发明创造名称：蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法
外观设计名称：
决定号：188721
决定日：2019-12-16
委内编号：1F247884
优先权日：2012-12-20
申请（专利）号：201380066886.3
申请日：2013-12-20
复审请求人：应用材料公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：曾彩霞
合议组组长：曹旭
参审员：王燕
国际分类号：C23C14/24
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：权利要求请求保护的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别特征，如果本领域技术人员有动机结合公知常识对最接近的现有技术进行改进以获得该技术方案，并能预期其技术效果，则该技术方案不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201380066886.3，名称为“蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法”的发明专利申请（下称本申请）。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2017年12月13日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-18不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为：申请人于2017年9月19日提交的权利要求第1-18项，2015年6月19日国际申请进入中国国家阶段提交的说明书附图图1-7、说明书摘要和摘要附图，按照条约第28或41条修改的说明书第1-85段。驳回决定引用的对比文件如下：
对比文件1：WO2012/081738A1，公开日为2012年6月21日。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种沉积装置，所述沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述装置包含：
第一腔室，所述第一腔室被配置以用于液化所述材料；
阀，所述阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，其中所述阀被配置以用于控制所液化的材料通过所述阀的流率；
蒸汽分配喷头，所述蒸汽分配喷头包括：
罩壳；和
多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力；和
蒸发区，所述蒸发区设置在所述蒸汽分配喷头内且与所述阀流体连通且在所述阀下游，其中所述蒸发区被配置以用于蒸发所液化的材料。
2. 如权利要求1所述的装置，其中所述蒸发区由表面接触面积为1cm2至10cm2的腔室或表面提供。
3. 如权利要求1所述的装置，其中所述蒸汽分配喷头是线形蒸汽分配喷头。
4. 如权利要求1至3中任一项所述的装置，进一步包含：
控制器，所述控制器连接至所述阀，其中所述控制器被配置以控制所述阀，以用于调整所述基板上的蒸汽沉积速率。
5. 如权利要求4所述的装置，其中所述控制器是比例-积分-微分控制器，且其中所述控制器包含信号输入端，所述信号输入端被配置以用于接收沉积速率监测系统的信号。
6. 如权利要求1至3中任一项所述的装置，其中所述第一腔室包含气体入口，所述气体入口被配置以使保护气体进入所述第一腔室，所述装置进一步包含另一阀，所述另一阀被配置以用于控制所述第一腔室中所述保护气体的流率。
7. 如权利要求6所述的装置，其中所述第一腔室进一步包含压力表，所述压力表与所述另一阀连通。
8. 如权利要求1至3中任一项所述的装置，其中所述材料是金属锂。
9. 如权利要求1至3中任一项所述的装置，进一步包含：
罩壳，所述罩壳用于容纳至少所述第一腔室和所述阀，其中所述罩壳被配置以用于在保护气氛下更换所述第一腔室。
10. 一种沉积设备，所述沉积设备用于蒸发材料及用于沉积所述材料于基板上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述设备包含：
真空腔室，所述真空腔室用于沉积所述材料于所述基板上；及
如权利要求1至3中任一项所述的装置。
11. 一种蒸发材料的方法，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述方法包含：
在第一腔室中液化所述材料；
引导所液化的材料，使所液化的材料从所述第一腔室经由控制阀而到达蒸发区，其中所述蒸发区设置在蒸汽分配喷头内；
在所述蒸发区中蒸发所述材料；及
将所述材料的蒸汽引导至基板上，
其中所述蒸汽分配喷头包括罩壳和多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力。
12. 如权利要求11所述的方法，进一步包含：
控制所述控制阀，以用于调整所述基板上所述蒸汽的沉积速率。
13. 如权利要求11所述的方法，其中所述材料包含金属锂。
14. 如权利要求12所述的方法，其中所述材料包含金属锂。
15. 如权利要求11至14中任一项所述的方法，其中所述材料在所述蒸发区中急骤蒸发。
16. 如权利要求15所述的方法，其中所述材料在600℃或高于600℃的温度下急骤蒸发。
17. 如权利要求11至14中任一项所述的方法，其中所液化的材料在蒸发前维持在185℃至285℃的温度。
18. 如权利要求11至14中任一项所述的方法，进一步包含：闭环控制，所述闭环控制用于控制所述阀，以用于调整所液化的材料通过所述阀的流率。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年3月28日向国家知识产权局提出了复审请求，未修改申请文件。复审请求人认为：对比文件1没有公开“蒸汽喷配喷头被配置成维持较高压力”，对比文件1喷嘴段设置过滤器，用于去除蒸汽中的聚集物，本申请的压力差产生的高颗粒速度能确保基板的均匀涂布。
经形式审查合格，国家知识产权局依法受理了该复审请求，并于2018年5月14日发出复审请求受理通知书，同时将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年5月29日向复审请求人发出复审通知书，引用了公知证据1：《近代物理实验技术（Ⅱ）》，尚世炫等编，高等教育出版社，1993年6月，第359页。通知书中指出：权利要求1-18相对于对比文件1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见陈述，合议组认为：首先，对比文件1没有公开“蒸汽喷配喷头被配置成维持较高压力”，这仅是本申请相对于对比文件1具备新颖性的理由，合议组将上述特征作为区别特征加以评述，均匀涂布是本领域的普遍需求，通过阀的液态材料在蒸发区不断蒸发，蒸发后的气态材料于具有罩壳的蒸汽分配喷头内，气态材料需要从蒸汽分配喷头通过喷嘴达到基板成膜，通过压力差以获得均匀涂布的薄膜是本领域的常用手段，有压力差，从喷嘴喷出的气态物质具有一定速度和能量，在喷嘴和基板之间不会任意浮动，从而使得基板上涂布均匀，公知证据1中也公开了被淀积材料在坩埚喷嘴附近气化，并因相互碰撞而形成原子集团，由于喷射源内部压力比外部高，原子集团从喷嘴中喷出；因此本领域技术人员容易想到蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力，以利于气态材料在基体上的均匀涂布。其次，对比文件1说明书第83段公开的是：在喷射口内部或外部，或喷射口其中形成的开口线上可设置过滤器构件，过滤器构件用于去除产生的蒸发蒸气中所包含的聚集物。对比文件1中过滤器构件也是可选部件，根据蒸发后物质是否需要过滤聚集物而定。最后，对比文件1的设备也有罩壳，蒸发涂布区为真空腔室30，随着材料不断地蒸发，容易产生喷嘴内相对于真空腔室较高压力的环境，从而实现均匀涂覆的效果。
复审请求人于2019年7月11日提交了意见陈述书，同时修改了权利要求书（共3页18项），修改方式为：在权利要求1中增加了技术特征“加热单元，所述加热单元用以在提供所液化的材料至所述蒸发区之前加热所述材料达更高温度”，权利要求11中增加了技术特征“并且在提供所液化的材料至所述蒸发区之前所液化的材料被加热单元加热达更高温度”。复审请求人认为：①公知证据没有教导能利用喷射源内部的较高压力使喷出的蒸发材料在基板上产生均匀沉积；②对比文件1没有公开加热单元，加热单元用以提供所液化的材料至蒸发区之前加热所述材料达更高温度。
修改后的权利要求1、11如下：
“1. 一种沉积装置，所述沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板上，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述装置包含：
第一腔室，所述第一腔室被配置以用于液化所述材料；
阀，所述阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，其中所述阀被配置以用于控制所液化的材料通过所述阀的流率；
蒸汽分配喷头，所述蒸汽分配喷头包括：
罩壳；和
多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力；
蒸发区，所述蒸发区设置在所述蒸汽分配喷头内且与所述阀流体连通且在所述阀下游，其中所述蒸发区被配置以用于蒸发所液化的材料，和
加热单元，所述加热单元用以在提供所液化的材料至所述蒸发区之前加热所述材料达更高温度。
11. 一种蒸发材料的方法，所述材料包含碱金属或碱土金属，所述方法包含：
在第一腔室中液化所述材料；
引导所液化的材料，使所液化的材料从所述第一腔室经由控制阀而到达蒸发区，其中所述蒸发区设置在蒸汽分配喷头内，并且在提供所液化的材料至所述蒸发区之前所液化的材料被加热单元加热达更高温度；
在所述蒸发区中蒸发所述材料；及
将所述材料的蒸汽引导至基板上，
其中所述蒸汽分配喷头包括罩壳和多个喷嘴，所述多个喷嘴用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，其中所述蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力。”
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
（一）关于审查文本
复审程序中，复审请求人于2019年7月11日提交了权利要求书的修改替换页（共3页18项）。本复审请求审查决定所针对的审查文本为：复审请求人于2019年7月11日提交的权利要求书第1-18项，2015年6月19日国际申请进入中国国家阶段提交的说明书附图图1-7、说明书摘要和摘要附图，按照条约第28或41条修改的说明书第1-85段。
关于专利法第22条第3款
专利法22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步。
权利要求请求保护的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别特征，如果本领域技术人员有动机结合公知常识对最接近的现有技术进行改进以获得该技术方案，并能预期其技术效果，则该技术方案不具备创造性。
具体到本案，权利要求1-18不具备利法第22条第3款规定的创造性。
1、权利要求1请求保护一种沉积装置。对比文件1（WO2012/081738A1，公开日为2012年6月21日）公开了一种沉积装置，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第36-45、53-54、59段和图1、5）：涂布设备包括一个悬浮单元50（即蒸发区），位于真空室单元内，以气化供给的涂布材料并产生蒸发蒸气（即蒸发区被配置以用于蒸发所液化的材料），以及一个液态涂布材料供给单元70，其被连接以使得液态涂布材料被供给至悬浮加热单元50的上部和下部中的至少一个；蒸发蒸气可以是锌-镁合金（即材料包含碱土金属），涂布设备还包括一个蒸气引导单元34（即蒸汽分配喷头），蒸气引导单元34与液态熔化金属供给单元70连通，并包围悬浮加热单元50的至少一部分，蒸气引导单元引导蒸发蒸气向基材喷射，蒸气引导单元通过位于其上部的一个喷射口（喷嘴口）36实现将蒸发蒸气喷向基材（即沉积装置用于蒸发材料及沉积所述材料于基板上）；蒸气引导单元34可以包括一个蒸气引导段34b和一个蒸发蒸气喷嘴段34c，蒸发蒸气喷嘴34c包括一个蒸发蒸气喷射口36，蒸发蒸气喷射口36被拉长为与基材10的宽度一致，蒸发蒸气喷嘴段34c内形成的喷射口36可以开成整体狭缝形（即一个出口），或者以预定模式形成多个孔（即多个喷嘴，用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板）；涂布设备可以包括一个坩埚72（即第一腔室）和一个熔化金属的供给管74，熔化金属供给管74连接在坩埚72和蒸气引导单元34之间，固态金属供给至坩埚72，并在坩埚中加热，然后液态熔化金属存储在坩埚中（即第一腔室被配置以用于液化所述材料），液态熔化金属被不断地供给至悬浮加热单元50；一个阀门单元76可安装在供给管74中，阀门可以是流量控制阀，以控制熔化金属的供给量（即阀被配置以用于控制所液化的材料通过所述阀的流率）。从图1和5可得：阀与所述第一腔室流体连通且在所述第一腔室下游，蒸气分配喷头具有罩壳，蒸发区与阀流体连通且在所述阀下游。
权利要求1与对比文件1的区别特征是：①蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力，蒸发区设置在蒸汽分配喷头内；②加热单元，所述加热单元用以在提供所液化的材料至所述蒸发区之前加热所述材料达更高温度。
对于区别特征①，在沉积工艺中，均匀涂布是本领域的普遍需求，通过阀的液态材料在蒸发区不断蒸发，蒸发后的气态材料在具有罩壳的蒸汽分配喷头内，气态材料需要从蒸汽分配喷头通过喷嘴达到基板成膜，通过压力差以获得均匀涂布的薄膜是本领域的常用手段，有压力差，从喷嘴喷出的气态物质具有一定速度和能量，在喷嘴和基板之间不会任意浮动，从而使得基板上涂布均匀；公知证据1（《近代物理实验技术（Ⅱ）》，尚世炫等编，高等教育出版社，1993年6月，第359页）中也公开了被淀积材料在坩埚喷嘴附近气化，并因相互碰撞而形成原子集团，由于喷射源内部压力比外部高，原子集团从喷嘴中喷出；因此本领域技术人员容易想到蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力，以利于气态材料在基体上的均匀涂布。蒸发区的作用是用于蒸发液化的材料，本领域技术人员能够根据蒸汽分配喷头的结构布置需要将蒸发区设置在蒸汽分配喷头内。对于区别特征②，对比文件1公开了加热单元92（从图5可以看出加热单元在蒸发区之前），维持熔化金属的温度（参见说明书第59段和图5）；蒸发区之前的熔化金属（液化的材料）在进入蒸发区发生蒸发，而蒸发需要更高的温度是本领域的技术常识，本领域技术人员为了使进入蒸发区的液化材料温度更接近蒸发温度，有利于蒸发进行，能够想到加热单元也可用以在提供所液化的材料至所述蒸发区之前加热所述材料达更高温度。由此可知，在对比文件1的基础上结合本领域常规技术手段得出权利要求1要求保护的技术方案，对本技术领域的技术人员来说是显而易见的，因此权利要求1所请求保护的技术方案不具有突出的实质性特点，因而不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2、权利要求2-3是从属权利要求。对比文件1公开了蒸发区具有合适空间，而该空间由腔室和表面提供（参见说明书附图5），且也是用于能量供给，虽然该对比文件1没有明确其腔室或表面的具体接触面积，但是其明确了在所述的蒸发区蒸发液化材料，而接触面积涉及热量供给的多少，本领域技术人员通过测定接触面积与蒸发材料效果的关系，能够得到合适的接触面积；点、线、面喷头是本领域中的常规喷头，且对比文件1公开了一个出口或更多出口的喷头，对于更多出口的喷头，设置成线性或面喷头是本领域技术人员根据蒸气材料与基板接触表面积的大小可以选择的。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求2-3也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、权利要求4-5是从属权利要求。对比文件1公开了阀单元76可以电气连接至设备控制单元C并被控制（参见说明书第87段），由于阀76为流量控制阀，则能够调整基板上的蒸汽沉积速率；通过沉积速率监测信号来调整控制器，并通过控制器反馈给阀，从而形成沉积速率的闭环控制为本领域的常规手段，且PID控制器为完成上述控制的常规控制器。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求4-5也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
4、权利要求6-9是从属权利要求。为了防止环境气氛与液态材料反应，在置有液态金属的容器内设置保护气氛为本领域的常规手段，进而设置气体入口，气体入口被配置以使保护气体进入所述第一腔室，为了控制保护气体的流速和控制第一腔室的压力，本领域技术人员能够想到装置进一步包含另一阀，所述另一阀被配置以用于控制所述第一腔室中所述保护气体的流率，第一腔室进一步包含压力表，所述压力表与所述另一阀连通；使用罩壳至少容纳放置易反应材料的腔室及相应配置的阀为本领域的常规手段，且为了维护第一腔室，本领域技术人员对第一腔室进行更换、清洗时，将罩壳配置以用于保护气氛下更换对本领域技术人员而言是显而易见的；锂薄膜是电气元件中的常规组成，且能够通过气化沉积制备。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求6-9也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
5、权利要求10要求保护一种沉积设备。对比文件1也公开了一种沉积设备，还公开了涂布设备包括一个悬浮单元50（即蒸发区），位于真空室单元30（即真空腔室，用于沉积材料于基板上）内，以气化供给的涂布材料并产生蒸发蒸气，涂布设备还包括一个在真空室单元30内部的蒸气引导单元34，蒸气引导单元引导蒸发蒸气向基材喷射（参见说明书第36-40段）。其它技术特征的评述参见权利要求1-3的评述，因此，在权利要求1-3任一项装置不具备创造性时，权利要求10也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
6、权利要求11请求保护一种蒸发材料的方法，对比文件1公开了一种蒸发材料的方法，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第36-45、53-54、59段和图1、5）：材料可以为锌-镁合金（即材料包含碱土金属），涂布设备可以包括一个坩埚72（即第一腔室）和一个熔化金属的供给管74，熔化金属供给管74连接在坩埚72和蒸气引导单元34之间，固态金属供给至坩埚72，并在坩埚中加热，然后液态熔化金属存储在坩埚中（即在第一腔室中液化所述材料），液态熔化金属被不断地供给至悬浮加热单元50；一个阀门单元76可安装在供给管74中，阀门可以是流量控制阀，以控制熔化金属的供给量（即引导所液化的材料，使所液化的材料从所述第一腔室经由控制阀而到达蒸发区）；设备包括一个悬浮单元50（即蒸发区），位于真空室单元内，以气化供给的涂布材料并产生蒸发蒸气（即蒸发区中蒸发所述材料），以及一个液态涂布材料供给单元70，其被连接以使得液态涂布材料被供给至悬浮加热单元50的上部和下部中的至少一个；涂布设备还包括一个蒸气引导单元34（即蒸气分配喷头），蒸气引导单元34与液态熔化金属供给单元70连通，并包围悬浮加热单元50的至少一部分，蒸气引导单元引导蒸发蒸气向基材喷射，蒸气引导单元通过位于其上部的一个喷射口（喷嘴口）36实现将蒸发蒸气喷向基材（即材料的蒸气引导至基板上）；蒸气引导单元34可以包括一个蒸气引导段34b和一个蒸发蒸气喷嘴段34c，蒸发蒸气喷嘴34c包括一个蒸发蒸气喷射口36，蒸发蒸气喷射口36被拉长为与基材10的宽度一致，蒸发蒸气喷嘴段34c内形成的喷射口36可以开成整体狭缝形（即一个出口），或者以预定模式形成多个孔（即多个喷嘴，用于将蒸发材料从所述罩壳内导向所述基板，从图5可得：蒸气分配喷头具有罩壳）。
权利要求11与对比文件1的区别特征是：①蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力，蒸发区设置在蒸汽分配喷头内；②在提供所液化的材料至所述蒸发区之前所液化的材料被加热单元加热达更高温度。
对于上述区别特征①，参见权利要求1中区别特征①的评述。对于区别特征②，对比文件1公开了加热单元92（从图5可以看出加热单元在蒸发区之前），维持熔化金属的温度（参见说明书第59段和图5）；蒸发区之前的熔化金属（液化的材料）在进入蒸发区发生蒸发，而蒸发需要更高的温度是本领域的技术常识，本领域技术人员为了使进入蒸发区的液化材料温度更接近蒸发温度，有利于蒸发进行，能够想到在提供所液化的材料至所述蒸发区之前所液化的材料被加热单元加热达更高温度。由此可知，在对比文件1的基础上结合常规技术手段得出权利要求11要求保护的技术方案，对本技术领域的技术人员来说是显而易见的，因此权利要求11所请求保护的技术方案不具有突出的实质性特点，因而不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
7、权利要求12-18是从属权利要求，对比文件1公开了阀76，可包含一个流量控制阀（即能够控制通过阀的液化材料的流速），打开或关闭以控制熔化金属的供给量，且阀单元76可以电气连接至设备控制单元C并被控制，由于阀76为流量控制阀，则能够调整基板上的蒸汽沉积速率，闭环控制是本领域的常用控制方式，本领域技术人员能够得到闭环控制用于控制阀，以用于调整液化材料通过阀的流速；锂薄膜是电气元件中的常规组成，且能够通过气化沉积制备，因此，本领域技术人员根据薄膜的预期材料容易想到锂；急骤蒸发是本领域常见的蒸发形式，为了便于蒸发液化材料维持在一定温度是本领域的常用手段，具体的急骤蒸发温度和蒸发前维持温度本领域技术人员根据蒸发源通过常规试验可以得到。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求12-18也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
（三）关于复审请求人的意见陈述
针对复审请求人的意见陈述，合议组认为：①首先，在沉积工艺中，均匀涂布是本领域的普遍需求，通过阀的液态材料在蒸发区不断蒸发，蒸发后的气态材料在具有罩壳的蒸汽分配喷头内，气态材料需要从蒸汽分配喷头通过喷嘴达到基板成膜，通过压力差以获得均匀涂布的薄膜是本领域的常用手段，有压力差，从喷嘴喷出的气态物质具有一定速度和能量，在喷嘴和基板之间不会任意浮动，从而使得基板上涂布均匀；其次，公知证据1中也公开了被淀积材料在坩埚喷嘴附近气化，并因相互碰撞而形成原子集团，由于喷射源内部压力比外部高，原子集团从喷嘴中喷出；因此本领域技术人员容易想到蒸汽分配喷头被配置成维持所述蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力，以利于气态材料在基体上的均匀涂布。最后，本领域技术人员结合常用手段能够得到蒸汽分配喷头内相对于所述蒸汽分配喷头与所述基板之间的区域中的压力的较高压力后，其所带来的涂布均匀的技术效果是本领域技术人员所预料到的。②对比文件1没有公开加热单元用以提高液化材料至蒸发区之前加热材料达更高温度，仅是本申请相对于对比文件1具备新型性的理由。对比文件1公开了加热单元92（从图5可以看出加热单元在蒸发区之前），维持熔化金属的温度（参见说明书第59段和图5）；蒸发区之前的熔化金属（液化的材料）在进入蒸发区发生蒸发，而蒸发需要更高的温度是本领域的技术常识，本领域技术人员为了使进入蒸发区的液化材料温度更接近蒸发温度，有利于蒸发进行，能够想到加热单元也可用以在提供所液化的材料至所述蒸发区之前加热所述材料达更高温度，即在进入蒸发区之前加热提高液体金属的温度。
综上所述，复审请求人的上述意见陈述不足以表明本申请具备创造性。
基于上述事实和理由，合议组作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2017年12月13日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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