发明创造名称：基板处理装置和方法
外观设计名称：
决定号：198602
决定日：2019-12-03
委内编号：1F276128
优先权日：2014-11-07
申请（专利）号：201510750418.9
申请日：2015-11-06
复审请求人：细美事有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：杨丽丽
合议组组长：罗崇举
参审员：徐小岭
国际分类号：H01L21/67
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近的现有技术的对比文件相比，虽然存在区别技术特征，但该区别技术特征属于本领域的公知常识，且存在结合启示，则在该对比文件的基础上结合本领域的公知常识得到权利要求所要求保护的技术方案对本领域技术人员而言是显而易见的，该权利要求的技术方案不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201510750418.9，名称为“基板处理装置和方法”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请人为细美事有限公司，申请日为2015年11月06日，优先权日为2014年11月07日，公开日为2016年05月18日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年11月27日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-13要求保护的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为：申请人于申请日2015年11月06日提交的说明书第1-70段，说明书附图1-10，说明书摘要，摘要附图；于2018年08月28日提交的权利要求第1-13项。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种基板处理方法，所述方法包括：
将清洁颗粒供给到基板以清洁基板，其中
所述清洁颗粒是固体颗粒，
所述固体颗粒为基板提供了一冲击波，
每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，
所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态。
2. 根据权利要求1所述的基板处理方法，进一步包括：
在将所述固体颗粒供给基板的同时将所述处理溶液供给基板。
3. 根据权利要求1所述的基板处理方法，进一步包括：
在将所述固体颗粒供给基板之前将所述处理溶液供给基板。
4. 根据权利要求2和3其中之一所述的基板处理方法，其中将所述固体颗粒供给至所述处理溶液上以对基板提供冲击波。
5. 根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，所述固体颗粒由比重等于或小于1的物质构成。
6. 根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，所述固体颗粒由载气被供给到所述基板。
7. 根据权利要求6所述的基板处理方法，其中，所述载气为氦气。
8. 一种基板处理装置，包括：
一容器，具有内部处理空间；
一支撑单元，放置于所述处理空间内并支撑所述基板；和
一供给单元，在所述处理空间内供给清洁颗粒，其中，
所述供给单元包括一固体喷嘴，用于供给包含固体颗粒的清洁颗粒，
所述固体颗粒为基板提供了一冲击波，并且每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，
所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态。
9. 根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述供给单元包括一处理溶液供给喷嘴，用以在基板上供给所述处理溶液。
10. 根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述固体喷嘴包括：
一喷嘴单元，包括一上本体和一连接到所述上本体的下本体，所述下本体在其内包括一流道；和
一清洁颗粒供给单元，与所述喷嘴单元连接并供给一气体，所述气体变成固体颗粒穿过连接所述上本体和所述下本体的一排放孔并与所述基板碰撞，其中
所述流道包括：
一上流道，沿所述喷嘴单元的一长度方向形成，使得其直径沿所述长度方向逐渐减小，
一下流道，沿所述喷嘴单元的所述长度方向形成，使得其直径沿所述长度方向逐渐增加。
11. 根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述固体喷嘴包括：
一喷嘴单元，具有一内部流道；
一清洁颗粒供给单元，与所述喷嘴单元连接并供给所述清洁颗粒；和
一载气供给单元，与所述喷嘴单元连接并向所述喷嘴单元供给高压载气，并且其中
所述喷嘴单元包括：
一上本体，沿其一第一长度方向形成，使得其直径沿所述第一长度方向逐渐减小，
一下本体，与所述上本体连接并沿其一第二长度方向形成，使得其直径沿所述第二长度方向逐渐增加。
12. 根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，所述固体颗粒由比重等于或小于1的物质构成。
13. 根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，所述载气是氦气。”
驳回决定指出：（1）独立权利要求1和独立权利要求8与对比文件1（JP特开平5-144793A，公开日为1993年06月11日）的区别均在于“每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态”，其中该区别技术特征为本领域公知常识，因此，独立权利要求1和独立权利要求8相对于对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。（2）从属权利要求2-7、9-13的附加技术特征或被对比文件1公开和/或被对比文件3（US2006/0102207A1，公开日为2006年05月18日）公开和/或属于本领域公知常识，因此，从属权利要求2-7、9-13也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年03月12日向国家知识产权局提出了复审请求，同时提交了权利要求全文替换页，包括权利要求第1-13项，具体修改如下：在独立权利要求1中加入技术特征“在基板上供给所述处理溶液以处理基板，其中所述方法还包括：将在所述处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去”，在独立权利要求8中加入技术特征“在基板上供给所述处理溶液以处理基板，其中所述基板处理装置将在所述处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去”。复审请求人认为：对比文件1的目的和要点在于调节从喷嘴10喷射的纯水的温度以溶解用喷嘴8喷射到板5的冻结颗粒4，以防止板的损伤，在使用了具有几微米的尺寸的固体颗粒以向基板提供冲击波时，对于对比文件1而言，则不必考虑基板的损伤并且不必使用温度经调节的纯水以溶解固体颗粒来防止损伤，因此，对比文件1的教导使得本领域技术人员不会考虑“每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米”；考虑到对比文件1的目的，由于塑料粉末不容易被溶解，本领域技术人员将会选择可被纯水溶解的冻结颗粒，而不是选择在纯水上保持浮动状态的塑料粉末，选择塑料粉末将背离对比文件1的目的；技术特征“所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态”带来了由对比文件1无法预期的有益技术效果，即容易地与基板W的污染物和颗粒一同被除去。
复审请求时新修改的权利要求书如下：
“1. 一种基板处理方法，所述方法包括：
将清洁颗粒供给到基板以清洁基板，其中
所述清洁颗粒是固体颗粒，
所述固体颗粒为基板提供了一冲击波，
每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，
所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，在基板上供给所述处理溶液以处理基板，
其中所述方法还包括：
将在所述处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去。
2. 根据权利要求1所述的基板处理方法，进一步包括：
在将所述固体颗粒供给基板的同时将所述处理溶液供给基板。
3. 根据权利要求1所述的基板处理方法，进一步包括：
在将所述固体颗粒供给基板之前将所述处理溶液供给基板。
4. 根据权利要求2和3其中之一所述的基板处理方法，其中将所述固体颗粒供给至所述处理溶液上以对基板提供冲击波。
5. 根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，所述固体颗粒由比重等于或小于1的物质构成。
6. 根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，所述固体颗粒由载气被供给到所述基板。
7. 根据权利要求6所述的基板处理方法，其中，所述载气为氦气。
8. 一种基板处理装置，包括：
一容器，具有内部处理空间；
一支撑单元，放置于所述处理空间内并支撑所述基板；和
一供给单元，在所述处理空间内供给清洁颗粒，其中，
所述供给单元包括一固体喷嘴，用于供给包含固体颗粒的清洁颗粒，
所述固体颗粒为基板提供了一冲击波，并且每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，
所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，在基板上供给所述处理溶液以处理基板，
其中所述基板处理装置将在所述处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去。
9. 根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，所述供给单元包括一处理溶液供给喷嘴，用以在基板上供给所述处理溶液。
10. 根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述固体喷嘴包括：
一喷嘴单元，包括一上本体和一连接到所述上本体的下本体，所述下本体在其内包括一流道；和
一清洁颗粒供给单元，与所述喷嘴单元连接并供给一气体，所述气体变成固体颗粒穿过连接所述上本体和所述下本体的一排放孔并与所述基板碰撞，其中
所述流道包括：
一上流道，沿所述喷嘴单元的一长度方向形成，使得其直径沿所述长度方向逐渐减小，
一下流道，沿所述喷嘴单元的所述长度方向形成，使得其直径沿所述长度方向逐渐增加。
11. 根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述固体喷嘴包括：
一喷嘴单元，具有一内部流道；
一清洁颗粒供给单元，与所述喷嘴单元连接并供给所述清洁颗粒；和
一载气供给单元，与所述喷嘴单元连接并向所述喷嘴单元供给高压载气，并且其中
所述喷嘴单元包括：
一上本体，沿其一第一长度方向形成，使得其直径沿所述第一长度方向逐渐减小，
一下本体，与所述上本体连接并沿其一第二长度方向形成，使得其直径沿所述第二长度方向逐渐增加。
12. 根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，所述固体颗粒由比重等于或小于1的物质构成。
13. 根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，所述载气是氦气。”
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年03月18日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：本申请的核心发明点在于采用固体颗粒替代背景技术的小尺寸液体来产生冲击波，从而改善清洁效率，而该核心发明点已被对比文件1公开；干冰和塑料粉末为两个可选实施例，对比文件1已经公开了通过固体颗粒对基板提供一个冲击波以提高污染物去除效率，并公开了固体颗粒可以为干冰，随着技术的进步，对基板的损伤具有了更高的追求，颗粒越小，其产生的冲击力对基板的损伤越小，因此，为了在不损伤基板的同时有效的清洁基板，本领域技术人员需要选择合适的微细粒子的尺寸，选择几微米或几十、几百纳米的大小是本领域技术人员的常规技术选择；在对比文件1公开了基板5表面的污染物通过微细冻结粒子4的碰撞能量除去的基础上，塑料粉末由于其具有比重小，可以悬浮，便于去除的特性，为本领域常见的清洁粒子（CN101254502A，CN101124065A，CN102482841A，CN101318187A），选用塑料粉末作为冲击颗粒并没有起到意想不到的技术效果，而固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态是由其比重小的特性带来的必然效果。因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年07月17日向复审请求人发出复审通知书，指出：（1）独立权利要求1与对比文件1的区别在于“每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，固体颗粒由塑料粉末构成，固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，将在处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去”，独立权利要求8与对比文件1的区别在于“每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，固体颗粒由塑料粉末构成，固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，基板处理装置将在处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去”，其中上述区别技术特征为本领域公知常识，因此，独立权利要求1和独立权利要求8相对于对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。（2）从属权利要求2-7、9-13的附加技术特征或被对比文件1公开和/或被对比文件3公开和/或属于本领域公知常识，因此，从属权利要求2-7、9-13也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
复审请求人于2019年09月02日提交了意见陈述书，但未修改申请文件，复审请求人在意见陈述书中提出：对比文件1未公开“每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米；固体颗粒为基板提供了一冲击波；所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态；在基板上供给所述处理溶液以处理基板；将在所述处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去”；对比文件1的目的在于通过调节从喷嘴10喷射的纯水的温度以溶解喷射于板5的冻结颗粒4来防止通过冻结颗粒的喷射所除去的污染物的再粘附并且防止待清洁的对象的损伤，理解了对比文件1的技术方案后本领域技术人员将会选择可被纯水溶解的冻结颗粒，而不是选择在纯水上保持浮动状态的塑料粉末，本领域技术人员不会将塑料粉末用作对比文件1的冻结颗粒，原因在于将塑料粉末用作对比文件1的冻结颗粒将背离对比文件1的目的和技术方案；技术特征“所述固体颗粒由塑料粉末构成，所述固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态”带来了由对比文件1无法预期的有益技术效果。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查文本的认定
复审请求人在提出复审请求时，提交了权利要求书的全文替换页，包括权利要求第1-13项。经审查，上述修改符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。
本复审决定依据的文本是：复审请求人于申请日2015年11月06日提交的说明书第1-70段，说明书附图1-10，说明书摘要，摘要附图；于2019年03月12日提交的权利要求第1-13项。
2、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近的现有技术的对比文件相比，虽然存在区别技术特征，但该区别技术特征属于本领域的公知常识，且存在结合启示，则在该对比文件的基础上结合本领域的公知常识得到权利要求所要求保护的技术方案对本领域技术人员而言是显而易见的，该权利要求的技术方案不具备创造性。
本复审决定中引用的对比文件与驳回决定和复审通知书中所引用的对比文件相同，即：
对比文件1：JP特开平5-144793A，公开日为1993年06月11日；
对比文件3：US2006/0102207A1，公开日为2006年05月18日。
（1）、独立权利要求1要求保护的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
独立权利要求1要求保护一种基板处理方法。对比文件1公开了一种固体表面洗净装置及洗净方法，其中洗净方法包括：将微细冻结粒子4（相当于清洁颗粒）供给到基板5以清洁基板，同时在基板5上供给纯水以处理基板5，微细冻结粒子4是固体颗粒，微细冻结粒子4通过喷嘴喷射到基板5上，基板5表面的污染物通过微细冻结粒子4的碰撞能量除去（由此可以确定，微细冻结粒子为基板提供了冲击波）（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。
独立权利要求1所要求保护的技术方案与对比文件1公开的内容相比，区别技术特征是：每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，固体颗粒由塑料粉末构成，固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，将在处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去。由上述区别技术特征可以确定该权利要求要解决的技术问题是降低损伤并便于去除颗粒。
在选择固体颗粒时，必然要选择合适尺寸的固体颗粒。而本领域公知的是，大颗粒的固体物冲击时容易造成基板损伤，小颗粒的固体物冲击时容易使得冲击波不足，无法达到清洁的效果，在此基础上，本领域技术人员很容易想到通过本领域常规技术手段来选择合适尺寸的固体颗粒。
对比文件1已公开了使用微细冻结粒子产生冲击波来去除污染物，而塑料砂等塑料粉末是本领域常见的清洗物质，在对比文件1给出了采用固体颗粒的技术启示下，本领域技术人员很容易想到采用本领域公知的塑料砂等塑料粉末来作为清洁颗粒。
在利用塑料粉末清洁完之后，本领域技术人员很容易想到要将塑料粉末去除，而为了能够方便的去除塑料粉末，本领域技术人员很容易想到使塑料粉末在基板上的处理溶液层上保持浮动状态并随着处理溶液一起去除。
由此可见，在对比文件1的基础上结合本领域公知常识获得独立权利要求1所要求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，独立权利要求1所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（2）、从属权利要求2-7要求保护的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
对于从属权利要求2、4：对比文件1还公开了如下技术特征：在将微细冻结粒子4供给基板5的同时将纯水供给基板5；将微细冻结粒子4供给至水膜13上以对基板5提供碰撞能量（即冲击波）（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。由此可见，从属权利要求2、4的附加技术特征也被对比文件1公开，在从属权利要求2、4引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求2、4所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求3：对比文件1已公开了在基板5表面上形成水膜13（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2），在此基础上，本领域技术人员很容易想到在供给微细冻结粒子前先将水供给给基板5。因此，在从属权利要求3引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求3所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求5：为了使得塑料粉末在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，本领域技术人员很容易想到采用比重等于或小于1的物质。因此，在从属权利要求5引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求5所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求6和7：在通过喷嘴供给固体颗粒时，使用载气将固体颗粒供给到基板上是本领域的常用技术手段，而氦气等惰性气体是本领域常见的载气。因此，在从属权利要求6和7引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求6和7所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（3）、独立权利要求8要求保护的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
独立权利要求8要求保护一种基板处理装置。对比文件1公开了一种固体表面洗净装置，包括：洗净室（相当于容器），具有内部处理空间；支撑单元15，放置于洗净室内并支撑基板5；供给单元1，在洗净室内供给微细冻结粒子4（相当于清洁颗粒），供给单元包括固体喷嘴8，用于供给微细冻结粒子4，微细冻结粒子4通过喷嘴喷射到基板5上，在基板5上供给纯水以处理基板5，基板5表面的污染物通过微细冻结粒子4的碰撞能量除去（由此可以确定，微细冻结粒子为基板提供了冲击波）（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。
独立权利要求8所要求保护的技术方案与对比文件1公开的内容相比，区别技术特征是：每个固体颗粒的尺寸为几微米或者每个固体颗粒的尺寸为几十或几百纳米，固体颗粒由塑料粉末构成，固体颗粒在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，基板处理装置将在处理溶液层上保持浮动状态的塑料粉末除去。由上述区别技术特征可以确定该权利要求要解决的技术问题是降低损伤并便于去除颗粒。
在选择固体颗粒时，必然要选择合适尺寸的固体颗粒。而本领域公知的是，大颗粒的固体物冲击时容易造成基板损伤，小颗粒的固体物冲击时容易使得冲击波不足，无法达到清洁的效果，在此基础上，本领域技术人员很容易想到通过本领域常规技术手段来选择合适尺寸的固体颗粒。
对比文件1已公开了使用微细冻结粒子产生冲击波来去除污染物，而塑料砂等塑料粉末是本领域常见的清洗物质，在对比文件1给出了采用固体颗粒的技术启示下，本领域技术人员很容易想到采用本领域公知的塑料砂等塑料粉末来作为清洁颗粒。
在利用塑料粉末清洁完之后，本领域技术人员很容易想到要将塑料粉末去除，而为了能够方便的去除塑料粉末，本领域技术人员很容易想到使塑料粉末在基板上的处理溶液层上保持浮动状态并随着处理溶液一起去除。
由此可见，在对比文件1的基础上结合本领域公知常识获得独立权利要求8所要求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，独立权利要求8所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（4）、从属权利要求9-13要求保护的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
对于从属权利要求9：对比文件1还公开了如下技术特征：供给单元包括供给水的喷嘴10，用以在基板5上供给水（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。由此可见，从属权利要求9的附加技术特征也被对比文件1公开，在从属权利要求9引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求9所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求10：对比文件1还公开了如下技术特征：微细冻结粒子4供给单元，与固体喷嘴8连接并供给纯水喷雾，纯水喷雾变成微细冻结粒子4穿过固体喷嘴8并与基板5碰撞（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。此外，对比文件3公开了一种用于清洁基板的固体喷嘴，包括：喷嘴基部31（相当于上本体）和连接到喷嘴基部的拉瓦尔喷嘴32（相当于下本体），拉瓦尔喷嘴32在其内包括一流道，流道包括一上流道和一下流道，上流道沿拉瓦尔喷嘴32的一长度方向形成，使得其直径沿长度方向逐渐减小，下流道沿拉瓦尔喷嘴32的长度方向形成，使得其直径沿长度方向逐渐增加，拉瓦尔喷嘴32内的气体温度迅速降低而形成微细颗粒，从拉瓦尔喷嘴32中喷射的气体包含固体颗粒（见说明书第[0048]-[0087]段，图2、4A-4B）。由此可见，喷嘴单元包含上本体和下本体以及设置在下本体中的上流道、下流道的技术特征已被对比文件3公开，同时对比文件3公开了可在喷嘴中形成固体颗粒，在此基础上，本领域技术人员很容易想到将清洁颗粒供给单元设置在固体喷嘴中。由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件3和本领域公知常识获得从属权利要求10所要求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，从属权利要求10所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求11：对比文件1还公开了如下技术特征：微细冻结粒子4供给单元，与固体喷嘴8连接并微细冻结粒子4（由此可以确定，固体喷嘴8具有内部流道）（见说明书第[0011]-[0013]段，图1-2）。此外，对比文件3公开了一种用于清洁基板的固体喷嘴，包括：拉瓦尔喷嘴32包括一上流道和一下流道，上流道沿拉瓦尔喷嘴32的一长度方向形成，使得其直径沿长度方向逐渐减小，下流道与上流道连接并沿拉瓦尔喷嘴32的长度方向形成，使得其直径沿长度方向逐渐增加，拉瓦尔喷嘴32内的气体温度迅速降低而形成微细颗粒，从拉瓦尔喷嘴32中喷射的气体包含固体颗粒（见说明书第[0048]-[0087]段，图2、4A-4B）。由此可见，喷嘴单元包含上本体和下本体的技术特征已被对比文件3公开，同时对比文件3公开了可在喷嘴中形成固体颗粒，在此基础上，本领域技术人员很容易想到将清洁颗粒供给单元设置在固体喷嘴中，此外，在喷嘴中设置高压载气供给单元是本领域的常用技术手段。由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件3和本领域公知常识获得从属权利要求11所要求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，从属权利要求11所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求12：为了使得塑料粉末在基板上的处理溶液层上保持浮动状态，本领域技术人员很容易想到采用比重等于或小于1的物质。因此，在从属权利要求12引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求12所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于从属权利要求13：氦气等惰性气体是本领域常见的载气。因此，在从属权利要求13引用的权利要求不具备创造性的情况下，从属权利要求13所要求保护的技术方案也不具有突出的实质性特点和显著的进步，也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
3、对复审请求人相关意见的评述
对于复审请求人在答复复审通知书时提出的意见，合议组认为：
对比文件1明确记载了基板5表面上的污染物通过微细冻结粒子4的碰撞能量除去，即微细冻结粒子4为基板5提供了冲击波，并且对比文件1还明确记载了在基板5上供给纯水以处理基板5，因此，对比文件1公开了技术特征“固体颗粒为基板提供了一冲击波”、“在基板上供给所述处理溶液以处理基板”，上述技术特征不是区别技术特征。
虽然对比文件1的目的是为了防止污染物的再粘附和防止待清洁的对象的损伤，但是对比文件1也是对现有技术中使用微细冻结粒子对基板清洗时出现的新的问题的改进，即对比文件1认识到在使用微细冻结粒子进行清洁时会遇到污染物的再粘附以及会对待清洁的对象造成损伤的技术问题，因此，对比文件1提出了设置能够调节纯水温度的喷嘴以加快微细冻结粒子的溶解，从而防止污染物的再粘附，并且防止待清洁的对象的损伤。也就是说，对比文件1公开了可利用固体颗粒对基板进行清洁，并且在清洁时要尽量清洁干净、同时要避免对基板造成损伤。在此基础上，本领域技术人员有动机选择本领域常见的固体清洁颗粒来代替对比文件1中的具体微细冻结粒子来进行清洁，并在清洁的时候要尽量清洁干净、同时要避免对基板造成损伤。而干冰、塑料砂都是本领域常见的固体清洁颗粒，本领域技术人员很容易想到采用干冰、塑料砂等固体清洁颗粒，当选用塑料砂时，必然会面临到对比文件1所认识到的要尽量清洁干净、同时要避免对基板造成损伤的技术问题，为了解决该技术问题，本领域技术人员自然会根据塑料砂的性能特点选择对应的处理溶液，即选择容易去除塑料砂的处理溶液，因此，本领域技术人员将塑料粉末作为固体清洁颗粒并不违背对比文件1的目的，它们均是进行清洁、清洁干净、避免对基板造成损伤。
对比文件1已公开了在清洁时要避免污染物的再粘附、要清洁干净、避免对基板造成损伤，本申请使得塑料粉末在处理溶液层上保持浮动状态也是为了使得固体颗粒在清洁后容易被去除，这与对比文件1的目的相同，其带来的效果也是可以预期的。综上所述，合议组对于复审请求人所陈述的理由不予支持。
基于以上理由，合议组依法作出如下复审请求审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年11月27日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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