发明创造名称：静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法
外观设计名称：
决定号：199674
决定日：2019-12-23
委内编号：1F274201
优先权日：
申请（专利）号：201310751989.5
申请日：2013-12-31
复审请求人：北京北方华创微电子装备有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：李晓惠
合议组组长：张岩
参审员：韦斌
国际分类号：G01R19/00
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，但是，该区别技术特征是本领域技术人员在另一篇对比文件的启示下容易想到的，则该权利要求请求保护的技术方案相对于该两篇对比文件和本领域公知常识的结合不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201310751989.5，名称为“静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请日为2013年12月31日，公开日为2015年07月01日，申请人原为北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，后变更为北京北方华创微电子装备有限公司。
经实质审查，国家知识产权局原实质审查部门于2018年11月14日作出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求第1-8项不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
实质审查过程中引用了如下3篇对比文件：
对比文件1：CN 101651084A，公开日为2010年02月17日；
对比文件2：CN 103163479A，公开日为2013年06月19日；
对比文件3：“廉价汽车电池充电器的改进电路”，江明，《实用电子文摘》，第06期，第42-43页，公开日为1995年12月31日。
驳回决定所依据的文本为：申请人于申请日2013年12月31日提交的说明书摘要、说明书第1-68段、摘要附图、说明书附图图1-3；2018年08月13日提交的权利要求第1-8项作出本驳回决定。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种静电卡盘电源的电流检测装置，所述电流检测装置包括采样电阻，所述采样电阻串联在所述静电卡盘电源的输出端，所述静电卡盘电源的电流检测装置还包括电压检测单元和两个分压单元，两个所述分压单元中的一个连接在所述采样电阻的输入端与参照点之间，两个所述分压单元中的另一个连接在所述采样电阻的输出端与参照点之间，所述电压检测单元用于检测两个分压单元的分压点与参照点之间的电压，其特征在于，两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等；所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，通过改变所述调节电阻的阻值改变所述分压单元的分压比。
2. 根据权利要求1所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述调节电阻为可调式电阻，或者所述调节电阻为可拆卸地设置在所述分压器与参照点之间的定值电阻。
3. 根据权利要求1所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述分压器的分压比不小于10。
4. 根据权利要求1所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述分压器的阻值与所述采样电阻阻值之比不小于50。
5. 根据权利要求1至4中任意一项所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述电压检测单元包括运算放大器。
6. 根据权利要求1至4中任意一项所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，每个所述分压单元均对应有分压比检测单元，所述检测单元能够测量相应的分压单元的分压点与参照点之间的电 压。
7. 一种静电卡盘电源的电流检测方法，其特征在于，利用权利要求1至6中任意一项所述的电流检测装置执行所述电流检测方法，所述电流检测方法包括以下步骤：
步骤1、调节所述采样电阻两端的两个所述分压单元的分压比，直至两个所述分压单元的分压比相等为止；
步骤2、利用所述电压检测单元检测两个所述分压单元的分压点与参照点之间的电压。
8. 根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，所述步骤1包括调节所述调节电阻的阻值，使得两个所述分压单元的分压比相等。”
驳回决定认为，权利要求1与对比文件1相比的区别技术特征为：两个分压单元的分压比均能够调节，以使得两个分压单元的分压比相等，调节电阻连接在分压器与参照点之间，其中分压器的分压点形成为分压单元的分压点，通过改变调节电阻的阻值改变分压单元的分压比。上述区别是本领域技术人员在对比文件3的启示下容易想到的。因此，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域公知常识得出该权利要求1所要求保护的技术方案对本领域技术人员而言是显而易见的，权利要求1不具备创造性。从属权利要求2-6的附加技术特征或被对比文件1公开，或为本领域常用技术手段，因而也不具备创造性。
权利要求7是包括权利要求1-6中任一权利要求的电流检测装置的电流检测方法，如上所述，权利要求1-6不具备创造性，对比文件1还公开了一种电流采样方法，对比文件3公开了一种两个分压单元的分压比相等的电路，在对比文件3的启示下，本领域技术人员能够想到使用滑动变阻器与分压电阻串联，以使两个分压单元的分压比均能够调节至分压比相等。因此，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域公知常识得出该权利要求7所要求保护的技术方案对本领域技术人员而言是显而易见的，权利要求7不具备创造性。从属权利要求8的附加技术特征为本领域常用技术手段，因而也不具备创造性。
申请人北京北方华创微电子装备有限公司（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年02月19日向国家知识产权局提出了复审请求，同时提交了权利要求书的全文修改替换页，其中在权利要求1中增加技术特征“从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度”，删除了权利要求1中的技术特征“所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，通过改变所述调节电阻的阻值改变所述分压单元的分压比”，增加从属权利要求2，将上述删除的技术特征作为新增加的从属权利要求2的附加技术特征，其他权利要求的编号顺延，并相应地修改了权利要求的引用关系。修改后的权利要求书如下：
“1. 一种静电卡盘电源的电流检测装置，所述电流检测装置包括采样电阻，所述采样电阻串联在所述静电卡盘电源的输出端，所述静电卡盘电源的电流检测装置还包括电压检测单元和两个分压单元，两个所述分压单元中的一个连接在所述采样电阻的输入端与参照点之间，两个所述分压单元中的另一个连接在所述采样电阻的输出端与参照点之间，所述电压检测单元用于检测两个分压单元的分压点与参照点之间的电压，其特征在于，两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度。
2. 根据权利要求1所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，通过改变所述调节电阻的阻值改变所述分压单元的分压比。
3. 根据权利要求2所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述调节电阻为可调式电阻，或者所述调节电阻为可拆卸地设置在所述分压器与参照点之间的定值电阻。
4. 根据权利要求2所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述分压器的分压比不小于10。
5. 根据权利要求2所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述分压器的阻值与所述采样电阻阻值之比不小于50。
6. 根据权利要求1至5中任意一项所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，所述电压检测单元包括运算放大器。
7. 根据权利要求1至5中任意一项所述的静电卡盘电源的电流检测装置，其特征在于，每个所述分压单元均对应有分压比检测单元，所述检测单元能够测量相应的分压单元的分压点与参照点之间的电压。
8. 一种静电卡盘电源的电流检测方法，其特征在于，利用权利要求1至7中任意一项所述的电流检测装置执行所述电流检测方法，所述电流检测方法包括以下步骤：
步骤1、调节所述采样电阻两端的两个所述分压单元的分压比，直至两个所述分压单元的分压比相等为止；
步骤2、利用所述电压检测单元检测两个所述分压单元的分压点与参照点之间的电压。
9. 根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，所述步骤1包括调节所述调节电阻的阻值，使得两个所述分压单元的分压比相等。”
复审请求人认为：对比文件1属于本申请的现有技术，其根本未公开也未意识到本申请所要解决的技术问题，因而本领域技术人员根本没有动机来对对比文件1的技术方案进行改进，同时，由于对比文件3也未公开本申请所要解决的技术问题，更未公开本申请的技术构思，因而在此种情况下，本领域技术人员在面对对比文件1和对比文件3时，根本不可能想到要将对比文件1与对比文件3进行结合以解决提高检测电流精度的技术问题，从而不可能得到本申请的技术方案。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年02月25日依法受理了该复审请求，并将其转送至原实质审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组依法对本案进行审理。
合议组于2019年09月12日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征在于：两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度。上述区别是本领域技术人员在对比文件3的启示下容易想到的，并引用了文献1（邹广严主编，能源大辞典，四川科学技术出版社，1997年01月第1版，第750页）作为公知常识证据。因此，权利要求1相对于对比文件1、对比文件3以及本领域公知常识的结合不具备创造性。从属权利要求2-7的附加技术特征或被对比文件1、对比文件3公开，或为本领域的公知常识，因而也不具备创造性。
权利要求8的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征在于：步骤1、调节所述采样电阻两端的两个所述分压单元的分压比，直至两个所述分压单元的分压比相等为止。上述区别是本领域技术人员在对比文件3的启示下容易想到的。因此，权利要求8相对于对比文件1、对比文件3以及本领域公知常识的结合不具备创造性。从属权利要求9的附加技术特征已被对比文件3公开，因而也不具备创造性。
针对复审请求人的意见，合议组认为：首先，对比文件1中公开了电阻分阻器R1、R2的分阻点设有电压采集装置，如隔离运算放大器。参见对比文件1附图2，假设电阻分阻器R1、R2的分压比分别为K1、K2，当电阻分阻器R1、R2的分阻点连接隔离运算放大器时，隔离运算放大器的输出为U3-U4，待测电流I3=(U1-U2)/R3=(U3K1-U4K2)/R3，显然，已知U3-U4、K1、K2、R3，通过上式无法计算得到待测电流I3，只有当电阻分阻器R1、R2的分压比相等K1=K2=K时，才能通过上式计算得到I3，即I3=(U1-U2)/R3=(U3K1-U4K2)/R3=(U3-U4)K/R3。综上所述，对比文件1中虽未明确记载电阻分阻器R1、R2的分压比相等，但是当使用隔离运算放大器作为电压采集装置时，为了计算得到待测电流I3，电阻分阻器R1、R2的分压比必然设置为相等。进一步地，本领域公知，分压器的理论分压比与实际分压比之间存在一定的误差（参见文献1（邹广严主编，能源大辞典，四川科学技术出版社，1997年01月第1版，第750页）记载了：对分压器的要求是分压比应当很准确，但是，事实上没有这种理想的无畸变的分压器，国际电工委员会规定分压比的允许误差为±1%。），该误差将导致两个分压器的分压比实际上并不相等，从而影响电流检测精度。因此本领域技术人员有动机到现有技术中寻找能够调整分压器的分压比以使两个分压器的分压比相等的方法。对比文件3公开了一种调节分压比的方法（参见第42页、图1）：分压器R8-P1-R9的分压比可用P1调为2.2-3.25，其中P1为滑动变阻器。即对比文件3给出了通过滑动变阻器调节分压单元的分压比的技术启示，本领域技术人员容易想到使用对比文件3中的方法调节对比文件1中的两个分压器的分压比以使两个分压器的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度。因此，复审请求人的意见不予支持。
针对上述复审通知书，复审请求人于2019年10月22日提交了意见陈述书，未修改申请文件。
复审请求人认为：（1）如对比文件1说明书第3页第9行所述，其公开了Rl和R2的分阻比是已知的。所以，在已知U3-U4、Kl、K2和R3的基础上，对比文件1完全可以计算出I3，而无需K1=K2才能计算I3。可见，对比文件1仅公开了Kl和K2已知，而并未公开Kl必须等于K2，并没有明示或者暗示”两个所述分压单元的分压比Kl和K2相等”这一特征。（2）如本申请背景技术部分所述，本申请人发现，在对I3计算中，“两个分压单元的分压比之间的差异会使检测结果出现很大误差”，申请人通过上述区别特征A“两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度，是本申请人创造性的劳动。（3）文献1仅公开了，分压比的实际值与其理论值之间会存在误差，其并未明示或者暗示“分压比的实际值与其理论值之间的误差将导致，两个分压器的分压比实际上并不相等”，也不可能进一步明示或者暗示其对电流检测精度会有影响。而对于对比文件3，对比文件3仅公开了一种分压比调节方法，其目的是将P2调节到D4刚好开始燃亮为止，即将分压比调节到预设值。可见，文献1和对比文件3二者均未给出“两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度”的技术启示。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，依法作出如下审查决定。
二、决定的理由
（一）、审查文本的认定
在复审程序中，复审请求人于2019年02月19日提交了权利要求书的全文修改替换页，经审查，上述修改文本符合专利法第33条的规定，因此本复审决定所针对的文本为：复审请求人于申请日2013年12月31日提交的说明书摘要、说明书第1-68段、摘要附图、说明书附图图1-3，以及2019年02月19日提交的权利要求第1-9项。
（二）、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，但是，该区别技术特征是本领域技术人员在另一篇对比文件的启示下容易想到的，则该权利要求请求保护的技术方案相对于该两篇对比文件和本领域公知常识的结合不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
1、权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
独立权利要求1请求保护一种静电卡盘电源的电流检测装置。对比文件1公开了一种静电卡盘电源电流采样装置，与本申请属于相同的半导体技术领域，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第1-3页、附图2）：
如图2所示，在静电卡盘电源的输出端串联有采样电阻R3，采样电阻R3可以串联于静电卡盘电源的输出端的正极上也可以串联在负极上。
采样电阻R3的两端分别连接有电阻分阻器R1、R2，电阻分阻器R1、R2的一端与采样电阻R3的端点连接、另一端接地，电阻分阻器R1、R2的分阻点设有电压采集装置，如隔离运算放大器或其它的电压采集装置等。
电阻分阻器R1、R2的分阻点即是电阻分阻器R1、R2中部的一个抽头，该点的对地电阻要小于电阻分阻器R1、R2两端的电阻，可以根据需要选用不同的分阻比。
由对比文件1公开的上述内容可知：
静电卡盘电源电流采样装置相当于本申请权利要求1中的静电卡盘电源的电流检测装置。
在静电卡盘电源的输出端串联有采样电阻R3，采样电阻R3可以串联于静电卡盘电源的输出端的正极上也可以串联在负极上，相当于公开了“所述电流检测装置包括采样电阻，所述采样电阻串联在所述静电卡盘电源的输出端”。
采样电阻R3的两端分别连接有电阻分阻器R1、R2，电阻分阻器R1、R2的一端与采样电阻R3的端点连接、另一端接地，电阻分阻器R1、R2的分阻点设有电压采集装置，如隔离运算放大器或其它的电压采集装置等，其中，电阻分阻器R1、R2相当于两个分压单元，电压采集装置相当于电压检测单元，接地点相当于参照点，上述内容相当于公开了“所述静电卡盘电源的电流检测装置还包括电压检测单元和两个分压单元，两个所述分压单元中的一个连接在所述采样电阻的输入端与参照点之间，两个所述分压单元中的另一个连接在所述采样电阻的输出端与参照点之间，所述电压检测单元用于检测两个分压单元的分压点与参照点之间的电压”。
由此可知，权利要求1的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征在于：两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度。
基于上述区别技术特征可以确定，权利要求1相对于对比文件1来说实际解决的技术问题是如何提高电流检测精度。
对于上述区别，首先，对比文件1中公开了电阻分阻器R1、R2的分阻点设有电压采集装置，如隔离运算放大器。参见对比文件1附图2，假设电阻分阻器R1、R2的分压比分别为K1、K2，当电阻分阻器R1、R2的分阻点连接隔离运算放大器时，隔离运算放大器的输出为U3-U4，待测电流I3=(U1-U2)/R3=(U3K1-U4K2)/R3，显然，已知U3-U4、K1、K2、R3，通过上式无法计算得到待测电流I3，只有当电阻分阻器R1、R2的分压比相等K1=K2=K时，才能通过上式计算得到I3，即I3=(U1-U2)/R3=(U3K1-U4K2)/R3=(U3-U4)K/R3。综上所述，对比文件1中虽未明确记载电阻分阻器R1、R2的分压比相等，但是当使用隔离运算放大器作为电压采集装置时，为了计算得到待测电流I3，电阻分阻器R1、R2的分压比必然设置为相等。
进一步地，本领域公知，分压器的理论分压比与实际分压比之间存在一定的误差（参见文献1（邹广严主编，能源大辞典，四川科学技术出版社，1997年01月第1版，第750页）记载了：对分压器的要求是分压比应当很准确，但是，事实上没有这种理想的无畸变的分压器，国际电工委员会规定分压比的允许误差为±1%。），该误差将导致两个分压器的分压比实际上并不相等，从而影响电流检测精度。因此本领域技术人员有动机到现有技术中寻找能够调整分压器的分压比以使两个分压器的分压比相等的方法。对比文件3公开了一种调节分压比的方法（参见第42页、图1）：分压器R8-P1-R9的分压比可用P1调为2.2-3.25，其中P1为滑动变阻器。即对比文件3给出了通过滑动变阻器调节分压单元的分压比的技术启示，本领域技术人员容易想到使用对比文件3中的方法调节对比文件1中的两个分压器的分压比以使两个分压器的分压比相等，从而减小两个所述分压单元的分压比的差异，以提高电流检测精度。
综上所述，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域的公知常识，得出该权利要求的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此该权利要求所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.权利要求2、3不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求2、3的附加技术特征为：所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，通过改变所述调节电阻的阻值改变所述分压单元的分压比；所述调节电阻为可调式电阻，或者所述调节电阻为可拆卸地设置在所述分压器与参照点之间的定值电阻。对比文件3公开了（参见第42-43页、图1）：参见图1，分压单元R1-R10-P2包括分压器R1-R10和滑动变阻器P2，滑动变阻器P2连接在所述分压器R1-R10与接地点（相当于参照点）之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点。调节P2直到D4刚好开始燃亮为止（相当于通过改变所述调节电阻的阻值改变所述分压单元的分压比）。并且，使用可拆卸设置的定值电阻替代滑动变阻器作为调节电阻是本领域的常规选择。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，该权利要求请求保护的技术方案也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3.权利要求4-6不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求4-6的附加技术特征为：所述分压器的分压比不小于10；所述分压器的阻值与所述采样电阻阻值之比不小于50；所述电压检测单元包括运算放大器。上述附加技术特征已被对比文件1公开（参见说明书第2-3页）：可以选用电阻分阻器的分阻比大于或等于10；电阻分阻器R1、R2的阻值可以远大于采样电阻R3的阻值。如电阻分阻器R1、R2的阻值为采样电阻R3的阻值的1000～100000倍，或更大等；电压采集装置，如隔离运算放大器或其它的电压采集装置等。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，该权利要求请求保护的技术方案也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
4.权利要求7不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求7的附加技术特征为：每个所述分压单元均对应有分压比检测单元，所述检测单元能够测量相应的分压单元的分压点与参照点之间的电压。然而，设置分压比检测单元以判断两个分压单元的分压比是否相等是本领域的常规技术手段。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，该权利要求请求保护的技术方案也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
5.权利要求8不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
独立权利要求8请求保护一种静电卡盘电源的电流检测方法。对比文件1公开了一种静电卡盘电源电流采样装置及方法，与本申请属于相同的半导体技术领域，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第1-3页，图2）：
静电卡盘电源电流采样装置采集静电卡盘电源电流的方法，包括步骤：
首先，分别采集采样电阻R3两端的电阻分阻器R1、R2的分阻点的对地电压U3、U4，由于电阻分阻器R1、R2的阻值和分阻比是已知的，因此根据所采集的分阻点的对地电压U3、U4可以分别计算出两个电阻分阻器R1、R2中的电流I1、I2。
然后，根据两个电阻分阻器R1、R2中的电流I1、I2，可以分别计算出两个电阻分阻器R1、R2两端的电压U1、U2，即为采样电阻两端分别的对地电压；
之后，根据采样电阻R3两端分别的对地电压U1、U2计算出采样电阻R3两端之间的电压U1-U2，进而可以计算出采样电阻R3中的电流I3，即静电卡盘电源的输出电流。
对分阻点的电压U3、U4，由于电阻分阻器R1、R2的分阻比较高，因此分阻点的电压U3、U4并不高，采用普通的隔离运算放大器或其它的电压采集装置就可以进行检测并传输给监测装置，检测装置可以按照预设的程序计算静电卡盘电源的输出电流。
由对比文件1公开的上述内容可知：
分别采集采样电阻R3两端的电阻分阻器R1、R2的分阻点的对地电压U3、U4，分阻点的电压U3、U4并不高，采用普通的隔离运算放大器或其它的电压采集装置就可以进行检测并传输给监测装置，相当于公开了“步骤2、利用所述电压检测单元检测两个所述分压单元的分压点与参照点之间的电压”。
由此可知，权利要求8的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征在于：步骤1、调节所述采样电阻两端的两个所述分压单元的分压比，直至两个所述分压单元的分压比相等为止。
基于上述区别技术特征可以确定，权利要求8相对于对比文件1来说实际解决的技术问题是如何提高电流检测精度。
权利要求8与对比文件1的区别和权利要求1与对比文件1的区别实质上相同，参见权利要求1的评述，上述区别是本领域技术人员在对比文件3的启示下容易想到的。
综上所述，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域的公知常识，得出该权利要求的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此该权利要求所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
6.权利要求9不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求9的附加技术特征为：所述分压单元包括分压器和调节电阻，所述调节电阻连接在所述分压器与参照点之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点，所述步骤1包括调节所述调节电阻的阻值，使得两个所述分压单元的分压比相等。对比文件3公开了（参见第42-43页、图1）：参见图1，分压单元R1-R10-P2包括分压器R1-R10和滑动变阻器P2，滑动变阻器P2连接在所述分压器R1-R10与接地点（相当于参照点）之间，所述分压器的分压点形成为所述分压单元的分压点。调节P2直到D4刚好开始燃亮为止（相当于调节所述调节电阻的阻值从而调节分压比）。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，该权利要求请求保护的技术方案也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
综上所述，权利要求1-9不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
（三）、针对复审请求人意见的答复
关于复审请求人的意见合议组认为：
（1）待测电流I3=(U1-U2)/R3=(U3K1-U4K2)/R3，当K1和K2不相等时，必须分别获得U3和U4，才能够通过公式I3 =(U3K1-U4K2)/R3计算得到I3，然而当电阻分阻器R1、R2的分阻点连接隔离运算放大器时，隔离运算放大器的输出为U3-U4，只能获得U3-U4，无法分别获得U3和U4。当仅能获得U3-U4时，只有当K1=K2=K时，才能通过公式计算得到I3，即I3= (U3K1-U4K2)/R3=(U3-U4)K/R3。因此，对比文件1中虽未明确记载电阻分阻器R1、R2的分压比相等，但是当使用隔离运算放大器作为电压采集装置时，为了计算得到待测电流I3，电阻分阻器R1、R2的分压比必然设置为相等。（2）参见本申请的背景技术部分（说明书第[0004]-[0005]段及附图2）：“如图2所示的是现有的另一种静电卡盘电源的电流的检测方法原理图，静电卡盘电压的输出端串联有采用电阻，采样电阻的两端分别连接有分压器，分压器的另一端接地。通过检测两个分压器R1和R2的分压点的电压U3和U4，计算出采样电阻R3两端之间的电压，进而计算出流过采样电阻的R3电流I3，即静电卡盘电源的输出电流。但是两个分压器的实际分压比不相等时，两个分压单元的分压比之间的差异会使检测结果出现很大误差。因此，如何减少两个分压器的分压比之间的差异成为本发明亟待解决的技术问题”。由上述内容可知，首先，图2中所示的现有技术与对比文件1的技术方案实质上相同，电压检测单元输出的检测结果是U3-U4，而不是U3和U4，只有当分压器R1、R2的分压比相等时，才能计算得到I3。因此，背景技术部分所述的现有技术实质上也是分压器R1、R2的分压比相等。其次，背景技术部分强调的是“实际”分压比不相等，而不是R1、R2的分压比不相等，即本申请在背景技术部分认为现有技术中的分压器R1、R2的理论分压比相等，但是由于理论分压比存在误差，造成R1、R2的实际分压比不相等，本申请声称要解决的技术问题是如何解决由于理论分压比存在误差而导致的两个分压器的实际分压比差异的问题。即，分压器R1、R2的理论分压比相等是现有技术，不是本申请的创造性劳动。第三，参见说明书第[0061]段：“为了检测本发明所提供的上述实施方式中的电流检测的误差，以静电卡盘电源11提供的电压为4000伏为例，已知采样电阻R3的阻值为20K欧姆，分压器R1和分压器R2均为100M/200K欧姆，理论分压比为500：1，分压比精度为：0.5%，R4、R5为5K可调。当利用分压比检测单元可以测得，分压器R1和分压器R2的实际分压比并不相等时，例如，测得分压器R1的实际分压比与理论分压比之间的误差为-0.5%，分压器R2的实际分压比与理论分压比的误差为 0.5%时，分压器R1的实际分压比k1为497.5，分压器R2的实际分压比k2为502.5”。根据上述说明书实施例可知，分压器R1和分压器R2的理论分压比相等，都为500：1，分压器R1的实际分压比与理论分压比之间的误差为-0.5%，分压器R2的实际分压比与理论分压比的误差为 0.5%，由此导致分压器R1和分压器R2的实际分压比不相等。也就是说，本申请要解决的技术问题是如何解决由于理论分压比存在误差而导致的两个分压器的实际分压比差异的问题。（3）分压器的理论分压比与实际分压比之间存在一定的误差是本领域公知的，例如，参见文献1（邹广严主编，能源大辞典，四川科学技术出版社，1997年01月第1版，第750页）是该公知常识的佐证。本领域公知两个分压器的分压比误差很可能是不相等的，这必然导致两个理论分压比相等的分压器的实际分压比并不相同，对比文件1中需要电阻分阻器R1、R2的分压比相等，才能计算得到待测电流I3，分压器的实际分压比不相同必然影响电流检测精度。因此本领域技术人员有动机到现有技术中寻找能够调整分压器的分压比以使两个分压器的实际分压比相等的方法。对比文件3给出了通过滑动变阻器调节分压单元的分压比的技术启示，本领域技术人员容易想到使用对比文件3中的方法调节对比文件1中的两个分压器的分压比以使两个分压器的实际分压比相等，从而提高电流检测精度。
因此，复审请求人的意见合议组不予支持。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年11月14日做出的驳回该发明专利申请的决定。
复审请求人如对本决定不服，可以依据专利法第41条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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