调整阀80（相当于排出阀）以通过所述排气管78（相当于排出管线）排出集聚的气体。基于上述公开本领域技术人员容易想到进一步在系统中设置根据处理液中气泡直径大小控制处理液流向的控制器以精准控制处理液。因此，合议组对复审请求人的陈述意见不予支持。
三、决定
维持国家知识产权局于2019年02月14日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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