发明创造名称：电子装置、电子装置的制造方法、电子设备及移动体
外观设计名称：
决定号：201394
决定日：2019-11-25
委内编号：1F274234
优先权日：2013-09-05
申请（专利）号：201410453131.5
申请日：2014-09-05
复审请求人：精工爱普生株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：杨建坤
合议组组长：徐丹
参审员：吕卓凡
国际分类号：G01P15/125
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，其他对比文件公开了所起作用相同的与该区别技术特征类似的技术手段，本领域技术人员能够利用生活常识对该技术手段进行改型，那么该权利要求相对于最接近的现有技术与该其他对比文件以及本领域公知常识的结合是显而易见的，不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410453131.5，名称为“电子装置、电子装置的制造方法、电子设备及移动体”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请日为2014年09月05日，优先权日为2013年09月05日，公开日为2015年03月18日，申请人为精工爱普生株式会社。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2019年01月07日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：本申请权利要求第1-10项不具备专利法第22条第3款规定的创造性。其中在驳回决定中引用了如下对比文件：
对比文件1：US2012/0299127A1，公开日为2012年11月29日；
对比文件2：CN103011051A，公开日为2013年04月03日。
驳回决定所依据的文本为：申请人于申请日2014年09月05日提交的说明书第1-211段、说明书附图1-15、说明书摘要、摘要附图，2018年11月28日提交的权利要求第1-10项。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种电子装置，其特征在于，具备：
基板；
盖体，其在所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合；
功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间，
所述盖体具有贯穿孔，所述贯穿孔贯穿于所述盖体中的所述基板侧的背面与所述盖体中的所述基板侧的相反侧的外表面之间，
所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部，
所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小，
所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，
所述贯穿孔通过密封部件而被密封。
2. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述第二孔部的平面形状为圆形。
3. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述基板以玻璃为主要材料，所述盖体以硅为主要材料。
4. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
在所述第一孔部中，内壁面以所述外表面侧的平面面积与所述底面侧的平面面积相比较大的方式倾斜，
所述第一孔部的内壁面及底面通过金属膜而被覆盖。
5. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述第二孔部的所述内表面侧的孔径与所述第一孔部的所述底面侧的所述第二孔部的孔径相比较大。
6. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述盖体在所述基板侧具有凹部，
所述盖体的所述凹部的内壁面相对于其与所述基板接合的接合面，大致 被形成为直角。
7. 一种电子装置的制造方法，其中，所述电子装置具备：基板；盖体，其在所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合；功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间，所述盖体具有贯穿孔，所述贯穿孔贯穿于所述盖体中的所述基板侧的背面与所述盖体中的所述基板侧的相反侧的外表面之间，所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部，所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小，所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述贯穿孔通过密封部件而被密封，
所述电子装置的制造方法的特征在于，包含：
通过湿蚀刻来形成所述第一孔部的工序，
通过干蚀刻来形成所述第二孔部的工序。
8. 如权利要求7所述的电子装置的制造方法，其特征在于，
所述盖体在所述基板侧具有凹部，
所述电子装置的制造方法还包含通过干蚀刻来形成所述凹部的工序。
9. 一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1所述的电子装置。
10. 一种移动体，其特征在于，
具备权利要求1所述的电子装置。”
驳回决定中指出：权利要求1请求保护一种电子装置，权利要求1和对比文件1相比，区别为：第二孔部的内壁面还包括以凹部侧与第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分。对于上述区别，对比文件2公开了一种电子装置，并具体公开了部分区别技术特征：基体210（相当于基板）、孔部240（相当于第一孔部）、连通孔270（相当于第二孔部），连通孔270的内壁面以连通孔270凹部侧与孔部240的底面侧相比较大的方式倾斜，且其在对比文件2中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同，都是使气体顺利地排出以提高生产率。因此，对比文件2给出了将上述技术特征应用于对比文件1中以使气体顺利排出的启示，本领域技术人员在面对上述技术问题时有动机改进对比文件1。由于对比文件1中第二孔部的内壁面与第一孔部的底面成直角，以保证第二孔部的机械强度，将对比文件2的技术内容应用于对比文件1中时，本领域技术人员为了既保证第二孔部的机械强度又能使气体顺利排出，容易想到将第二孔部的内壁面设计为两部分，第一部分的内壁面与第一孔部的底面成直角，第二部分的内壁面以第二孔部的凹部侧与第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜，从而使第二孔部凹部侧的孔径大于第一孔部底面侧的第二孔部的孔径。因此，权利要求1不具备创造性。独立权利要求7请求保护一种电子装置的制造方法，独立权利要求7相对于对比文件1，区别特征在于：（1）第二孔部的内壁面以第二孔部的凹部侧的孔径与第一孔部的底面侧的第二孔部的孔径相比较大的方式从中途开始倾斜；（2）第一孔部通过湿蚀刻形成。对于区别特征（1），部分特征被对比文件2所公开，部分区别特征为本领域技术人员容易想到的。对于区别特征（2），是本领域技术人员容易想到的。因此，权利要求7也不具备创造性。独立权利要求9、10分别请求保护具备权利要求1所述的电子装置的电子设备、移动体，在权利要求1不具备创造性的基础上，独立权利要求9、10也不具备创造性。从属权利要求2-6、8的附加技术特征分别都被对比文件1或2所公开，因此，也不具备创造性。
申请人精工爱普生株式会社（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2019年02月19日向国家知识产权局提出了复审请求，并提交了经过修改的权利要求书全文替换页。修改如下：将权利要求1中特征“盖体”的“基板侧”修改为“盖体”的“面向基板侧”，同时加入了特征“所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧”；同时对权利要求7作了相同的修改。
修改后的权利要求书如下：
“1. 一种电子装置，其特征在于，具备：
基板；
盖体，其在面向所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合；
功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间，
所述盖体具有贯穿孔，所述贯穿孔贯穿于所述盖体中的面向所述基板侧的背面与所述盖体中的面向所述基板侧的相反侧的外表面之间，
所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部，
所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小，
所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，
所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧，
所述贯穿孔通过密封部件而被密封。
2. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述第二孔部的平面形状为圆形。
3. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述基板以玻璃为主要材料，所述盖体以硅为主要材料。
4. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
在所述第一孔部中，内壁面以所述外表面侧的平面面积与所述底面侧的平面面积相比较大的方式倾斜，
所述第一孔部的内壁面及底面通过金属膜而被覆盖。
5. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述第二孔部的所述内表面侧的孔径与所述第一孔部的所述底面侧的所述第二孔部的孔径相比较大。
6. 如权利要求1所述的电子装置，其特征在于，
所述盖体在所述基板侧具有凹部，
所述盖体的所述凹部的内壁面相对于其与所述基板接合的接合面，大致被形成为直角。
7. 一种电子装置的制造方法，其中，所述电子装置具备：基板；盖体，其在面向所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合；功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间，所述盖体具有贯穿孔，所述贯穿孔贯穿于所述盖体中的面向所述基板侧的背面与所述盖体中的面向所述基板侧的相反侧的外表面之间，所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部，所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小，所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧，所述贯穿孔通过密封部件而被密封，
所述电子装置的制造方法的特征在于，包含：
通过湿蚀刻来形成所述第一孔部的工序，
通过干蚀刻来形成所述第二孔部的工序。
8. 如权利要求7所述的电子装置的制造方法，其特征在于，
所述盖体在所述基板侧具有凹部，
所述电子装置的制造方法还包含通过干蚀刻来形成所述凹部的工序。
9. 一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1所述的电子装置。
10. 一种移动体，其特征在于，
具备权利要求1所述的电子装置。”
复审请求人认为：对比文件2中的“连通孔270的内壁面倾斜”的结构的作用并不是“气体的排出”，而是“防止密封部件向空腔内飞散并附着于功能元件上”，该结构的作用与“气体的排出”毫无关联，因此，对比文件2不存在将连通孔的内壁面结合到对比文件1中的技术启示。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年02月22日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为本申请仍然不符合专利法第22条第3款的规定，因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局依法成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019 年09月18日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1请求保护一种电子装置，权利要求1与对比文件1相比，区别为：所述第二孔部的内壁面还包括以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧。根据上述区别特征，可以确定本申请权利要求1实际解决的技术问题为：如何更容易地使气体排出。关于上述区别技术特征，对比文件2公开了一种电子装置及其制造方法，并具体公开了：具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270（相当于本申请权利要求1的第二孔部），并且孔部240（相当于本申请权利要求1的第一孔部）经由该连通孔270与空腔232相连通。而根据生活常识，排气孔的入口孔径大于出口孔径，或者设置较大的入口孔径，气体越容易排出。因此，本领域技术人员可以确定对比文件2所公开的“具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270”相比对比文件1所公开的“相对于第一孔部的底面大致为直角的内壁”形成的孔，更有利于气体的排出。即对比文件2给出了将排气孔的孔壁设置为斜的，即气体进入端的孔径大于气体排出端的孔径，从而利于气体排出的技术启示。此时无论是将通孔V3的孔壁全部改造为斜的，还是仅仅将靠近气体进入端的一段孔壁改造为斜的（即，第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分），都是本领域技术人员根据需要容易做出的常规设计。因此，权利要求1不具备创造性。权利要求7请求保护一种电子装置的制造方法，其与对比文件1相比，其区别为：（1）所述第二孔部的内壁面还包括以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧；（2）通过湿蚀刻来形成第一孔部。根据上述区别特征，可以确定本申请权利要求7实际解决的技术问题为：（1）如何更容易地使气体排出；（2）如何形成第一孔部。关于上述区别技术特征（1），参见权利要求1的评述，都是本领域技术人员根据需要容易做出的常规设计。关于上述区别特征（2），是本领域技术人员容易想到的。因此，权利要求7也不具备创造性。独立权利要求9、10分别请求保护具备权利要求1所述的电子装置的电子设备、移动体，在权利要求1不具备创造性的基础上，独立权利要求9、10也不具备创造性。从属权利要求2-6、8的附加技术特征被对比文件1或2公开，也不具备创造性。
复审请求人于2019 年10月31日提交了意见陈述书，但未提交修改文件。复审请求人认为：对比文件2中的“连通孔270的内壁面倾斜”的结构的作用并不是“气体的排出”，而是“防止密封部件向空腔内飞散并附着于功能元件上”，该结构的作用与“气体的排出”毫无关联，因此，对比文件2不存在将连通孔的内壁面结合到对比文件1中的技术启示。此外，对审查员引用的公知常识提出异议，请求提供文献予以证明。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人在2019年02月19日提复审请求时提交了经过修改的权利要求书全文替换页，经审查，上述修改符合专利法第33条的规定及专利法实施细则61条第1款的规定。因此，本复审决定依据的文本为：复审请求人于申请日2014年09月05日提交的说明书第1-211段、说明书附图1-15、说明书摘要、摘要附图，2019年02月19日提交的权利要求第1-10项。
关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，其他对比文件公开了所起作用相同的与该区别技术特征类似的技术手段，本领域技术人员能够利用生活常识对该技术手段进行改型，那么该权利要求相对于最接近的现有技术与该其他对比文件以及本领域公知常识的结合是显而易见的。
具体到本案：
独立权利要求1请求保护一种电子装置。对比文件1公开了一种动态量传感器装置及其制造方法，其中具体公开了以下内容（参见说明书11、40-117、141-144、158段以及附图1A-12B、16A-16B，尤其是第40、41、51、69、88、106、107段及附图1A、1B、6、7A、7B、10A、10B）：
如图1A和1B所示为动态量传感器装置100，其中集成有：用于检测作为第一动态量的压力的第一动态量传感器（压力传感器）R1，用于检测作为第二物理量的加速度的第二动态量传感器（加速度传感器）R2，以及用于检测作为第三物理量的角速度的第三物理量传感器（角速度传感器）R3。（说明书第40段）
如图1A所示，随着压力产生偏移的第一动态量传感器R1的第一动态量检测单元M1，随着加速度产生偏移的第二动态量传感器R2的第二动态量检测单元M2，随着角速度产生偏移的第三动态量传感器R3的第三动态量检测单元M3，以预定间距地、可偏移地形成在半导体制成的第一基片10的主面侧。而且，以预定间距覆盖第一动态量检测单元M1、第二动态量检测单元M2、第三动态量检测单元M3的第二基片20结合在第一基片10的主面侧。（说明书第41段）
因此，在如图1A和1B所示的第二动态量传感器R2中，形成有第三通孔V3和凹部L4以便穿透第二基片20，使第二基片20的外部与第二空间K2连通。而且，用于密封第三通孔V3的密封元件F3设置在与第一基片10结合的表面相对的外表面并且覆盖凹部L4的整个底部表面，以便不穿透第二基片20的外表面。（说明书第51段）
如图4A到图7B是图1A和1B所示的动态量传感器装置100的制造方法的实施例的步骤的截面图。（说明书第69段）
因此，厚度为100到400微米的N 型单晶硅基片，例如，（100）表面用作第二基片20，如图1A所示的凹部L1到L4，第一通孔V1和第三通孔V3形成为如图6所示。（说明书第88段）
首先，如图10A所示，厚度为100到400微米的N 型单晶硅基片20a，例如（100）表面已备好，在第一基片11的接合表面侧的预定位置通过干刻蚀或湿刻蚀形成凹部L1到L3。（说明书第106段）
接下来，如图10B所示，在接合表面的相对侧的预定位置形成凹部L4后，通过干刻蚀或激光束形成如图8所示的通孔V1、V3和V4。（说明书第107段）
通过比较可知，对比文件1中公开的动态量传感器装置，相当于公开了本申请权利要求1的“电子装置”。对比文件1公开的第一基片相当于本申请权利要求1的“基板”。对比文件1公开的第二基片相当于本申请权利要求1的“盖体”；对比文件1公开的“以预定间距覆盖第一动态量检测单元M1、第二动态量检测单元M2、第三动态量检测单元M3的第二基片20结合在第一基片10的主面侧”相当于公开了本申请权利要求1的“盖体与所述基板相接合”；对比文件1公开的“如图1A所示的凹部L1到L4，第一通孔V1和第三通孔V3形成为如图6所示”，结合附图1和6可知，对比文件1公开的凹部L2相当于本申请权利要求1的“面向基板侧具有的凹部”；综上，对比文件1公开了本申请权利要求1的“盖体，其在面向所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合”。对比文件1公开的第二动态量检测单元M2相当于本申请权利要求1的“功能元件”；对比文件1公开的“以预定间距覆盖第一动态量检测单元M1、第二动态量检测单元M2、第三动态量检测单元M3的第二基片20结合在第一基片10的主面侧”，结合附图1，可知对比文件1公开了本申请权利要求1的“功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间”。对比文件1公开的“凹部L4”和“通孔V3”相当于本申请权利要求1的“贯穿孔”，即对比文件1公开了本申请权利要求1的“所述盖体具有贯穿孔”；结合附图1A可知，对比文件1公开了本申请权利要求1的“贯穿孔贯穿于所述盖体中的面向所述基板侧的背面与所述盖体中的面向所述基板侧的相反侧的外表面之间”；其中对比文件1的“凹部L4”相当于本申请权利要求1的“设置于所述外表面侧的第一孔部”，对比文件1的“通孔V3”相当于本申请权利要求1的“与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部”，即对比文件1公开了本申请权利要求1的“所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部”。由对比文件1的附图1A可确定，通孔V3的平面面积与凹部L4的底面面积相比较小，即对比文件1公开了本申请权利要求1的“所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小”。由对比文件1的附图1A可确定，通孔V3的内壁面相对于凹部L4的底面大致为直角，即对比文件1公开了本申请权利要求1的“所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分”。对比文件1公开的“用于密封第三通孔V3的密封元件F3设置在与第一基片10结合的表面相对的外表面并且覆盖凹部L4的整个底部表面，以便不穿透第二基片20的外表面”相当于公开了本申请权利要求1的“所述贯穿孔通过密封部件而被密封”。
由此可见，本申请权利要求1的技术方案与对比文件1公开的内容相比，其区别在于：所述第二孔部的内壁面还包括以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧。
根据上述区别特征，可以确定本申请权利要求1实际解决的技术问题为：如何更容易地使气体排出。
关于上述区别技术特征，对比文件2公开了一种电子装置及其制造方法，并具体公开了以下技术特征（参见说明书第115-125段以及附图4-6）：如图4至图6所示，电子装置200包括：具有基体210及盖体20的封装件230、密封部件260、和功能元件102。盖体220被载置于基体210上。盖体220也可以与基体210相接合。成为空腔232的凹部被形成在盖体220上。在盖体220的第二面222侧形成有孔部240。孔部240具有被设置在盖体220的第二面222上的第二开楼242。孔部240具备底面241，并具有截面面积（XY平面上的面积）随着从底面241朝向第二开口242而逐渐增大的形状。即：第二开口242的面积大于底面241的面积。孔部240经由被形成在盖体220上的连通孔270，而与空腔232相连通。连通孔270具有：被设置在孔部240的底面241的一部分上的第一开口272、和空腔232侧的第三开口27。第三开口274被设置在盖体220的第一面224上。连通孔270具有截面面积（XY平面上的面积）随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状。即：第三开口274的面积大于第一开口272的面积。即对比文件2公开了具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270（相当于本申请权利要求1的第二孔部），并且孔部240（相当于本申请权利要求1的第一孔部）经由该连通孔270与空腔232相连通。而根据生活常识，排气孔的入口孔径大于出口孔径，或者设置较大的入口孔径，气体越容易排出。因此，本领域技术人员可以确定对比文件2所公开的“具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270”相比对比文件1所公开的“相对于第一孔部的底面大致为直角的内壁”形成的孔，更有利于气体的排出。即对比文件2给出了将排气孔的孔壁设置为斜的，即气体进入端的孔径大于气体排出端的孔径，从而利于气体排出的技术启示。此时无论是将通孔V3的孔壁全部改造为斜的，还是仅仅将靠近气体进入端的一段孔壁改造为斜的（即，第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分），都是本领域技术人员根据需要容易做出的常规设计。
关于请求人在答复复审通知书时的陈述意见，合议组认为：首先，本领域技术人员看到对比文件2公开的连通孔270的内壁面倾斜的结构，结合生活常识可以确定该结构相比于对比文件1的“相对于第一孔部的底面大致为直角的内壁”形成的相同尺寸的孔，更有利于气体的排出。因此，对比文件2中公开的连通孔270的内壁面倾斜的结构客观上具有利于气体排出的技术效果。其次，除了对比文件2明确记载的内容能够给出技术启示外，本领域技术人员根据对比文件2公开的内容可以客观确定的技术效果也可以给出技术启示。再次，根据审查指南的规定，如果申请人对审查员引用的公知常识提出异议，审查员应当能够说明理由或提供相应的证据予以证明。在创造性评述部分以及针对意见陈述的答复部分，复审通知书和本决定都作了详细的说明。因此，合议组认为，请求人陈述的理由并不成立。
综上所述，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域常规设计得到权利要求1的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求1不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求2对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征为：所述第二孔部的平面形状为圆形。而对比文件1附图1B可以确定，通孔V3（相当于本申请的第二孔部）的平面形状为圆形。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的基础上，从属权利要求2也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求3对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征为：所述基板以玻璃为主要材料，所述盖体以硅为主要材料。而对比文件2还公开了（参见说明书第116-117段）：作为基体210，例如，可以使用玻璃基板（相当于所述基板以玻璃为主要材料）；作为盖体220，使用硅基板（相当于所述盖体以硅为主要材料）。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的基础上，从属权利要求3也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求4对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征为：在所述第一孔部中，内壁面以所述外表面侧的平面面积与所述底面侧的平面面积比较大的方式倾斜，所述第一孔部的内壁面及底面通过金属膜而被覆盖。而对比文件2还公开了（参见说明书第123、131段及附图4-6）：孔部240具备底面241，并具有截面面积（XY平面上的面积）随着从底面241朝向第二开口242而逐渐增大的形状。即：第二开口242的面积大于底面241的面积（相当于在所述第一孔部中，内壁面以所述外表面侧的平面面积与所述底面侧的平面面积相比较大的方式倾斜）。如图4-图5所示，金属层（导电层）250被形成在孔部240的侧面（平坦面243、244、245、246）及底面241上（相当于在所述第一孔部的内壁面及底面通过金属膜而被覆盖）。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的基础上，从属权利要求4也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求5对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征为：所述第二孔部的所述内表面侧的孔径与所述第一孔部的所述底面侧的所述第二孔部的孔径相比较大。而对比文件2还公开了（参见说明书第125段及附图4-6）：连通孔270具有截面面积（XY平面上的面积）随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状。即：第三开口274的面积大于第一开口272的面积（相当于所述第二孔部的所述内表面侧的孔径与所述第一孔部的所述底面侧的所述第二孔部的孔径相比较大）。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的基础上，从属权利要求5也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求6对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征为：所述盖体在所述基板侧具有凹部，所述盖体的所述凹部的内壁面相对于其与所述基板接合的接合面，大致被形成为直角。而对比文件1还公开了（参见说明书第105-106段及附图8-10C）：在第一基片11的接合表面侧的预定位置通过干刻蚀或湿刻蚀形成凹部L1到L3，结合附图8、10A-10C，对比文件1公开了所述盖体在所述基板侧具有凹部，所述盖体的所述凹部的内壁面相对于其与所述基板接合的接合面，大致被形成为直角。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的基础上，从属权利要求6也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求7请求保护一种电子装置的制造方法。对比文件1公开了一种动态量传感器装置的制造方法，具体公开内容如前所述。通过比较可知，对比文件1中公开的动态量传感器装置的制造方法，相当于公开了本申请权利要求7的“电子装置的制造方法”。对比文件1公开的第一基片相当于本申请权利要求7的“基板”。对比文件1公开的第二基片相当于本申请权利要求7的“盖体”；对比文件1公开的“以预定间距覆盖第一动态量检测单元M1、第二动态量检测单元M2、第三动态量检测单元M3的第二基片20结合在第一基片10的主面侧”相当于公开了本申请权利要求7的“盖体与所述基板相接合”；对比文件1公开的“如图1A所示的凹部L1到L4，第一通孔V1和第三通孔V3形成为如图6所示”，结合附图1和6可知，对比文件1公开的凹部L2相当于本申请权利要求7的“面向基板侧具有的凹部”；综上，对比文件1公开了本申请权利要求7的“盖体，其在面向所述基板侧具有凹部，并与所述基板相接合”。对比文件1公开的第二动态量检测单元M2相当于本申请权利要求7的“功能元件”；对比文件1公开的“以预定间距覆盖第一动态量检测单元M1、第二动态量检测单元M2、第三动态量检测单元M3的第二基片20结合在第一基片10的主面侧”，结合附图1，可知对比文件公开了本申请权利要求7的“功能元件，其被设置于所述基板与所述盖体之间”。对比文件1公开的“凹部L4”和“通孔V3”相当于本申请权利要求7的“贯穿孔”，即对比文件1公开了本申请权利要求7的“所述盖体具有贯穿孔”；结合附图1A可知，对比文件1公开了本申请权利要求7的“所述贯穿孔贯穿于所述盖体中的面向所述基板侧的背面与所述盖体中的面向所述基板侧的相反侧的外表面之间”；其中对比文件1的“凹部L4”相当于本申请权利要求7的“设置于所述外表面侧的第一孔部”，对比文件1的“通孔V3”相当于本申请权利要求7的“与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部”，即对比文件1公开了本申请权利要求7的“所述贯穿孔包含设置于所述外表面侧的第一孔部、和与该第一孔部相连通并设置于所述背面侧的第二孔部”。由对比文件1的附图1A可确定，通孔V3的平面面积与凹部L4的底面面积相比较小，即对比文件1公开了本申请权利要求7的“所述第二孔部的平面面积与所述第一孔部的平面面积相比较小”。由对比文件1的附图1A可确定，通孔V3的内壁面相对于凹部L4的底面大致为直角，即对比文件1公开了本申请权利要求7的“所述第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分”。对比文件1公开的“用于密封第三通孔V3的密封元件F3设置在与第一基片10结合的表面相对的外表面并且覆盖凹部L4的整个底部表面，以便不穿透第二基片20的外表面”相当于公开了本申请权利要求7的“所述贯穿孔通过密封部件而被密封”。对比文件1公开的“通过干刻蚀或激光束形成如图8所示的通孔V1、V3和V4”相当于公开了本申请权利要求7的“通过干蚀刻形成所述第二孔部的工序”。
因此，本申请权利要求7的技术方案与对比文件1公开的内容相比，其区别在于：（1）所述第二孔部的内壁面还包括以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分，所述第一部分与所述第二部分相比位于靠所述第一孔部的底面侧；（2）通过湿蚀刻来形成第一孔部。
根据上述区别特征，可以确定本申请权利要求7实际解决的技术问题为：（1）如何更容易地使气体排出；（2）如何形成第一孔部。
关于上述区别技术特征（1），对比文件2公开了一种电子装置及其制造方法，并具体公开了以下技术特征（参见说明书第115-125段以及附图4-6）：如图4至图6所示，电子装置200包括：具有基体210及盖体20的封装件230、密封部件260、和功能元件102。盖体220被载置于基体210上。盖体220也可以与基体210相接合。成为空腔232的凹部被形成在盖体220上。在盖体220的第二面222侧形成有孔部240。孔部240具有被设置在盖体220的第二面222上的第二开楼242。孔部240具备底面241，并具有截面面积（XY平面上的面积）随着从底面241朝向第二开口242而逐渐增大的形状。即：第二开口242的面积大于底面241的面积。孔部240经由被形成在盖体220上的连通孔270，而与空腔232相连通。连通孔270具有：被设置在孔部240的底面241的一部分上的第一开口272、和空腔232侧的第三开口27.第三开口274被设置在盖体220的第一面224上。连通孔270具有截面面积（XY平面上的面积）随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状。即：第三开口274的面积大于第一开口272的面积。即对比文件2公开了具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270（相当于本申请权利要求1的第二孔部），并且孔部240（相当于本申请权利要求1的第一孔部）经由该连通孔270与空腔232相连通。而根据生活常识，排气孔的入口孔径大于出口孔径，或者设置较大的入口孔径，气体越容易排出。因此，本领域技术人员可以确定对比文件2所公开的“具有截面面积随着从第一开口272朝向第三开口274而逐渐增大的形状的连通孔270”相比对比文件1所公开的“相对于第一孔部的底面大致为直角的内壁”形成的孔，更有利于气体的排出。即对比文件2给出了将排气孔的孔壁设置为斜的，即气体进入端的孔径大于气体排出端的孔径，从而利于气体排出的技术启示。此时无论是将通孔V3的孔壁全部改造为斜的，还是仅仅将靠近气体进入端的一段孔壁改造为斜的（即，第二孔部的内壁面包括相对于所述第一孔部的底面而大致为直角的第一部分、和以所述凹部侧与所述第一孔部的底面侧相比较大的方式倾斜的第二部分），都是本领域技术人员根据需要容易做出的常规设计。
关于上述区别特征（2），对比文件1还公开了：在第一基片11的接合表面侧的预定位置通过干刻蚀或湿刻蚀形成凹部L1到L3（参见说明书第106段）。在此基础上，采用湿蚀刻来形成第一孔部是本领域技术人员容易想到的。
因此，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域常规设计得到权利要求7的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求7不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求8对权利要求7作了进一步限定，其附加技术特征为：所述盖体在所述基板侧具有凹部，所述电子装置的制造方法还包括通过干蚀刻来形成所述凹部的工序。而对比文件1还公开了（参见说明书第105-106段及附图8-10C）：在第一基片11的接合表面侧的预定位置通过干刻蚀或湿刻蚀形成凹部L1到L3（相当于所述盖体在所述基板侧具有凹部，通过干蚀刻来形成所述凹部）。因此，在其引用的权利要求7不具备创造性的基础上，从属权利要求8也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求9请求保护一种电子设备，具备权利要求1所述的电子装置。对比文件1还公开了（参见说明书第158段）：动态量传感器装置用于车内设施（相当于本申请权利要求9的电子设备，具备电子装置）。如前所述，权利要求1所述的电子装置相对于对比文件1与对比文件2和本领域常规设计的结合对本领域技术人员来说是显而易见的，此时，具备该权利要求1所述的电子装置的电子设备也是显而易见的。因此，权利要求9不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求10请求保护一种移动体，具备权利要求1所述的电子装置。对比文件1还公开了（参见说明书第158段）：动态量传感器装置用于车内设施（相当于本申请权利要求9的移动体，具备电子装置）。如前所述，权利要求1所述的电子装置相对于对比文件1与对比文件2和本领域常规设计的结合对本领域技术人员来说是显而易见的，此时，具备该权利要求1所述的电子装置的移动体也是显而易见的。因此，权利要求10不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款规定的创造性。
三、决定
维持国家知识产权局于 2019年01月07日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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