发明创造名称：AC电力连接器、溅射设备及其方法
外观设计名称：
决定号：192009
决定日：2019-10-10
委内编号：1F275179
优先权日：
申请（专利）号：201380081666.8
申请日：2013-12-18
复审请求人：应用材料公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：郭永菊
合议组组长：伊健
参审员：尹璐旻
国际分类号：H01J37/32，H01J37/34，C23C14/34，H01G5/04，H01G5/06，H01G5/16，H01R24/38，H01R24/40，H03H7/38
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求所要求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，但是该区别技术特征属于本领域公知常识，本领域技术人员在该最接近现有技术的基础上结合上述公知常识获得该权利要求所要求保护的技术方案是显而易见的，则该权利要求不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201380081666.8，名称为“AC电力连接器、溅射设备及其方法”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为应用材料公司。本申请的申请日为2013年12月18日，公开日为2016年08月03日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年11月13日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是权利要求1-17相对于对比文件2（JP特开平5-198390A，公开日1993年08月06日）和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。具体理由为：独立权利要求1、16和17与对比文件2相比的区别技术特征在于：在真空腔室内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件。但上述区别技术特征属于本领域公知常识，因此权利要求1、16和17不具备创造性。同理，从属权利要求2-15相对于对比文件2和本领域公知常识的结合也不具备创造性。驳回决定所依据的文本为：依据专利合作条约第28或41条提交修改的说明书第1-78段、说明书附图图1-8、2016年06月15日进入中国国家阶段时提交的说明书摘要、摘要附图，2018年08月16日提交的权利要求第1-17项。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种用于将AC电源与布置在溅射设备的真空腔室内的可旋转靶材连接的AC电力连接器，所述AC电力连接器包括：
至少一个第一元件和至少一个第二元件，所述至少一个第一元件可与所述AC电源连接，所述至少一个第二元件可与所述可旋转靶材连接，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离布置以限定电容；
其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的；
其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送，
其中设有总共至少三个被嵌套的侧向元件，其中：(i)所述第一元件包括至少一个侧向元件，并且所述第二元件包括至少两个侧向元件；(ii)所述第二元件包括至少一个侧向元件，并且所述第一元件包括至少两个侧向元件；或者(iii)所述第一元件包括多个侧向元件，并且所述第二元件包括多个侧向元件；
其中在所述真空腔室内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件。
2. 如权利要求1所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件是圆柱元件，和/或其中所述至少一个第二元件是圆柱元件。
3. 如权利要求2所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件是中空的圆柱元件，和/或其中所述至少一个第二元件是中空的圆柱元件。
4. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述电容在1至5000nF的范围中、在10至2000pF的范围中、在100至1000nF的范围中、在400至600nF的范围中。
5. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件是相对于彼此可同轴地旋转的。
6. 如权利要求4所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件是相对于彼此可同轴地旋转的。
7. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，进一步包括真空罩，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件设置在所述真空罩内。
8. 如权利要求4所述的AC电力连接器，进一步包括真空罩，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件设置在所述真空罩内。
9. 如权利要求5所述的AC电力连接器，进一步包括真空罩，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件设置在所述真空罩内。
10. 如权利要求7所述的AC电力连接器，其中所述真空罩的至少部分提供为相对于所述第一元件和/或所述第二元件是可旋转的。
11. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件和/或所述至少一个第二元件包括Ag、Cu和Au中的至少一者。
12. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件至少部分地由绝缘构件围绕。
13. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述AC电力连接器配置为旋转式馈通，用于将电力传送到腔室中。
14. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，所述第一元件 包括板元件，和/或其中所述第二元件包括板元件。
15. 如权利要求1至3中的任一项所述的AC电力连接器，其中所述第一距离是可改变的。
16. 一种用于真空腔室中的溅射沉积的溅射设备，所述溅射设备包括：
真空腔室，具有壁部；
可旋转靶材，位于所述真空腔室内；
AC电源，用于将AC电力提供至所述可旋转靶材；以及
在所述壁部中提供的、权利要求1至3中的一项所述的AC电力连接器，其中所述至少一个第一元件连接至所述AC电源，并且所述至少一个第二元件连接至所述可旋转靶材。
17. 一种用于将AC电力从AC电源提供至布置在溅射设备的真空腔室内的可旋转靶材的方法，所述方法包括以下步骤：
将AC电力从所述AC电源经由至少一个第一元件传送到至少一个第二元件，其中所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件相对于彼此以第一距离布置，其中所述至少一个第二元件与所述可旋转靶材连接；以及
相对于彼此旋转所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件中的至少一者，
其中设有总共至少三个被嵌套的侧向元件，其中：(i)所述第一元件包括至少一个侧向元件，并且所述第二元件包括至少两个侧向元件；(ii)所述第二元件包括至少一个侧向元件，并且所述第一元件包括至少两个侧向元件；或者(iii)所述第一元件包括多个侧向元件，并且所述第二元件包括多个侧向元件，并且
其中在所述真空腔室内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年02月28日向国家知识产权局提出了复审请求，陈述意见并提交了修改文本，在独立权利要求1和17中补入了关于罩的具体技术特征“其中在罩内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件，其中所述罩是真空罩、或是包含保护气体或惰性气体的罩，且其中所述罩包括绝缘构件和管状构件，所述绝缘构件和/或所述管状构件包括遮蔽槽以避免所述第一元件与所述第二元件短路”，并相应删除了从属权利要求7-9中部分重复描述的技术特征“其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件设置在所述真空罩内”。复审请求人认为：对比文件2完全没有涉及与封围旋转翼14和固定翼15的罩有关的记载。即使本领域技术人员如审查员所主张的那样想到了这样的罩，他们也没有被教导包括绝缘构件和管状构件，其中所述绝缘构件和/或所述管状构件包括遮蔽槽以避免所述第一元件与所述第二元件短路。此外，也没有证据表明修改后的权利要求1所要求保护的这种罩是本领域公知常识。而且，对比文件1也无法弥补对比文件2与修改后的权利要求1的技术方案之间的上述技术区别。因此修改后的权利要求1-17具有创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年03月11日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：对比文件2本质上已经公开了采用可变电容器作为AC电力馈通，并且是用于高频等离子体装置，显然该电容器需要承受RF电力。而本领域技术人员知晓，如果用作电容器的对电极不处于真空环境或保护环境中，显然由于电极上存在RF电力会发生气体的起弧放电，因此通常来说，在RF电力馈通中都会采用真空电容器（即在罩内提供第一元件和第二元件），且审查员在第三次审查意见通知书中已经列举佐证文件JP特开平5-41336A、WO2013/113401A1以及CN102959657A来证实上述观点。在此基础上，这三篇佐证文件都公开了具有绝缘构件和管状构件，而设置遮蔽槽来避免第一元件和第二元件发生短路也是本领域技术人员容易想到和实现的，毕竟第一元件和第二元件之间发生短路显然就不再构成电容器，也就无法完成电力馈通；例如WO2013/113401A1就公开了波纹管5至少部分由绝缘材料制成，以使得电流不能在可移动电极22、17和上端子14之间流动。由此可见，将第一元件和第二元件设置于真空罩或包含保护气体或惰性气体的罩内、以及在罩中设置遮蔽槽来防止第一元件和第二元件短路都是本领域中常规的可变电容器结构，上述技术特征的限定并未给本申请带来突出的实质性特点和显著的进步，因而其仍不具备创造性。因此坚持驳回。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年04月17日向复审请求人发出复审通知书，指出权利要求1-17相对于对比文件2和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见，合议组认为：将连接器的第一元件和第二元件设置在真空罩或包括保护气体或惰性气体的罩内属于本领域公知常识，并列举了公知常识证据，例如在教材《电容器》（作者成建生、陈鸣，1990年6月第一次印刷，辽宁科学技术出版社）的第六章第四节 “真空可变电容器”中已经公开了：“真空可变电容器的外壳由上连接圈、瓷管和下连接圈组成。外壳材料一般为真空玻璃、氧化铝陶瓷”。此外，在罩的绝缘构件或管状构件上设置遮蔽槽或其他遮挡部件是本领域技术人员都知晓的常用技术手段，而且没有产生预料不到的技术效果。因此复审请求人的上述意见不具有说服力。
复审请求人于2019年08月02日提交了意见陈述书，同时提交了修改文本，将独立权利要求1和17中的“所述绝缘构件和/或所述管状构件包括遮蔽槽以避免所述第一元件与所述第二元件短路”修改为“所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转以及所述AC电力连接器包括或附连至反向轴承”，其他权利要求未做修改，修改后的权利要求书仍包括17项权利要求。新提交的独立权利要求1和17如下：
“1. 一种用于将AC电源与布置在溅射设备的真空腔室内的可旋转靶材连接的AC电力连接器，所述AC电力连接器包括：
至少一个第一元件和至少一个第二元件，所述至少一个第一元件可与所述AC电源连接，所述至少一个第二元件可与所述可旋转靶材连接，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离布置以限定电容；
其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的；
其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送，
其中设有总共至少三个被嵌套的侧向元件，其中：(i)所述第一元件包括至少一个侧向元件，并且所述第二元件包括至少两个侧向元件；(ii)所述第二元件包括至少一个侧向元件，并且所述第一元件包括至少两个侧向元件；或者(iii)所述第一元件包括多个侧向元件，并且所述第二元件包括多个侧向元件；
其中在罩内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件，其中所述罩是真空罩、或是包含保护气体或惰性气体的罩，其中所述罩包括绝缘构件和管状构件，且其中所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转；以及
其中所述AC电力连接器包括或附连至反向轴承。”
“17、一种用于将AC电力从AC电源提供至布置在溅射设备的真空腔室内的可旋转靶材的方法，所述方法包括以下步骤：
将AC电力从所述AC电源经由至少一个第一元件传送到至少一个第二元件，其中所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件相对于彼此以第一距离布置，其中所述至少一个第二元件与所述可旋转靶材连接；以及
相对于彼此旋转所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件中的至少一者，
其中设有总共至少三个被嵌套的侧向元件，其中：(i)所述第一元件包括至少一个侧向元件，并且所述第二元件包括至少两个侧向元件；(ii)所述第二元件包括至少一个侧向元件，并且所述第一元件包括至少两个侧向元件；或者(iii)所述第一元件包括多个侧向元件，并且所述第二元件包括多个侧向元件，并且
其中在罩内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件，其中所述罩是真空罩、或是包含保护气体或惰性气体的罩，其中所述罩包括绝缘构件和管状构件，且其中所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转；以及
其中所述AC电力连接器包括或附连至反向轴承。”
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出复审请求审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人在2019年08月02日提交意见陈述书时提交的修改文本符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。本复审请求审查决定所依据的文本是：复审请求人于2019年08月02日提交的权利要求第1-17项，依据专利合作条约第28或41条提交修改的说明书第1-78段、说明书附图图1-8、2016年06月15日进入中国国家阶段时提交的说明书摘要、摘要附图。
2、具体审查意见的阐述
专利法第22条第3款规定：“创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步”。
如果一项权利要求所要求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，但是该区别技术特征属于本领域公知常识，本领域技术人员在该最接近现有技术的基础上结合上述公知常识获得该权利要求所要求保护的技术方案是显而易见的，则该权利要求不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
本复审决定引用驳回决定和复审通知书中引用的如下对比文件，即：
对比文件2：JP特开平5-198390A，公开日为1993年08月06日。
权利要求1-17不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
（1）权利要求1请求保护一种用于将AC电源与布置在溅射设备的真空腔内的可旋转靶材连接的AC电力连接器，对比文件2（JP特开平5-198390A）公开了一种高频等离子体装置，并具体公开了以下技术内容（参见说明书第0002-0010段，说明书附图2-6）：该高频等离子体装置包括将高频电源17（即AC电源）与由成膜物质构成的电极3（相当于可旋转靶材）连接的连接器，电极3设置真空腔室1内，所述连接器包括多个固定翼15和多个旋转翼14（相当于至少一个第一元件和第二元件），所述固定翼15与高频电源17连接，所述旋转翼14与电极3连接，所述固定翼15和所述旋转翼14彼此间隔开从而形成电容；且固定翼15和旋转翼14相对于彼此是可旋转的，所述高频电源17通过固定翼15和旋转翼14将电力传送至电极3；其中所述固定翼15和所述旋转翼14的个数为两个或多个，图4中所示固定翼15和旋转翼14分别为3个，并且均包括彼此嵌套的侧向翼片（相当于第一元件和第二元件的各侧向元件）。
由此可见，权利要求1与对比文件2相比，区别在于：（1）在罩内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件，所述罩是真空罩、或是包含保护气体或惰性气体的罩，且所述罩包括绝缘构件和管状构件；所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转；（2）所述AC电力连接器包括或附连至反向轴承。
基于上述区别技术特征可以确定该发明实际要解决的技术问题为如何避免电力连接器发生不期望的起弧以及如何更好地向靶材提供AC电力。
对于区别技术特征（1），本领域技术人员都知晓，连接器与高频电源相连，当固定翼和旋转翼之间存在空气等易电离气体时，显然在高频电力作用下容易发生不希望的气体电离现象，从而影响该电力连接器的正常工作。因此，在本领域中，通常都会将这种以真空电容器方式工作的电力连接器布置在真空罩或壳内，或者布置在包含保护气体或惰性气体（即不易发生电离的气体）的罩内，而且这种罩或壳通常都由上、下两个绝缘构件以及中间管状构件构成，这是本领域的公知常识。例如在教材《电容器》（作者成建生、陈鸣，1990年6月第一次印刷，辽宁科学技术出版社）的第六章第四节 “真空可变电容器”中提到（第189页）：“真空可变电容器的外壳由上连接圈、瓷管和下连接圈组成”。此外，由于在本领域中将AC电力连接器布置在具有绝缘构件和管状构件的罩内属于公知常识，那么，为了更好地给靶材提供AC电力，本领域技术人员很容易想到使绝缘构件和管状构件与第二元件一起共同旋转，这无需付出创造性劳动，而且其效果也是很明显的。
对于区别技术特征（2），本领域技术人员均知晓，反向轴承在机械旋转设备中是常用的部件，而在这种AC电力连接器中，为了协助第二元件相对于第一元件更好地旋转并提供更大表面以更好地安装靶材，本领域技术人员很容易想到将该AC电力连接器连接到反向轴承，或者使其包括反向轴承，这是显而易见的，而且其效果也是很明显的。
由此可见，本领域技术人员在对比文件2的基础上结合本领域的公知常识，从而得到权利要求1请求保护的技术方案是显而易见的，而且没有产生预料不到的技术效果，因此该权利要求所要求保护的技术方案不具有突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
（2）从属权利要求2、3和5分别对第一元件和第二元件进行了进一步限定，但是其附加技术特征同样被对比文件2公开（参见说明书第0002-0010段，说明书附图2-6），即第一元件与第二元件是相对彼此可同轴旋转的，且图4和5还公开了第一元件和/或第二元件是中空的圆柱状元件。因此当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求2、3和5也不具备创造性。
（3）从属权利要求4对电容量进行了限定，对比文件2已经公开了固定翼15和旋转翼14彼此之间构成了可变电容18（参见附图6），而电容量的大小可以由本领域技术人员根据实际需要进行调整。因而，将可变电容器的电容值的大小设置在1至5000nF的范围中、在10至2000pF的范围中、在100至1000nF的范围中、或者在400至600nF的范围中是本领域技术人员根据实际阻抗匹配需要而作出的常规选择，而且也没有产生预料不到的技术效果。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求4也不具备创造性。
（4）从属权利要求6对权利要求4做了进一步限定，但是其附加技术特征同样已经被对比文件2公开了（参见说明书第0007-0010段），即固定翼15和旋转翼14可以同轴旋转。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求6也不具备创造性。
（5）从属权利要求7-9直接或间接地对权利要求1作了进一步限定，其附加技术特征是将罩限定为真空罩，但是如前所述，使用真空罩是本领域的公知常识。因此当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求7-9也不具备创造性。
（6）从属权利要求10对权利要求7作了进一步限定。然而使用真空罩是本领域公知常识，而对比文件2已经公开了旋转翼14是可旋转的，因此当在磁控溅射装置外围设置真空罩时，该真空罩相对于旋转翼也是可旋转的。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求也不具备创造性。
（7）从属权利要求11对第一元件和第二元件的材料限定为Ag、Cu和Au。对比文件2中虽然未明确公开旋转翼和固定翼的材料，但是由于其间彼此形成电容，因此两者必须由导电材料构成。而在本领域中将Ag、Cu和Au作为电容的导电极板材料是众所周知的技术常识，属于公知常识。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求也不具备创造性。
（8）从属权利要求12的附加技术特征限定了第一元件和第二元件至少部分地被绝缘构件围绕。对于本领域技术人员来说，根据实际需要在电容器的导电极板周围设置绝缘构件进行绝缘保护是本领域的常规技术手段，这无需付出创造性劳动。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不具备创造性。
（9）从属权利要求13-15对权利要求1至3任一项作了进一步限定，但是其附加技术特征同样已经被对比文件2公开了（参见说明书第0002-0010段，说明书附图2-6）：旋转翼14相对于固定翼15可旋转，从而进行旋转式馈通，进行电力传送。旋转翼14和固定翼15均包括板元件，而固定翼15在驱动机构16的驱动下可上下移动，从而使得固定翼15和旋转翼14之间的距离发生改变。因此在其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求也不具备创造性。
（10）权利要求16要求保护一种用于真空腔室中的溅射沉积的溅射设备，其包括权利要求1-3中的一项所述的AC电力连接器。对比文件2公开了一种高频等离子体溅射装置（参见说明书第0002-0010段，说明书附图2-6），其包括：真空腔室1，其具有壁部；位于真空腔室1内的电极3，其由成膜材料构成（相当于可旋转靶材），通过使电极3旋转使得能够在基板2上均匀地溅射镀膜；高频电源17（相当于AC电源），用于向电极3提供高频电力；以及包括固定翼15和旋转翼14的连接器，该连接器中的旋转翼14连接到电极3，所述固定翼15连接到高频电源。
因此，除了上述权利要求1与对比文件2相比的区别技术特征之外， 权利要求16与对比文件2相比的区别还包括：上述连接器设置在真空腔室的壁部中。基于该区别技术特征可以确定其实际要解决的技术问题同样是如何避免发生不希望的起弧现象以及如何更好地向靶材提供AC电力。
但是，在本技术领域中，为了提高溅射设备的工作性能，避免因工作环境中存在容易发生电离的气体等物质而影响其正常工作，通常情况下会将该溅射设备完全设置在真空腔内即将上述AC连接器也设置在真空腔内，这样既可以避免因工作环境中存在易电离气体而影响连接器以电容方式工作，又可以使溅射设备整体结构简单，节约成本，这是本领域的常用技术手段，属于公知常识。因此，基于与权利要求1同样的理由，权利要求16相对于对比文件2和本领域公知常识的结合不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
（11）权利要求17要求保护一种用于将AC电力从AC电源提供至布置在溅射设备的真空腔室内的可旋转靶的方法，对比文件2公开了一种高频等离子体装置，并具体公开了以下技术内容（参见说明书第0002-0010段，说明书附图2-6）：该高频等离子体装置包括将高频电源17（即AC电源）与由成膜物质构成的电极3（相当于可旋转靶材）连接的连接器，其中电极3设置在真空腔室1内，所述连接器包括多个固定翼15和多个旋转翼14（相当于至少一个第一元件和第二元件），所述固定翼15与高频电源17连接，所述旋转翼14与电极3连接，所述固定翼15和所述旋转翼14彼此间隔开从而形成电容；且固定翼15和旋转翼14相对于彼此是可旋转的，所述高频电源17通过固定翼15和旋转翼14将电力传送至电极3；其中所述固定翼15和所述旋转翼14的个数为两个或多个，图4中所示固定翼15和旋转翼14分别为3个，并且均包括彼此嵌套的侧向翼片（相当于第一元件和第二元件的各侧向元件）。
由此可见，权利要求17与对比文件2相比，区别在于：（1）在罩内提供所述至少一个第一元件和所述至少一个第二元件，所述罩是真空罩、或是包含保护气体或惰性气体的罩，且所述罩包括绝缘构件和管状构件；所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转；（2）所述AC电力连接器包括或附连至反向轴承。
基于上述区别技术特征可以确定该发明实际要解决的技术问题为如何避免电力连接器发生不期望的起弧以及如何更好地向靶材提供AC电力。
对于区别技术特征（1），本领域技术人员都知晓，连接器与高频电源相连，当固定翼和旋转翼之间存在空气等易电离气体时，显然在高频电力作用下容易发生不希望的气体电离现象，从而影响该电力连接器的正常工作。因此，在本领域中，通常都会将这种以真空电容器方式工作的电力连接器布置在真空罩或壳内，或者布置在包含保护气体或惰性气体（即不易发生电离的气体）的罩内，而且这种罩或壳通常都由上、下两个绝缘构件以及中间管状构件构成，这是本领域的公知常识。例如在教材《电容器》（作者成建生、陈鸣，1990年6月第一次印刷，辽宁科学技术出版社）的第六章第四节 “真空可变电容器”中提到（第189页）：“真空可变电容器的外壳由上连接圈、瓷管和下连接圈组成”。此外，由于在本领域中将AC电力连接器布置在具有绝缘构件和管状构件的罩内属于公知常识，那么，为了更好地给靶材提供AC电力，本领域技术人员很容易想到使绝缘构件和管状构件与第二元件一起共同旋转，这无需付出创造性劳动，而且其效果也是很明显的。
对于区别技术特征（2），本领域技术人员均知晓，反向轴承在机械旋转设备中是常用的部件，而在这种AC电力连接器中，为了协助第二元件相对于第一元件更好地旋转并提供更大表面以更好地安装靶材，本领域技术人员很容易想到将该AC电力连接器连接到反向轴承或者使其包括反向轴承，这是显而易见的，而且其效果也是很明显的。
由此可见，本领域技术人员在对比文件2的基础上结合本领域的公知常识，从而得到权利要求17请求保护的技术方案是显而易见的，而且没有产生预料不到的技术效果，因此该权利要求所要求保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
三、关于复审请求人的意见陈述
复审请求人在答复复审通知书时指出：所述绝缘构件、所述管状构件和所述第二元件经配置以相对于所述第一元件共同地旋转，在AC电力连接器位于处理腔室内部（或在处理腔室的壁部分处）的系统中是有益的，这种情况下，处理腔室内部的可旋转靶材能够被直接安装到AC电力连接器，并且可旋转靶材、第二元件以及罩的绝缘构件和管状构件能够全部一起旋转。然而对比文件2的旋转翼14和固定翼15布置在处理腔室外部，没有技术上的理由提供与旋转翼14一起旋转的罩。此外，本申请的AC电力连接器所附连至的反向轴承提供了更大的表面以供安装靶材，这种更大的表面允许更好地将电力传送给靶材。而本领域技术人员从对比文件2出发不会有动机提供反向轴承，因为翼14/15被布置在处理腔室外部。本领域技术人员可使用电缆将对比文件2的翼14/15连接至电极3，但电缆具有小横截面，所以向电极3的电力传送相较所要求保护的使用反向轴承而言效率会低很多。因此本申请具有创造性。
合议组认为：虽然对比文件2中未涉及封围旋转翼14和固定翼15的罩有关的记载，但是本申请的溅射设备将AC连接器的第一元件和第二元件设置在所述罩内属于本领域公知常识（如前面所述），而罩与电容器元件一起旋转或者不旋转在本领域都是常见的，为了更好地为靶材提供AC电力，本领域技术人员很容易想到使罩与第二元件一起相对于第一元件共同旋转，而且其所产生的效果也是显而易见的。此外，反向轴承在溅射设备中也是常见的构件，而在溅射设备中采用反向轴承从而使得第二元件相对于第一元件更好地旋转和提供更大表面来安装靶材，这是本领域常用技术手段，这也是由反向轴承的公知作用决定的，而其效果也是本领域所熟知的。因此复审请求人的上述意见不具有说服力。
基于上述理由，合议组依法作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年11月13日对201380081666.8号发明专利申请做出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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