发明创造名称：用于化学气相沉积反应器的气体分配器
外观设计名称：
决定号：195084
决定日：2019-11-12
委内编号：1F256242
优先权日：2013-02-15
申请（专利）号：201410191366.1
申请日：2014-02-17
复审请求人：艾克斯特朗欧洲公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：王子瑜
合议组组长：倪永乐
参审员：李家刚
国际分类号：C23C16/455
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果权利要求所要求保护的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别特征，并且该区别特征是最接近现有技术的常见变形方式，且该权利要求所起到的技术效果与最接近现有技术所起到的技术效果基本相同，则认为该技术方案相对于现有技术是显而易见的，不具备创造性。
全文：
本复审请求审查决定涉及申请号为201410191366.1，名称为“用于化学气相沉积反应器的气体分配器”的发明专利申请。申请人为艾克斯特朗欧洲公司。本申请的申请日为2014年2月17日，优先权日为2013年2月15日，公开日为2014年10月8日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年4月3日发出驳回决定，驳回了本发明专利申请，其理由是：权利要求1-15相对于对比文件1（CN101107384A，公开日期2008年1月16日）和本领域常用技术手段的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为2014年2月17日提交的说明书摘要、说明书第1-94段、摘要附图、说明书附图；2018年2月22日提交的权利要求第1-15项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室(10、20)，能够分别通过进气孔(2、3)向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路(13、23)流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔(14、24)，其特征在于，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段(12、22)，所述分配区段分别与多个二次分配区段(11、21)流体连通地连接，其中，所述连接管路(13、23)分别与多个二次分配区段(11、21)在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)交替地相邻布置，并通过所述分隔壁(9)互相分隔，其中，所述连接管路(13、23)由隧道部件(15、25)构成，其中，所述隧道部件(15、25)具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板(8)，所述隧道部件(15、25)的U形臂与所述出气板相连接。
2. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，由隧道壁限定出的隧道间隙(16、26)分别在两个相邻布置的隧道部件(15、25)之间延伸，所述出气板(8)的属于另一气体分配空腔的出气孔(14、24)位于所述隧道间隙中。
3. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，在两个成行的隧道部件(15、25)的端孔之间布置属于同一个气体分配空腔的、具有出气孔(14、24)的隧道间隙(16、26)。
4. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述两个气体分配室(10、20)形成梳齿状的互相嵌入的室区段(11、21)。
5. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述室区段(11、21)通过折回状延伸的分隔壁(9)相互分隔。
6. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分配区段(12、22)相互对置地布置在上平面内。
7. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)通过共同的分隔壁(9)相互分隔。
8. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分隔壁(9)邻接在所述隧道部件(15,25)的U形连接臂上，并且在所述隧道部件(15,25)的端孔的高度上延伸。
9. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，不同的所述气体分配空腔的隧道部件(15、25)呈直线形接触。
10. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述出气板(8)的出气面(7)具有出气孔(14、24)，所述出气孔成行由同一个气体分配容积进行供气，其中，由不同的气体容积供气的出气孔(14、24)成行地交替布置。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气孔(14、24)成行交替地与互相不同的气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)相连，其中，多个相邻布置的二次分配区段(11,21)具有比连接管路(13,23)的截面更大的截面。
12. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有出气板(8)，所述出气板具有从连接管路(13、23)延伸出的出气孔(14、24)，所述出气孔与相互隔开的气体分配室(10、20)的室区段(11、21)流体流动地连接，其特征在于，所述连接管路(13、23)由基本上呈U形的隧道部件(15、25)构成，所述隧道部件的侧壁(17、27)与出气板(8)的内侧(4)相连，并且彼此间借助连接壁(18、28)相连。
13. 根据权利要求12所述的气体分配器，其特征在于，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件尤其被设计成U形型材件或者矩形型材件，其中，尤其规定，所述型材件(31、32)具有布置在交叉区域内的窗口(33、34)。
14. 根据权利要求13所述的气体分配器，其特征在于，所述第一型材件(31)的侧壁(31′)和/或第二型材件(32)的侧壁(32′)使互相不同的气体容积(10、20)互相分隔。
15. 根据权利要求14所述的气体分配器，其特征在于，在交叉布置的所述型材件(31、32)的侧壁(31′、32′)之间延伸的间隙被分配给一个共同的气体分配空腔(10)，而在所述型材件(31、32)外部延伸的空间被分配给另一个气体分配空腔(20)。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2018年7月17日向国家知识产权局提出了复审请求和修改后的权利要求书。复审请求人认为：对比文件1中连接通道布置在不同的平面上，因为应被连接的气体分配腔室12和13分别位于不同的平面9和9’中。在此情况下连接通道沿气体分配器的轴向在不同的长度上延伸。因此根据对比文件1，隧道元件或连接通道不可能具有U形的截面。
复审请求时新修改的权利要求书如下：
“1. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室(10、20)，能够分别通过进气孔(2、3)向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路(13、23)流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔(14、24)，其特征在于，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段(12、22)，所述分配区段分别与多个二次分配区段(11、21)流体连通地连接，其中，所述连接管路(13、23)分别与多个二次分配区段(11、21)在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)交替地相邻布置，并通过所述分隔壁(9)互相分隔，其中，所述连接管路(13、23)由隧道部件(15、25)构成，其中，所述隧道部件(15、25)具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板(8)，所述隧道部件(15、25)的U形臂与所述出气板相连接，其中，所述隧道部件(15、25)是型材件，并且隧道部件(15、25)的U形臂由相互延伸的侧壁(17、27)构成，该侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连，并且其中，因此所述隧道部件(15、25)内部的空间属于两个气体分配室(10、20)其中的第一气体分配室，隧道部件(15、25)的外部环境属于两个气体分配室(10、20)其中的第二气体分配室。
2. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，由隧道壁限定出的隧道间隙(16、26)分别在两个相邻布置的隧道部件(15、25)之间延伸，所述出气板(8)的属于另一气体分配空腔的出气孔(14、24)位于所述隧道间隙中。
3. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，在两个成行的隧道部件(15、25)的端孔之间布置属于同一个气体分配空腔的、具有出气孔(14、24)的隧道间隙(16、26)。
4. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述两个气体分配室(10、20)形成梳齿状的互相嵌入的室区段(11、21)。
5. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述室区段(11、21)通过折回状延伸的分隔壁(9)相互分隔。
6. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分配区段(12、22)相互对置地布置在上平面内。
7. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)通过共同的分隔壁(9)相互分隔。
8. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分隔壁(9)邻接在所述隧道部件(15,25)的U形连接臂上，并且在所述隧道部件(15,25)的端孔的高度上延伸。
9. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，不同的所述气体分配空腔的隧道部件(15、25)呈直线形接触。
10. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述出气板(8)的出气面(7)具有出气孔(14、24)，所述出气孔成行由同一个气体分配容积进行供气，其中，由不同的气体容积供气的出气孔(14、24)成行地交替布置。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气孔(14、24)成行交替地与互相不同的气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)相连，其中，多个相邻布置的二次分配区段(11,21)具有比连接管路(13,23)的截面更大的截面。
12. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有出气板(8)，所述出气板具有从连接管路(13、23)延伸出的出气孔(14、24)，所述出气孔与相互隔开的气体分配室(10、20)的室区段(11、21)流体流动地连接，其特征在于，所述连接管路(13、23)由基本上呈U形的隧道部件(15、25)构成，所述隧道部件的侧壁(17、27)与出气板(8)的内侧(4)相连，并且彼此间借助连接壁(18、28)相连。
13. 根据权利要求12所述的气体分配器，其特征在于，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件尤其被设计成U形型材件或者矩形型材件，其中，尤其规定，所述型材件(31、32)具有布置在交叉区域内的窗口(33、34)。
14. 根据权利要求13所述的气体分配器，其特征在于，所述第一型材件(31)的侧壁(31′)和/或第二型材件(32)的侧壁(32′)使互相不同的气体容积(10、20)互相分隔。
15. 根据权利要求14所述的气体分配器，其特征在于，在交叉布置的所述型材件(31、32)的侧壁(31′、32′)之间延伸的间隙被分配给一个共同的气体分配空腔(10)，而在所述型材件(31、32)外部延伸的空间被分配给另一个气体分配空腔(20)。”
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年7月31日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年5月27 日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1修改不符合专利法第33条的规定，权利要求12-15相对于对比文件1和本领域常用技术手段的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。并假设评述了权利要求1-11相对于对比文件1和本领域常用技术手段的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
复审请求人于2019年6月27日提交了意见陈述书和修改后的权利要求书。复审请求人认为：对比文件1中没有公开“所述隧道部件(15、25)是型材件，并且隧道部件(15、25)的U形臂由相互延伸的侧壁(17、27)构成，该侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连，并且其中，因此所述隧道部件(15、25)内部的空间属于两个气体分配室(10、20)其中的一个气体分配室，隧道部件(15、25)的外部环境属于两个气体分配室(10、20)其中的另一个气体分配室。”并且对比文件1也没有给出相关启示，理由是对比文件1的气体分配中用于不同气体的多个气体分配室12和13构造在不同的平面中，此外对比文件1中没有定义U形臂，并且对比文件1中连接通道14与15之间并不存在中空的气体空间，因此没有必要通过通道将一个气体分配室与另一个气体分配室分割。
复审请求人提交的权利要求书如下：
“1. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室(10、20)，能够分别通过进气孔(2、3)向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路(13、23)流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔(14、24)，其特征在于，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段(12、22)，所述分配区段分别与多个二次分配区段(11、21)流体连通地连接，其中，所述连接管路(13、23)分别与多个二次分配区段(11、21)在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)交替地相邻布置，并通过所述分隔壁(9)互相分隔，其中，所述连接管路(13、23)由隧道部件(15、25)构成，其中，所述隧道部件(15、25)具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板(8)，所述隧道部件(15、25)的U形臂与所述出气板相连接，其中，所述隧道部件(15、25)是型材件，并且隧道部件(15、25)的U形臂由相互延伸的侧壁(17、27)构成，该侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连，并且其中，因此所述隧道部件(15、25)内部的空间属于两个气体分配室(10、20)其中的一个气体分配室，隧道部件(15、25)的外部环境属于两个气体分配室(10、20)其中的另一个气体分配室。
2. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，由隧道壁限定出的隧道间隙(16、26)分别在两个相邻布置的隧道部件(15、25)之间延伸，所述出气板(8)的属于另一气体分配空腔的出气孔(14、24)位于所述隧道间隙中。
3. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，在两个成行的隧道部件(15、25)的端孔之间布置属于同一个气体分配空腔的、具有出气孔(14、24)的隧道间隙(16、26)。
4. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述两个气体分配室(10、20)形成梳齿状的互相嵌入的室区段(11、21)。
5. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述室区段(11、21)通过折回状延伸的分隔壁(9)相互分隔。
6. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分配区段(12、22)相互对置地布置在上平面内。
7. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)通过共同的分隔壁(9)相互分隔。
8. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分隔壁(9)邻接在所述隧道部件(15,25)的U形连接臂上，并且在所述隧道部件(15,25)的端孔的高度上延伸。
9. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，不同的所述气体分配空腔的隧道部件(15、25)呈直线形接触。
10. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述出气板(8)的出气面(7)具有出气孔(14、24)，所述出气孔成行由同一个气体分配容积进行供气，其中，由不同的气体容积供气的出气孔(14、24)成行地交替布置。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气孔(14、24)成行交替地与互相不同的气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)相连，其中，多个相邻布置的二次分配区段(11,21)具有比连接管路(13,23)的截面更大的截面。
12. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有出气板(8)，所述出气板具有从连接管路(13、23)延伸出的出气孔(14、24)，所述出气孔与相互隔开的气体分配室(10、20)的室区段(11、21)流体流动地连接，其特征在于，所述连接管路(13、23)由基本上呈U形的隧道部件(15、25)构成，所述隧道部件的侧壁(17、27)与出气板(8)的内侧(4)相连，并且彼此间借助连接壁(18、28)相连。
13. 根据权利要求12所述的气体分配器，其特征在于，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件尤其被设计成U形型材件或者矩形型材件，其中，尤其规定，所述型材件(31、32)具有布置在交叉区域内的窗口(33、34)。
14. 根据权利要求13所述的气体分配器，其特征在于，所述第一型材件(31)的侧壁(31′)和/或第二型材件(32)的侧壁(32′)使互相不同的气体容积(10、20)互相分隔。
15. 根据权利要求14所述的气体分配器，其特征在于，在交叉布置的所述型材件(31、32)的侧壁(31′、32′)之间延伸的间隙被分配给一个共同的气体分配空腔(10)，而在所述型材件(31、32)外部延伸的空间被分配给另一个气体分配空腔(20)。”
合议组于2019年9月10 日向复审请求人再次发出复审通知书，指出：权利要求1-15相对于对比文件1和本领域常用技术手段的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见，合议组认为：首先，复审请求人所提到的气体分配腔室12和13分别位于不同的平面9和9’仅仅是对比文件1说明书中具体实施方式。对比文件1权利要求2中记载了多个气体分配腔室设置在第二平面中，权利要求13记载了气体分配腔室设置在彼此不同的部分平面中。即，气体分配腔室12和13分别位于不同的平面9和9’仅仅为一个优选的技术方案。对比文件1中的权利要求2也记载了多个气体分配腔室，即气体分配腔室12和13位于同一平面——第二平面的技术启示。其次，参见对比文件1附图6可知，在同一个圆环上两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间，气体从两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15中间的位于下层的环形气体分配腔室12或13中通过，此时两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间在形式上形成一个隧道，其作用与本发明中的隧道部件相同，均为使得同一种气体之间相互连通并隔绝另一种气体。而本领域中采用具有U形的截面隧道部件替代对比文件1中的开槽结构也可以得到相互交替平行设置的通道，这是本领域常用技术手段，其起到的技术效果与对比文件1中相接近，是本领域技术人员可以合理预期的。第三，对比文件1的图7中两个在圆周方向上相邻(并非沿半径方向相邻)的连接通道14以及两个相邻的连接管道15中间均中空联通，构成气体连接通道。对比文件1的图8中两个在圆周方向上相邻(并非沿半径方向相邻)的连接通道14中间中空联通，构成气体连接通道。即对比文件1中中空气体空间位于连接通道14与圆周方向相邻的另一个连接通道14之间，或者连接通道15与圆周方向相邻的另一个连接通道15之间，而并非如复审请求人所认为的位于连接通道14与连接通道15之间存在中空气体空间。因此复审请求书中的意见陈述不具有说服力。
复审请求人于2019年10月21日提交了意见陈述书和修改后的权利要求书。复审请求人认为：对比文件1的权利要求2中虽然记载了“分别与气体空间相关联的多个气体分配腔室(12、13)设置在第二平面(9)中”，但此处的附图标记（12、13）并不构成对保护范围的限定，应就整个申请文件的技术方案作整体理解，结合对比文件1的附图和说明书的记载可知，为同种气体所设置的气体分配室12或13被布置在一个平面中，用于不同种气体的多个气体分配室12和13则构造在不同的平面中。此外，即使将气体分配室12和13设置在同一个平面中而且在连接通道14、15之间形成中空气体空间，“U形型材件”的具体设计也是回溯式的，对比文件1的连接通道14、15基于气体分配器的中心沿径向且同心地布置，而且气体分配室12、13也都围绕圆心环形地同心布置，而利用U形型材件来制造环形的气体分配室在工艺上是不可行的，对比文件1未给出针对U形型材的上述具体结构的启示。隧道部件由交叉的第一型材件和第二型材件构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口，隧道部件的这种构造或者说组成简化了隧道部件的制造。
复审请求人提交的权利要求书如下：
“1. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有至少两个相互分隔的气体分配室(10、20)，能够分别通过进气孔(2、3)向所述气体分配室中输入处理气体，其中，被布置在上平面内的气体分配装置分别与被布置在下平面内的连接管路(13、23)流体连通地连接，其中，属于不同气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)交替地相邻布置，并且具有用于输出处理气体的出气孔(14、24)，其特征在于，数量至少为两个的气体分配装置中的每一个具有分配区段(12、22)，所述分配区段分别与多个二次分配区段(11、21)流体连通地连接，其中，所述连接管路(13、23)分别与多个二次分配区段(11、21)在互相不同的位置上流体连通地连接，其中，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)交替地相邻布置，并通过所述分隔壁(9)互相分隔，其中，所述连接管路(13、23)由隧道部件(15、25)构成，其中，所述隧道部件(15、25)具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板(8)，所述隧道部件(15、25)的U形臂与所述出气板相连接，其中，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件(31、32)具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口(33、34)，并且隧道部件(15、25)的U形臂由相互延伸的侧壁(17、27)构成，该侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连，并且其中，因此所述隧道部件(15、25)内部的空间属于两个气体分配室(10、20)其中的一个气体分配室，隧道部件(15、25)的外部环境属于两个气体分配室(10、20)其中的另一个气体分配室。
2. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，由隧道壁限定出的隧道间隙(16、26)分别在两个相邻布置的隧道部件(15、25)之间延伸，所述出气板(8)的属于另一气体分配空腔的出气孔(14、24)位于所述隧道间隙中。
3. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，在两个成行的隧道部件(15、25)的端孔之间布置属于同一个气体分配空腔的、具有出气孔(14、24)的隧道间隙(16、26)。
4. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述两个气体分配室(10、20)形成梳齿状的互相嵌入的室区段(11、21)。
5. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述室区段(11、21)通过折回状延伸的分隔壁(9)相互分隔。
6. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分配区段(12、22)相互对置地布置在上平面内。
7. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，互相不同的所述气体分配室(10、20)的二次分配区段(11、21)通过共同的分隔壁(9)相互分隔。
8. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述分隔壁(9)邻接在所述隧道部件(15,25)的U形连接臂上，并且在所述隧道部件(15,25)的端孔的高度上延伸。
9. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，不同的所述气体分配空腔的隧道部件(15、25)呈直线形接触。
10. 根据权利要求1所述的气体分配器，其特征在于，所述出气板(8)的出气面(7)具有出气孔(14、24)，所述出气孔成行由同一个气体分配容积进行供气，其中，由不同的气体容积供气的出气孔(14、24)成行地交替布置。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的气体分配器，其特征在于，所述出气孔(14、24)成行交替地与互相不同的气体分配室(10、20)的连接管路(13、23)相连，其中，多个相邻布置的二次分配区段(11,21)具有比连接管路(13,23)的截面更大的截面。
12. 用于化学气相沉积反应器的气体分配器，所述气体分配器具有出气板(8)，所述出气板具有从连接管路(13、23)延伸出的出气孔(14、24)，所述出气孔与相互隔开的气体分配室(10、20)的室区段(11、21)流体流动地连接，其特征在于，所述连接管路(13、23)由基本上呈U形的隧道部件(15、25)构成，所述隧道部件的侧壁(17、27)与出气板(8)的内侧(4)相连，并且彼此间借助连接壁(18、28)相连，其中，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件(31、32)具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口(33、34)。
13. 根据权利要求12所述的气体分配器，其特征在于，所述第一型材件(31)的侧壁(31′)和/或第二型材件(32)的侧壁(32′)使互相不同的气体容积(10、20)互相分隔。
14. 根据权利要求13所述的气体分配器，其特征在于，在交叉布置的所述型材件(31、32)的侧壁(31′、32′)之间延伸的间隙被分配给一个共同的气体分配空腔(10)，而在所述型材件(31、32)外部延伸的空间被分配给另一个气体分配空腔(20)。”
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本
本复审请求审查决定的审查文本为：2014年2月17日提交的说明书摘要、说明书第1-94段、摘要附图、说明书附图；2019年10月21日提交的权利要求第1-14项。
关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步。
如果权利要求所要求保护的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别特征，并且该区别特征是最接近现有技术的常见变形方式，且该权利要求所起到的技术效果与最接近现有技术所起到的技术效果基本相同，则认为该技术方案相对于现有技术是显而易见的，不具备创造性。
2.1本申请权利要求1的创造性
权利要求1请求保护一种用于化学气相沉积反应器的气体分配器，对比文件1公开了一种带有布置于平面中的前腔室的气体分配器，并披露了以下技术方案（参见对比文件1权利要求1-17，附图1-10）：一种用于CVD或OVPD反应器中的气体分配器，带有两个或更多的气体空间(1、2)(相当于权利要求1中的气体分配室(10、20))，在每个空间中开有用于过程气体的供应管线(3、4)(隐含公开了进气孔(2、3))，每个气体空间(1、2)都连接到用于各个过程气体的多个出口(6、7)(相当于权利要求1中的出气孔(14、24))上，所述出口开在气体分配器的底部(5)中(相当于权利要求1中的出气板(8))，两种过程气体分别首先在径向方向上在第一平面中分配，且随后在周缘方向上在第二平面中分布；所述两个气体空间（1、2）具有位于共用第一平面（8）的前腔室（10、10’、11）(相当于权利要求1中的分配区段(12、22)和二次分配区段(11、21))，分别与气体空间相关联的多个气体分配腔室（12、13）(相当于权利要求1中的连接管路(13、23))设置在第二平面（9）中，(即公开了气体分配装置位于上平面，连接管路位于下平面)，临近气体分配器的底部，每个气体空间（1、2）的前腔室（10、10’、11）和气体分配腔室（12、13）通过连接管道（14、15）连接。
对比文件1的附图5中前腔室10为梳齿结构，其沿着圆周延伸的部分相当于气体空间1中的分配区段，而三个梳齿部（径向延伸部分）相当于气体空间1中的二次分配区段。对比文件1附图5中前腔室11位于前腔室10和10’之间的沿着延伸的部分相当于气体空间2中的分配区段，而在前腔室10和10’之间的梳齿之间的部分相当于气体空间2中的二次分配区段。
由此可见权利要求1所要求保护的技术方案与对比文件1的区别在于：所述连接管路由隧道部件构成；所述隧道部件(15、25)具有U形的截面，并将U形开口朝向出气板(8)，所述隧道部件(15、25)的U形臂与所述出气板相连接。其中，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件(31、32)具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口(33、34)，并且隧道部件(15、25)的U形臂由相互延伸的侧壁(17、27)构成，该侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连，并且其中，因此所述隧道部件(15、25)内部的空间属于两个气体分配室(10、20)其中的一个气体分配室，隧道部件(15、25)的外部环境属于两个气体分配室(10、20)其中的另一个气体分配室。权利要求1实际要解决的技术问题是：提供另一种可以实现与对比文件1的气体分配效果相近的气体分配器。
对于上述区别，对比文件1公开了围绕中心的环状气体分配室12的环状结构可以通过铣削来制造。气体分配腔室13同样同心地围绕在气体分配中心。在径向方向上，用于第一过程气体的气体分配腔室12和用于第二过程气体的环状设置的气体分配腔室13彼此交替(参见说明书第6页第7-21行)。对比文件1公开了槽型的气体分配通道并且使得气体分配腔室12和13相互交替平行设置并且相互隔离。对应于对比文件1附图6中，在同一个圆环上两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间，气体从两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15中间的位于下层的环形气体分配腔室12或13中通过，此时两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间在形式上形成一个隧道，其作用与本申请中的隧道部件相同，均为使得同一种气体之间相互连通并隔绝另一种气体。而本领域中采用具有U形的截面隧道部件也可以得到相互交替平行设置的通道也是本领域常用技术手段。并且对比文件1附图7和8可以看出，两个相邻的连接管道14之间在形式上形成的隧道中的属于气体分配腔室12，而两个相邻的连接管道15之间在形式上形成的隧道中的属于气体分配腔室13。
并且，对比文件1中的气体分配腔室12和13下部具有出口，因此容易想到将U形开口朝向出气板，隧道部件的U形臂与所述出气板相连接。并且为了批量生产而采用U形型材件制造隧道部件，而本领域中采用具有U形的截面隧道部件也可以得到相互交替平行设置的通道也是本领域常用技术手段。因此，根据需要设置为由交叉的第一型材件和第二型材件构成，型材件具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口也是本领域技术人员容易想到的。并且隧道部件的U形臂由相互延伸的侧壁构成，侧壁的棱边与出气板的内侧相连，两个侧壁与一个连接壁相连也是本领域技术人员容易想到的设置方式。
因此在对比文件1的基础上结合本领域常用技术手段得到权利要求1所要求保护的技术方案对本领域的技术人员来说是显而易见的，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.2本申请权利要求2-11的创造性
对于权利要求2和3，本领域技术人员可以知道，交替省去一半的隧道部件而形成隧道间隙是常用技术手段，此时隧道间隙分别在两个相邻布置的隧道部件沿着隧道壁的方向延伸，并且属于另一气体分配腔室，将另一气体分配腔室的出气孔设置在隧道间隙中也是省去一半隧道部件的必然结果。而与此同时，隧道部件端孔方向设置的两个隧道间隙属于与隧道腔室同一个气体分配腔室，将同一气体分配腔室的出气孔设置在隧道间隙中也是省去一半隧道部件的必然结果。
权利要求4，5，7和10的附加技术特征已经被对比文件1公开(参见附图5)。
对于权利要求6，将分配区段相互对置地布置在上平面内也是常用技术手段。
对于权利要求8，参见权利要求1的评述，本领域技术人员在有动机设置U型连接臂的基础上，并且将分隔壁邻接在所述隧道部件的U形连接臂上并且在所述隧道部件的端孔的高度上延伸。
对于权利要求9，参见对权利要求2的评述，本领域技术人员在交替省去一半的隧道部件而形成隧道间隙时，在俯视图上隧道部件之间为“点接触”，即在三维空间的高度方向上直线接触。
对于权利要求11，所述出气孔成行交替地与互相不同的气体分配室的连接管路相连已经被对比文件1公开(参见附图5)，而二次分配区段与连接管路的界面大小的选择是本领域技术人员可以通过有限的实验来选择的。
因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，权利要求2-11不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.3本申请权利要求12的创造性
权利要求12请求保护一种用于化学气相沉积反应器的气体分配器，对比文件1公开了一种带有布置于平面中的前腔室的气体分配器，并披露了以下技术方案（参见对比文件1权利要求1-17，附图1-10）：一种用于CVD或OVPD反应器中的气体分配器，带有两个或更多的气体空间(1、2)(相当于权利要求12中的气体分配室(10、20))，在每个空间中开有用于过程气体的供应管线(3、4)(隐含公开了进气孔(2、3))，每个气体空间(1、2)都连接到用于各个过程气体的多个出口(6、7)(相当于权利要求12中的出气孔(14、24))上，所述出口开在气体分配器的底部(5)中(相当于权利要求12中的出气板(8))，两种过程气体分别首先在径向方向上在第一平面中分配，且随后在周缘方向上在第二平面中分布；所述两个气体空间（1、2）具有位于共用第一平面（8）的前腔室（10、10’、11）(相当于权利要求12中的室区段 (11、21))，分别与气体空间相关联的多个气体分配腔室（12、13）(相当于权利要求1中的连接管路(13、23))设置在第二平面（9）中，(即公开了气体分配装置位于上平面，连接管路位于下平面)，临近气体分配器的底部，每个气体空间（1、2）的前腔室（10、10’、11）和气体分配腔室（12、13）通过连接管道（14、15）连接。
对比文件1的附图5中前腔室10为梳齿结构，其三个梳齿部（径向延伸部分）相当于气体空间1中的室区段，而前腔室11位于前腔室10和10’之间的沿着延伸的部分相当于气体空间2中的室区段。即，对比文件1公开了室区段通过连接管道与气体分配腔室连接。
由此可见权利要求12所要求保护的技术方案与对比文件1的区别在于：所述连接管路(13、23)由基本上呈U形的隧道部件(15、25)构成，所述隧道部件的侧壁(17、27)与出气板(8)的内侧(4)相连，并且彼此间借助连接壁(18、28)相连，其中，所述隧道部件(15、25)由交叉的第一型材件和第二型材件(31、32)构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件(31、32)具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口(33、34)。权利要求12实际要解决的技术问题是：提供另一种可以实现与对比文件1的气体分配效果相近的气体分配器。
对于上述区别，对比文件1公开了围绕中心的环状气体分配室12的环状结构可以通过铣削来制造。气体分配腔室13同样同心地围绕在气体分配中心。在径向方向上，用于第一过程气体的气体分配腔室12和用于第二过程气体的环状设置的气体分配腔室13彼此交替(参见说明书第6页第7-21行)。对比文件1公开了槽型的气体分配通道并且使得气体分配腔室12和13相互交替平行设置并且相互隔离。对应于对比文件1附图6中，在同一个圆环上两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间，气体从两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15中间的位于下层的环形气体分配腔室12或13中通过，此时两个相邻的连接管道14或两个相邻的连接管道15之间在形式上形成一个隧道，其作用与本申请中的隧道部件相同，均为使得同一种气体之间相互连通并隔绝另一种气体。本领域中，为了批量生产而采用U形型材件制造隧道部件，而本领域中采用具有U形的截面隧道部件也可以得到相互交替平行设置的通道也是本领域常用技术手段。因此，根据需要设置为由交叉的第一型材件和第二型材件构成，型材件具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口也是本领域技术人员容易想到的。并且，由于对比文件1中的气体分配腔室12和13下部具有出口，因此容易想到将将U形开口朝向出气板，即隧道部件的侧壁与出气板的内侧相连，并且彼此间借助连接壁相连。
因此，在对比文件1的基础上结合本领域常用技术手段得到权利要求12所要求保护的技术方案对本领域的技术人员来说是显而易见的，权利要求12不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.4本申请权利要求13-14的创造性
对于权利要求13，防止第一气体与第二气体混合而将第一型材件的侧壁和/或第二型材件的侧壁设置为使互相不同的气体容积互相分隔是本领域常用技术手段。
对于权利要求14，参见对权利要求12的评述，交替布置窗口是本领域常用技术手段，此时隧道间隙分别在两个相邻布置的型材的侧壁之间延伸，并且属于一个气体分配腔室，而与此同时，隧道部件外部延伸方向的空间与将与隧道腔室同属于另一个气体分配腔室，这是交替布置窗口之后的必然结果。
因此在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，权利要求13-14不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、关于复审请求人的意见陈述
复审请求人在复审请求中提到，对比文件1的权利要求2中虽然记载了“分别与气体空间相关联的多个气体分配腔室(12、13)设置在第二平面(9)中”，但此处的附图标记（12、13）并不构成对保护范围的限定，应就整个申请文件的技术方案作整体理解，结合对比文件1的附图和说明书的记载可知，为同种气体所设置的气体分配室12或13被布置在一个平面中，用于不同种气体的多个气体分配室12和13则构造在不同的平面中。此外，即使将气体分配室12和13设置在同一个平面中而且在连接通道14、15之间形成中空气体空间，“U形型材件”的具体设计也是回溯式的，对比文件1的连接通道14、15基于气体分配器的中心沿径向且同心地布置，而且气体分配室12、13也都围绕圆心环形地同心布置，而利用U形型材件来制造环形的气体分配室在工艺上是不可行的，对比文件1未给出针对U形型材的上述具体结构的启示。隧道部件由交叉的第一型材件和第二型材件构成，所述型材件被设计成U形型材件，其中，所述型材件具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口，隧道部件的这种构造或者说组成简化了隧道部件的制造。
对此，合议组经过合议和审查后认为:首先，复审请求人所提到的对比文件1的附图和说明书的记载的气体分配腔室12和13分别位于不同的平面9和9’仅仅是对比文件1说明书中具体实施方式。对比文件1权利要求2中记载了多个气体分配腔室设置在第二平面中，权利要求13记载了气体分配腔室设置在彼此不同的部分平面中。可见，权利要求13为权利要求2进一步限定的技术方案，其与权利要求2不同。换言之，权利要求2的技术方案包含多个气体分配腔室设置在相同的平面，也包含多个气体分配腔室设置在不同的部分平面的技术方案。并且合议组应用权利要求2的技术方案的内容时并没有将附图标记理解为对权利要求的限定。
其次，本领域中，U形型材可以采用滚弯成形的方式形成圆弧形的形状，滚弯成形是常规的现有技术，因此，对比文件1的气体分配室12、13为围绕圆心环形地同心布置不能认为其不可以采用U形型材来制造，也不能认为其具有不能采用U形型材制造气体分配室的相反教导。此外，参见对权利要求1和12的评述，采用U形型材件具有以均匀间距布置在交叉区域内的窗口，是本领域常用技术手段，这种简化变形是本领域技术人员可以合理预期的。
因此复审请求人的意见陈述不具有说服力。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年4月3日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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