发明创造名称：排气处理装置
外观设计名称：
决定号：196507
决定日：2019-11-13
委内编号：1F267190
优先权日：2013-04-24
申请（专利）号：201410169082.2
申请日：2014-04-24
复审请求人：大阳日酸株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：李倩
合议组组长：邱俊杰
参审员：梁月明
国际分类号：F23G7/00
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果权利要求相对于最接近的现有技术的区别技术特征一部分被对比文件公开，另一部分属于本领域常规技术手段，且效果可以预期，则认为在现有技术的基础上结合对比文件和本领域常规技术手段得到该权利要求要求保护的技术方案是显而易见的，该权利要求不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410169082.2，名称为“排气处理装置”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为大阳日酸株式会社。本申请的申请日为2014年4月24日，优先权日为2013年4月24日，公开日为2014年10月29日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年8月16日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1和3相对于对比文件1（CN101171455A，公开日为2008年4月30日）、对比文件2（CN102296321A，公开日为2011年12月28日）和本领域常规技术手段的结合不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定；权利要求2和4相对于对比文件1、对比文件2、对比文件3（CN102019142A，公开日为2011年4月20日）和本领域常规技术手段的结合不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。驳回决定所依据的文本为申请日（2014年4月24日）提交的说明书第[0001]-[0032]段、说明书摘要；2017年8月3日说明书附图图1-图2、摘要附图；2018年5月21日提交的权利要求第1-4项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种排气处理装置，其是对包含氢和氨的排气进行处理的排气处理装置，其中，包括：
测定上述排气中的氢浓度的第1氢浓度测定部件、在该第1氢浓度测定部件的下游侧测定上述排气中的氢浓度的第2氢浓度测定部件以及设置在上述第2氢浓度测定部件的下游侧的燃烧式除害装置，
并且，在上述第1氢浓度测定部件和第2氢浓度测定部件之间包括氢添加部件，当由上述第1氢浓度测定部件测定的第1氢浓度成为预先设定的第1氢浓度设定值以下时，该氢添加部件开始向上述排气添加氢，在由上述第2氢浓度测定部件测定的第2氢浓度成为预先设定的第2氢浓度设定值以上时，该氢添加部件结束向上述排气添加氢，
在上述氢添加部件和上述第2氢浓度测定部件之间设有缓冲箱，
上述第2氢浓度设定值设定为上述第1氢浓度设定值以上的浓度。
2. 根据权利要求1所述的排气处理装置，其中，
在上述燃烧式除害装置的下游侧设有对从该燃烧式除害装置导出的燃烧除害处理气体中的氨浓度进行测定的氨浓度测定部件，并且，在由上述氨浓度测定部件测定的氨浓度成为预先设定的氨浓度上限值以上时，上述氢添加部件开始向上述排气添加氢。
3. 一种排气处理装置，其是对包含氢和氨的排气进行处理的排气处理装置，其中，包括：
测定上述排气中的氢浓度的第1氢浓度测定部件、在该第1氢浓度测定部件的下游侧测定上述排气中的氢浓度的第2氢浓度测定部件以及设置在上述第2氢浓度测定部件的下游侧的燃烧式除害装置，
并且，在上述第1氢浓度测定部件和第2氢浓度测定部件之间包括氢添加部件，当由上述第1氢浓度测定部件测定的第1氢浓度成为预先设定的第1氢浓度设定值以下时，该氢添加部件开始向上述排气添加氢，在由上述第2氢 浓度测定部件测定的第2氢浓度成为预先设定的第2氢浓度设定值以上时，该氢添加部件结束向上述排气添加氢，
在上述第1氢浓度测定部件和上述第2氢浓度测定部件之间设有缓冲箱，并且，上述氢添加部件向该缓冲箱中添加氢，
上述第2氢浓度设定值设定为上述第1氢浓度设定值以上的浓度。
4. 根据权利要求3所述的排气处理装置，其中，
在上述燃烧式除害装置的下游侧设有对从该燃烧式除害装置导出的燃烧除害处理气体中的氨浓度进行测定的氨浓度测定部件，并且，在由上述氨浓度测定部件测定的氨浓度成为预先设定的氨浓度上限值以上时，上述氢添加部件开始向上述排气添加氢。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2018年11月27日向国家知识产权局提出了复审请求，没有对申请文件进行修改。复审请求人认为：本申请权利要求1与对比文件1相比，具有“上述第2氢浓度设定值设定为上述第1氢浓度设定以上的浓度”的区别，进而保证进入燃烧式除害装置12的排气中的氢浓度可靠地称为预定的浓度以上。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年12月3日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：对比文件1已经公开了废气流向，并依据第1氢浓度测定部件反馈的数据进行调整氢添加量；对比文件2公开了将空气与氧气在混氧器内进行充分混合、并在混氧器的下游设置有浓度检测装置来检测混合气体中氧气的浓度，以保证其浓度在允许的范围内。因此，对比文件2给出了启示，本领域技术人员有动机将其与对比文件1结合。因而坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年6月18日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1和3相对于对比文件1、对比文件2和本领域常规技术手段的结合不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定；权利要求2和4相对于对比文件1、对比文件2和对比文件3以及本领域常规技术手段的结合不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
复审请求人于 2019年9月30 日提交了意见陈述书，但未修改申请文件。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出复审请求审查决定。
决定的理由
（一）审查文本的认定
复审请求人在复审阶段没有提交修改文本，因此，本复审请求审查决定针对的审查文本同驳回文本，即:申请日（2014年4月24日）提交的说明书摘要、说明书第[0001]-[0032]段（第1-5页），2017年8月3日提交的说明书附图图1-图2、摘要附图，2018年5月21日提交的权利要求第1-4项。
（二）关于创造性
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步。
如果权利要求相对于最接近的现有技术的区别技术特征一部分被对比文件公开，另一部分属于本领域常规技术手段，且效果可以预期，则认为在现有技术的基础上结合对比文件和本领域常规技术手段得到该权利要求要求保护的技术方案是显而易见的，该权利要求不具备创造性。
权利要求1-4不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
1、权利要求1要求保护一种排气处理装置。对比文件1公开了一种气体燃烧设备（相当于本申请的排气处理装置），并具体公开了以下内容（参见说明书第2页第4段至第6页第3段，附图1-5）：该气体燃烧设备10是用于处理从例如用处理半导体件等的处理室12排放的气体，处理室12接收包括氢和氨的多种过程气以用于在室内进行处理（相当于对包含氢和氨的排气进行处理的排气处理装置），包括控制器70以接收指示了从处理室12输出且因此供给到燃烧喷嘴34的废气的化学组成的变化的信号72数据（相当于隐含公开了具有测定排气中的各气体浓度的浓度测定部件），处理室12出口通过泵送系统20将废气送入燃烧设备10（相当于浓度测定部件下游侧的燃烧式除害装置），控制器70根据信号72数据判断从处理室12排放的氨和氢的相对量选择地由氢源44（相当于氢添加部件）向废气添加氢，当废气包含氨和不足量的氢时（相当于测定到的氢浓度称为预先设定值以下时，也就是浓度测定部件包括氢浓度测定部件，其相当于第1氢浓度测定部件），通过选择地将氢源44的氢添加到废气以实现氨的高去除效率。权利要求1与对比文件1的区别在于；还包括在第1氢浓度测定部件的下游侧测定排气中氢浓度的第2氢浓度测定部件；第2氢浓度测定部件位于氢添加部件下游侧，燃烧式除害装置上游侧，当第2氢浓度测定部件测定的第2氢浓度成为预先设定的第2氢浓度设定值以上时，氢添加部件结束向排气添加氢，氢添加部件和第2氢浓度测定部件之间设有缓冲箱，第2氢浓度设定值设定为第1氢浓度设定值以上的浓度。基于上述区别，本申请实际要解决的技术问题是如何精确控制工艺气体的添加量。
对于上述区别，对比文件2公开了一种多晶硅生产中电解制氢工艺及其氧气回收系统，并具体公开了以下内容（参见说明书第[0041]-[0070]段，附图1-3）：氧气通过氧气管道10与经空气管道20流通的空气在混氧器4（相当于缓冲箱）中混合，混氧器4的下游依次设有第一浓度检测装置62和第二浓度检测装置64，第一浓度检测装置62根据检测到的氧浓度控制设在稳压组件和混氧器4之间的浓度调节阀61，进而控制进入混氧器4的氧气浓度而调节混氧器4输出的混合空气中氧气的含量为21-25%，第一浓度检测装置62设在混氧器4的下游，用于检测混合气体中氧气的浓度并反馈给浓度调节阀61以调整氧气流量，保证氧气浓度在允许范围内21-25%，启动切断阀63设在浓度调节阀61和混氧器4之间，当混合气体管道30的混合气体中含氧量>25%时，启动切断阀63自动关闭，第二浓度检测装置64设在第一浓度检测装置62下游，当第二浓度检测装置64检测到混合气体管道30的混合气体中含氧量>25%时，可反馈控制启动切断阀自动关闭，通过第一浓度检测装置62和第二浓度检测装置64同时工作，增加系统安全冗余度，也有利检修，混合气体经过第二浓度检测装置64后，满足氧含量要求后进入炉窑燃烧。可见，对比文件2公开了前后设置两个浓度检测装置控制进入箱体的气体浓度在一定范围内的手段。且其在对比文件2中所起的作用与其在本申请中所起作用相同，均是精确控制工艺气体的量，而且对比文件2中的混氧器接收空气和氧气，使空气和氧气在混氧器内混合形成含氧量在一定范围的富氧气体，在混合的过程中，客观上也起到缓冲均压的作用，即与本申请的缓冲箱功能相同。在对比文件2的启示下，本领域技术人员能够想到将对比文件2公开的手段用于对比文件1以解决其技术问题，在氢源44（相当于氢添加部件）下游侧、燃烧设备10（相当于燃烧式除害装置）上游侧设置检测氢浓度的第2氢浓度测定部件，并在氢源44和第2氢浓度测定部件之间设置缓冲箱以使混合气体充分混合并均衡压力使气体稳定，利用第2氢浓度测定部件检测缓冲箱下游侧的氢气浓度，在氢含量超过预设浓度时，使氢源44结束向排气添加氢。此时，设置于缓冲箱下游侧的第2氢浓度测定部件的位置显然位于测定处理室12测定氢浓度的第1氢浓度测定部件的下游侧。对比文件2中第二浓度检测装置64 控制氧含量的上限。根据对比文件2公开的内容，本领域技术人员能够想到由缓冲箱下游的第2氢浓度测定部件控制氢气浓度的上限。由此，第2氢浓度设定值显然设定为第1氢浓度设定值以上的浓度，以保证得到的氢浓度在一个合适的范围内。
因此，在对比文件1的基础上结合对比文件2和本领域常规技术手段得到权利要求1的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求1的方案不具备突出的实质性特点，不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
2、权利要求2对其引用的权利要求1进一步限定。对比文件3公开了一种排气处理方法（参见说明书第[0054]-[0086]段，附图1-7）：氨气检测装置82检测袋滤器出口侧，即集尘装置25与烟囱之间的氨气浓度，检测到的数据反馈给NOx还原剂供给量控制器81，控制器81比较检测到的氨气浓度值和设定值，当检测值超过设定值时，说明还原剂供给过量，因此，控制器81减少由NOx还原剂供给装置24供给的NOx还原剂量；NOx检测装置83检测袋滤器出口侧NOx浓度，检测数据反馈给NOx还原剂供给量控制器81，控制器81比较检测到的NOx浓度值和设定值，当检测值超过设定值时，控制器81增加由NOx还原剂供给装置24供给的NOx还原剂量。可见，对比文件3公开了根据反应产物的检测值控制参与反应的物质供给量进行调整的手段。且上述手段在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同，都能够提高控制的精度。因此，本领域技术人员能够将其应用于对比文件1，在燃烧设备10下游侧设置对从燃烧设备10导出的处理气体的氨的浓度进行测定的氨浓度测定部件，并在由该氨浓度测定部件测定的氨浓度大于预设值时，氢源44开始向废气添加氢。因此，在权利要求1不具备创造性的情况下，权利要求2也不具备创造性。
3、权利要求3要求保护一种排气处理装置。对比文件1公开了一种气体燃烧设备（相当于本申请的排气处理装置），并具体公开了以下内容（参见说明书第2页第4段至第6页第3段，附图1-5）：该气体燃烧设备10是用于处理从例如用处理半导体件等的处理室12排放的气体，处理室12接收包括氢和氨的多种过程气以用于在室内进行处理（相当于对包含氢和氨的排气进行处理的排气处理装置），包括控制器70以接收指示了从处理室12输出且因此供给到燃烧喷嘴34的废气的化学组成的变化的信号72数据（相当于隐含公开了具有测定排气中的各气体浓度的浓度测定部件），处理室12出口通过泵送系统20将废气送入燃烧设备10（相当于浓度测定部件下游侧的燃烧式除害装置），控制器70根据信号72数据判断从处理室12排放的氨和氢的相对量选择地由氢源44（相当于氢添加部件）向废气添加氢，当废气包含氨和不足量的氢时（相当于测定到的氢浓度称为预先设定值以下时，也就是浓度测定部件包括氢浓度测定部件，其相当于第1氢浓度测定部件），通过选择地将氢源44的氢添加到废气以实现氨的高去除效率。权利要求3与对比文件1的区别在于；还包括在第1氢浓度测定部件的下游侧测定排气中氢浓度的第2氢浓度测定部件；第2氢浓度测定部件位于氢添加部件下游侧，燃烧式除害装置上游侧，当第2氢浓度测定部件测定的第2氢浓度成为预先设定的第2氢浓度设定值以上时，氢添加部件结束向排气添加氢，第1氢浓度测定部件和第2氢浓度测定部件之间设有缓冲箱，并且，氢添加部件向缓冲箱中添加氢，第2氢浓度设定值设定为第1氢浓度设定值以上的浓度。基于上述区别，本申请实际要解决的技术问题是如何精确控制氢的添加量。
对于上述区别，对比文件2公开了一种多晶硅生产中电解制氢工艺及其氧气回收系统，并具体公开了以下内容（参见说明书第[0041]-[0070]段，附图1-3）：氧气通过氧气管道10与经空气管道20流通的空气在混氧器4（相当于缓冲箱）中混合，其中氧气管道10直接与混氧器4连接，向混氧器4内添加氧气，混氧器4的下游依次设有第一浓度检测装置62和第二浓度检测装置64，第一浓度检测装置62根据检测到的氧浓度控制设在稳压组件和混氧器4之间的浓度调节阀61，进而控制进入混氧器4的氧气浓度而调节混氧器4输出的混合空气中氧气的含量为21-25%，第一浓度检测装置62设在混氧器4的下游，用于检测混合气体中氧气的浓度并反馈给浓度调节阀61以调整氧气流量，保证氧气浓度在允许范围内21-25%，启动切断阀63设在浓度调节阀61和混氧器4之间，当混合气体管道30的混合气体中含氧量>25%时，启动切断阀63自动关闭，第二浓度检测装置64设在第一浓度检测装置62下游，当第二浓度检测装置64检测到混合气体管道30的混合气体中含氧量>25%时，可反馈控制启动切断阀自动关闭，通过第一浓度检测装置62和第二浓度检测装置64同时工作，增加系统安全冗余度，也有利检修，混合气体经过第二浓度检测装置64后，满足氧含量要求后进入炉窑燃烧。可见，对比文件2公开了前后设置两个浓度检测装置控制进入箱体的气体浓度在一定范围内的手段。且其在对比文件2中所起的作用与其在本申请中所起作用相同，均是精确控制增加安全冗余度，而且对比文件2中的混氧器接收空气和氧气，使空气和氧气在混氧器内混合形成含氧量在一定范围的富氧气体，在混合的过程中，客观上也起到缓冲均压的作用，即与本申请的缓冲箱功能相同。在对比文件2的启示下，本领域技术人员能够想到将对比文件2公开的手段用于对比文件1以解决其技术问题，在氢源44（相当于氢添加部件）下游侧、燃烧设备10（相当于燃烧式除害装置）上游侧设置检测氢浓度的第2氢浓度测定部件，并在第1氢浓度测定部件和第2氢浓度测定部件之间设置缓冲箱，氢源44通过管道与缓冲箱连接并向其中添加氢，利用第2氢浓度测定部件检测缓冲箱下游侧的氢气浓度，在氢含量超过预设浓度时，使氢源44结束向排气添加氢。此时，设置于缓冲箱下游侧的第2氢浓度测定部件的位置显然位于测定处理室12测定氢浓度的第1氢浓度测定部件的下游侧。对比文件2中第二浓度检测装置64 控制氧含量的上限。根据对比文件2公开的内容，本领域技术人员能够想到由缓冲箱下游的第2氢浓度测定部件控制氢气浓度的上限。由此，第2氢浓度设定值显然设定为第1氢浓度设定值以上的浓度，以保证得到的氢浓度在一个合适的范围内。
因此，在对比文件1的基础上结合对比文件2和本领域常规技术手段得到权利要求3的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求3的方案不具备突出的实质性特点，不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
4.权利要求4对引用的权利要求3进一步限定。对比文件3公开了一种排气处理方法（参见说明书第[0054]-[0086]段，附图1-7）：氨气检测装置82检测袋滤器出口侧，即集尘装置25与烟囱之间的氨气浓度，检测到的数据反馈给NOx还原剂供给量控制器81，控制器81比较检测到的氨气浓度值和设定值，当检测值超过设定值时，说明还原剂供给过量，因此，控制器81减少由NOx还原剂供给装置24供给的NOx还原剂量；NOx检测装置83检测袋滤器出口侧NOx浓度，检测数据反馈给NOx还原剂供给量控制器81，控制器81比较检测到的NOx浓度值和设定值，当检测值超过设定值时，控制器81增加由NOx还原剂供给装置24供给的NOx还原剂量。可见，对比文件3公开了根据反应产物的检测值控制参与反应的物质供给量进行调整的手段。且上述手段在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同，都能够提高控制的精度。因此，本领域技术人员能够将其应用于对比文件1，在燃烧设备10下游侧设置对从燃烧设备10导出的处理气体的氨的浓度进行测定的氨浓度测定部件，并在由该氨浓度测定部件测定的氨浓度大于预设值时，氢源44开始向废气添加氢。因此，在权利要求3不具备创造性的情况下，权利要求4也不具备创造性。
（三）对复审请求人相关意见的评述
复审请求人认为：对比文件2的第二浓度检测装置64实施切断，不具有浓度调整的反馈功能。混氧器仅在于充分地混合，并不能应对针对测定出的氧浓度不足的响应延迟。本申请是第1氢浓度测定部件13→缓冲箱→第2氢浓度测定部件16，缓冲箱在第1氢浓度测定部件13的下游，防止氢浓度不足的气体流入燃烧室，对比文件2不能避免上游侧气体供应变化的影响。
针对上述意见，合议组经审查后认为：首先，本申请权利要求1关于第2氢浓度测定部件限定的“在由上述第2氢浓度测定部件测定的第2氢浓度成为预先设定的第2氢浓度设定值以上时，该氢添加部件结束向上述排气添加氢”和“上述第2氢浓度设定值设定为上述第1氢浓度设定值以上的浓度”表明，第2氢浓度测定部件内设预定值，当检测值大于预定值时切断氢添加，也就是说，复审请求人强调的浓度调整的反馈功能实质上就是浓度高于预定值时切断输入的功能。而对比文件2公开的第二浓度检测装置64与其功能作用相同，均是在检测浓度大于预定浓度时实施切断，避免浓度过高。由于所解决的技术问题相同，因此，对比文件2公开的检测装置能够用于对比文件1。其次，对比文件2中与第一浓度检测装置62连接的浓度调节阀61能够调整进入混氧器的氧气浓度，保证混氧器出口氧浓度在一定要求以上，因此，对比文件2的混氧器并非如复审请求人所认为的仅起到混合作用，其结合下游设定的浓度检测装置以及与它们连接的浓度调节装置和切断阀，能够保证由混氧器出口流出的氧浓度在规定的范围内，因此其与本申请的缓冲器作用相同。本领域技术人员在将对比文件2应用于对比文件1时，经过简单的分析可以得到将缓冲装置设置于浓度测定部件（相当于本申请的第1氢浓度测定部件）的下游，并根据对比文件2的内容在缓冲装置下游设置浓度检测部件，以实现将浓度控制在一定范围内的作用和效果。综上，对于复审请求人的意见，合议组不予支持。
基于上述事实和理由，合议组依法作出如下复审请求审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年8月16日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,复审请求人可自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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