发明创造名称：一种光泵浦气体激光器
外观设计名称：
决定号：191923
决定日：2019-10-10
委内编号：1F260134
优先权日：
申请（专利）号：201510744351.8
申请日：2015-11-04
复审请求人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：任晓东
合议组组长：张瑜
参审员：程灿
国际分类号：H01S3/091,H01S3/101,H01S3/041,H01S3/02
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求的技术方案与最接近的现有技术之间存在区别特征，而该区别特征部分是另一份现有技术中披露的相关技术手段，部分是本领域的常用技术手段，且该些区别特征未给该项权利要求限定的技术方案带来预料不到的技术效果，则该权利要求所限定的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201510744351.8，名称为“一种光泵浦气体激光器”的发明专利申请。申请人为中国工程物理研究院激光聚变研究中心。本申请的申请日为2015年11月04日，公开日为2016年01月13日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年08月14日发出驳回决定，驳回了本发明专利申请，其理由是：权利要求1-8不符合专利法第22条第3款的规定。驳回决定中引用了如下2篇对比文件：
对比文件1：《高能量光泵太赫兹气体激光器研究》，苗亮，中国博士学位论文全文数据库，公开日期为2012年09月15日。
对比文件2：CN104767114A，公开日期为2015年07月08日。
驳回决定所依据的文本为2015年11月04日提交的说明书摘要、说明书第1-39段、摘要附图、说明书附图1-3，2018年07月11日提交的权利要求1-8项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种光泵浦气体激光器，其特征在于：包括真空波导管（1）、光桥（5）、输入耦合反射镜（19）和输出耦合镜（25），所述真空波导管（1）的两端分别通过固定端座（2）安装于光桥（5）上，所述输入耦合反射镜（19）通过输入镜座（4）安装在光桥（5）上，所述输出耦合镜（25）通过输出镜座（3）在安装在光桥（5）上，且输入耦合反射镜（19）和输出耦合镜（25）分别设置在真空波导管（1）的两端；所述固定端座（2）和输出镜座（3）之间、固定端座（2）和输入镜座（4）之间均是由焊接波纹管（17）密封连接，焊接波纹管（17）外侧周围均设置有微调装置和弹簧锁紧装置；所述输入耦合反射镜（19）螺纹连接在环形压电陶瓷（21）的末端，环形压电陶瓷（21）套设于输入镜座（4）内，所述环形压电陶瓷（21）的首端设有电源控制线、窗口盖板（23）和窗口镜（24），电源控制线通过航空插头（22）与外部电源连接，所述窗口盖板（23）、窗口镜（24）安装在真空波导管（1）的轴线上，输入耦合反射镜（19）的中部、位于真空波导管（1）的轴线位置处开有小孔（20），泵浦光通过小孔（20）平行射入真空波导管（1）的谐振腔内；所述弹簧锁紧装置由螺栓（13）以及弹簧（15）构成，弹簧锁紧装通过螺栓（13）螺纹以及弹簧（15）的复位弹力实现固定端座（2）和输入镜座（4）之间，以及和输出镜座（3）之间的位置锁紧。
2. 根据权利要求1所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述微调装置为细牙螺纹副（12），微调装置通过细牙螺纹副（12）上的螺纹调节固定端座（2）和输入镜座（4）之间，以及和输出镜座（3）之间的微距。
3. 根据权利要求2所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述光桥（5）至少有三根，所述细牙螺纹副（12）至少有三根，所述螺栓（13）和弹簧（15）构成弹簧锁紧装置至少有三个。
4. 根据权利要求1所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述真空波导管（1）的外壁包裹有水冷套（6），水冷套（6）外接有进水管（8）和出水管（9），所述水冷套（6）通过进水管（8）填充冷却水（7），通过出水管（9）释放冷却水（7）；所述输入镜座（4）和输出镜座（3）上均设置有水冷流道（14），水冷流道（14）外接有水冷接头（11），由水冷接头（11）填充冷却水。
5. 根据权利要求1所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述输出耦合镜（25）由锁紧环（27）和过渡压片（26）紧固。
6. 根据权利要求5所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述输出耦合镜（25）由石英基底镀膜构成，锁紧环（27）是铜压环，过渡压片（26）为软质材料，输入耦合反射镜（19）为镀金铜镜。
7. 根据权利要求1所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述固定端座（2）和真空波导管（1）的外壁之间设置有O型密封圈，并且固定端座（2）是通过紧固螺钉固定安装在光桥（5）上。
8. 根据权利要求1所述的一种光泵浦气体激光器，其特征在于：所述真空波导管（1）是真空金属管或石英玻璃管，所述光桥（5）由殷钢制成。”
驳回决定认为：独立权利要求1与对比文件1的区别在于“（1）真空波导管的两端通过固定端座安装于光桥上、输入镜座、输出镜座安装在光桥上；（2）所述输入耦合反射镜螺纹连接在环形压电陶瓷的末端，环形压电陶瓷套设于输入镜座内，所述环形压电陶瓷的首端设有电源控制线、窗口盖板和窗口镜，电源控制线通过航空插头与外部电源连接，所述窗口盖板、窗口镜安装在真空波导管的轴线上，输入耦合反射镜的中部、位于真空波导管的轴线位置处开有小孔，泵浦光通过小孔平行射入真空波导管的谐振腔内；（3）弹簧锁紧装置由螺栓以及弹簧构成，弹簧锁紧装通过螺栓螺纹以及弹簧的复位弹力实现固定端座和输入镜座之间，以及和输出镜座之间的位置锁紧。”，区别技术特征（1）和（3）是本领域常用技术手段，对比文件2披露了采用压电陶瓷进行THz谐振腔的腔长控制，区别技术特征（2）是基于对比文件2结合本领域的常用技术手段容易想到的，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域的常用技术手段得到该权利要求请求保护的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-8的附加技术特征或被对比文件1公开，或为本领域常用技术手段，当其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求2-8也不具备创造性。
申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2018年09月06日向国家知识产权局提出了复审请求，未修改申请文件。
复审请求人认为：（a）相对于对比文件1图4-2对应的石英玻璃管作为真空波导管的情况，本申请中的方案还具有区别技术特征：所述输入耦合反射镜（19）通过输入镜座（4）安装在光桥（5）上，所述输出耦合镜（25）通过输出镜座（3）安装在光桥（5）上。通过该区别技术特征解决的技术问题是：为了解决现有的真空波导管易产生形变造成的谐振腔的线性度、稳定度差等技术问题，而研发、创新设计的一种光泵浦气体激光器。该区别技术特征带来的效果是输入镜座上的输入耦合反射镜、输出镜座上的输出耦合镜是相对不动的，即便是真空波导管受外力作用（如固定锁紧等）、振动和温度波动等因素而产生变形，输入耦合反射镜、输出耦合镜之间的相对位置关系并不会发生变化。（b）虽然对比文件1与本申请技术领域相同、公开了较多的技术特征，但两者所面临的技术问题和采用的技术方案不同，对比文件1完全没有意识到低气压气体激光器增益带宽很窄，导致腔长的变化（纵模频率）对功率稳定性影响巨大，本领域技术人员难以以对比文件1为起点来获得本申请的技术方案。本领域技术人员缺乏对对比文件1改进的内在动力前提下，不能将对比文件2中采用压电陶瓷进行THz谐振腔的腔长控制的技术特征与对比文件1以及许多公知常识结合得到本申请的技术方案。（c）对比文件2并没有给出环形压电陶瓷的实现方式，只从对比文件2无法得到实际的结构设计解决方案。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年09月25日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年05 月31 日向复审请求人发出复审通知书，指出：
权利要求1要求保护的技术方案与对比文件1的技术方案相比，其区别在于：（a）权利要求1的真空波导管是通过位于两个端部的固定端座（2）固定在光桥上的，输入耦合反射镜通过输入镜座（4）安装在光桥（5）上，固定端座（2）和输出镜座（3）之间、固定端座（2）和输入镜座（4）之间均是由焊接波纹管（17）密封连接；(b)焊接波纹管的外侧周围均设置有微调设置和弹簧锁紧装置，所述弹簧锁紧装置由螺栓（13）以及弹簧（15）构成，弹簧锁紧装置通过螺栓（13）螺纹以及弹簧（15）的复位弹力实现固定端座（2）和输入镜座（4）之间，以及和输出镜座（3）之间的位置锁紧；(c)所述输入耦合反射镜（19）螺纹连接在环形压电陶瓷（21）的末端，环形压电陶瓷（21）套设于输入镜座（4）内，所述环形压电陶瓷（21）的首端设有电源控制线、窗口盖板（23）和窗口镜（24），电源控制线通过航空插头（22）与外部电源连接，输入耦合反射镜（19）的中部、位于真空波导管（1）的轴线位置处开有小孔（20），泵浦光通过小孔（20）平行射入真空波导管（1）的谐振腔内。上述区别技术特征（a）和（b）可由对比文件1结合本领域的常用技术手段得到，对比文件2给出了在光泵浦气体太赫兹激光器中使用环形结构的压电陶瓷移动输入耦合反射镜来精确控制谐振腔长以及使泵浦光通过设置在输入耦合反射镜中心的小孔进入谐振腔的技术启示，上述区别技术特征（c）可由对比文件2结合本领域的常用技术手段得到，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域的常用技术手段得到该权利要求请求保护的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的，因此，权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-8的附加技术特征或被对比文件1，2公开，或为本领域常用技术手段，当其引用权利要求不具备创造性时，权利要求2-8也不具备创造性。
复审请求人2019年06月25日提交了意见陈述书，但未修改申请文件。复审请求人认为：（a）本申请所要解决的技术问题并不是简单地如何固定装配输入输出耦合反射镜，如何固定装配输入输出耦合反射镜仅仅是表面现象，现有技术中都将输入输出耦合反射镜直接与真空波导管或者通过其他器件与真空波导管进行固定连接，那在外力作用下真空波导管极易产生变形，变形后真空波导管两段的输入耦合反射镜、输出耦合反射镜的相对位置即发生变化，造成这个谐振腔的线性度、稳定度、精度差降低。本申请实质上所要解决的技术问题是：为了解决现有的真空波导管易产生形变造成的谐振腔的线性度、稳定度差等技术问题，对比文件1没有意识到“低气压气体激光器增益带宽很窄，导致腔长的变化（纵模频率）对功率稳定性影响巨大”，而本申请能解决该技术问题，对比文件2只说了使用环形压电陶瓷，但是并未说如何用，只从对比文件2无法得到实际的结构设计解决方案；（b）在对比文件1、对比文件2中，在外力作用下当真空波导管产生形变后，真空波导管两端的输入耦合反射镜、输出耦合镜之间的相对位置将产生变化，整个激光器谐振腔的线性度、稳定度和重复定位性差、系统刚度低以及长度调节精度都将受到影响。在本申请中，输入耦合反射镜、输出耦合反射镜安装在光桥上，输入耦合反射镜、输出耦合反射镜并未直接或间接相连，当真空波导管在外力作用下产生形变时，安装在光桥两段的输入耦合反射镜、输出耦合反射镜的相对位置并不会发生变化，从而整个激光器的谐振腔并不会发生变化，从而使得激光器谐振腔的线性度、稳定度和重复定位性差、系统刚度低以及长度调节精度等都不会受到真空波导管的形变影响。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
决定的理由
、审查文本的认定
在复审程序中，复审请求人没有修改申请文件。因此，本复审请求审查决定所针对的审查文本是：2015年11月04日提交的说明书摘要、说明书第1-39段、摘要附图、说明书附图1-3，2018年07月11日提交的权利要求1-8项。
（二）、关于创造性的问题
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求的技术方案与最接近的现有技术之间存在区别特征，而该区别特征部分是另一份现有技术中披露的相关技术手段，部分是本领域的常用技术手段，且该些区别特征未给该项权利要求限定的技术方案带来预料不到的技术效果，则该权利要求所限定的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
具体到本案：
1. 独立权利要求1请求保护一种光泵浦气体激光器。对比文件1公开了一种太赫兹激光振荡器，具有以下技术特征（参见对比文件1第50-62页，图4-1至4-7）：图4-4公开了全金属高真空系统的实物图，其四个组成部分为：不锈钢管激光腔、超高真空泵、超高真空规和D20充气法兰，D20装在安瓿瓶中，在充气管的端面连接一个用橡胶垫片密封的法兰，用注射器将D20通过橡胶垫片注入充气管，由充气管充当简易的D20容器。图4-5为全金属太赫兹激光腔的结构图，激光腔总长为1.4m。激光腔两端的密封窗口（泵浦光输入耦合镜和太赫兹光输出耦合镜）利用氟橡胶0型圈密封，窗口的镜片盒结构和密封方式与石英玻璃管真空系统相同。两个激光腔固定支架用金属光桥相连，以防止抽真空过程中大气压力使密封窗口倾斜。图4-5左侧的线栅镜片盒两端各连有一个焊接波纹管，它比模压波纹管的形变量更大，弹性也更好，可以通过二维倾斜台和电控平移台分别调节线栅的倾角和谐振腔的腔长。电控平移台由步进电机控制器（SC101，北京光学仪器厂）控制，单步运行距离为78.125nm。泵浦光输入耦合镜和太赫兹光输出耦合镜装在激光腔两边的复合式镜片盒中。如图4-3所示，复合式镜片盒由一个母镜片盒和一个子镜片盒组成,其中包括母镜片盒1、母镜片盒压盖2、子镜片盒3、子镜片盒压盖4、输入或输出耦合镜6。
将权利要求1与对比文件1对比可知：对比文件1中的太赫兹激光振荡器是高能量选支TEA CO2激光器泵浦的D20激光器，因此是一种光泵浦气体激光器，并且对比文件1中两个激光腔分别为金属线栅偏振器镜片盒4左侧的泵浦光导入腔和右侧的太赫兹激光振荡器的谐振腔，不锈钢管8形成以D20为介质真空波导管。不锈钢管8左端金属线栅偏振器镜片盒4内的金属线栅偏振器镜片作为谐振腔的输入耦合反射镜，不锈钢管8右端金属线栅偏振器镜片盒5内的金属线栅偏振器镜片作为谐振腔的输出耦合镜，可见对比文件1公开了该光泵浦气体激光器包括真空波导管、输入耦合反射镜和输出耦合镜；不锈钢管8与金属线栅偏振器镜片盒4之间具有焊接波纹管，同样的，从图4-5中可以看出不锈钢管8和金属线栅偏振器镜片盒5之间也是通过焊接波纹管连接。对比文件1中公开了两个激光腔固定支架用金属光桥连接，金属线栅偏振器镜片盒4通过二维倾斜台和电控平移台分别调节线栅的倾角和谐振腔长，并且如图4-5所示，左侧的泵浦光导入腔和右侧的太赫兹激光振荡器的谐振腔固定支架用金属光桥相连，不锈钢管8通过多个激光腔托架9固定在金属光桥上，金属线栅偏振器镜片盒5和输出耦合镜的镜片盒1通过激光腔固定支架2固定在光桥上，该激光腔固定支架2相当于输出镜座，因此对比文件1公开了光桥、输出耦合镜通过输出镜座固定在光桥上、通过焊接波纹管连接真空波导管端部与输入耦合反射镜、通过焊接波纹管连接真空波导管端部与输出镜座；如图4-5，左端的输入耦合镜复合式镜片盒1安装在不锈钢管8的轴线上，其相当于窗口，图4-3公开了该窗口具有压盖和耦合镜镜片结构，此处的压盖相当于窗口压盖，耦合镜镜片相当于窗口镜。
权利要求1要求保护的技术方案与对比文件1的技术方案相比，其区别在于：
（a）权利要求1的真空波导管是通过位于两个端部的固定端座（2）固定在光桥上的，输入耦合反射镜通过输入镜座（4）安装在光桥（5）上，固定端座（2）和输出镜座（3）之间、固定端座（2）和输入镜座（4）之间均是由焊接波纹管（17）密封连接；
(b)焊接波纹管的外侧周围均设置有微调设置和弹簧锁紧装置，所述弹簧锁紧装置由螺栓（13）以及弹簧（15）构成，弹簧锁紧装通过螺栓（13）螺纹以及弹簧（15）的复位弹力实现固定端座（2）和输入镜座（4）之间，以及和输出镜座（3）之间的位置锁紧；
(c)所述输入耦合反射镜（19）螺纹连接在环形压电陶瓷（21）的末端，环形压电陶瓷（21）套设于输入镜座（4）内，所述环形压电陶瓷（21）的首端设有电源控制线、窗口盖板（23）和窗口镜（24），电源控制线通过航空插头（22）与外部电源连接，输入耦合反射镜（19）的中部、位于真空波导管（1）的轴线位置处开有小孔（20），泵浦光通过小孔（20）平行射入真空波导管（1）的谐振腔内。
权利要求1实际解决的技术问题是：如何固定装配真空波导管和输入输出耦合反射镜；如何调节输入耦合反射镜和输出耦合镜的倾斜状态；如何精确调节谐振腔的腔长。
关于区别技术特征(a)，合议组认为：对比文件1中公开了不锈钢管8通过多个激光腔托架9固定在金属光桥上，该激光腔托架9的作用是承载不锈钢管8并将其固定在光桥上，其作用等同于固定端座（2），对于本领域技术人员来说，能够根据实际需求（例如根据真空波导管的重量和长度以及由此可能带来的形变等因素）选择适合数量的激光腔托架的数量和设置位置，这是本领域技术人员基于本领域知识做出的常规选择。因此，基于对比文件1公开的上述技术内容，本领域技术人员在不影响真空波导管技术参数的前提下，容易想到在真空波导管端部设置两个固定端座以实现真空波导管在光桥上的固定。对比文件1公开了输出耦合镜通过激光腔固定支架固定在光桥上的特征，该固定支架相当于输出镜座，在输入耦合反射镜不设置外部电控平移的情况下，本领域技术人员容易想到将输入耦合反射镜也通过镜座结构固定在光桥上。对比文件1公开了通过焊接波纹管连接真空波导管端部与输入耦合反射镜、通过焊接波纹管连接真空波导管端部与输出镜座,本领域技术人员知晓该结构能够防止真空波导管形变导致输入耦合反射镜和输出耦合反射镜发生位移，从而稳定腔长。本领域技术人员在此公开基础上容易想到将焊接波纹管分别设置在焊接波纹管端部和输入镜座之间以及焊接波纹管端部和输出镜座之间以实现同样的目的。
关于区别技术特征（b），合议组认为：本领域中使用螺栓和弹簧装置构成的调节装置作为光学元件座以调节座上的光学元件的倾斜状态是公知的技术，对比文件1中披露了输入耦合反射镜设置在二维倾斜平台上，此中暗含了对输入耦合反射镜可以调节其倾斜状态，本领域技术人员同时知晓作为激光器的腔镜输出耦合镜的状态同样需要进行调整，在此需求下，本领域技术人员选择本领域中常用的、螺栓和弹簧装置构成的调节装置进行调整和锁紧，属于常用技术手段。
关于区别技术特征（c），合议组认为：对比文件1公开了将输入耦合反射镜设置在电控平移台以调节不锈钢管形成的谐振腔腔长的技术方案，也就是说对比文件1披露了通过调节输入耦合反射镜的位置来调节该激光器的真空波导管谐振腔长的方法。对比文件2公开了一种光泵气体THz激光器输出的稳频装置（参见说明书0034-0035段，0048-0050段及图1，2），在该激光器中，THz谐振腔3中包括镀有增透膜的ZnSe窗口12，第一PZT驱动器9，微音器23，第一PZT 13，凹面镀金全反镜14，THz激光输出镜15，THz谐振腔3内的第一PZT13是采用封装型管状压电陶瓷，行程为200微米，所述微音器23采用硅微电容式微音器，选用Knowles公司的EK-23024-000型微音器。第一PZT驱动器9、第二PZT驱动器10和计算机11构成的反馈控制系统22。THz激光器谐振腔3采用平-凹谐振腔，泵浦激光输入采用小孔耦合输入方式，其中，凹面镀金反射镜为铜镜，中心口径2mm作为泵浦激光器1的输出激光的输入孔。通过调节THz谐振腔3内的第一PZT(压电陶瓷)13来改变THz谐振腔3的腔长，在调节谐振腔长的同时通过THz功率计4观察并记录THz输出功率，找到THz激光的输出峰，并通过实时调节THz谐振腔3的腔长，使THz激光保持在输出峰值处。由此可见，对比文件2同样公开了一种光泵浦气体太赫兹激光器，该激光器通过设置在凹面镀金全反镜14的管状压电陶瓷（相当于权利要求1中的环形压电陶瓷）来控制凹面镀金全反镜14的位移，从而实现对太赫兹激光器腔长的控制，作为输入耦合镜的凹面镀金全反镜14中心设有小孔，用于输入泵浦光，可见对比文件2给出了在光泵浦气体太赫兹激光器中使用环形结构的压电陶瓷移动输入耦合反射镜来精确控制谐振腔长以及使泵浦光通过设置在输入耦合反射镜中心的小孔来进入谐振腔的技术启示。在对比文件1公开了通过调节输入耦合反射镜的位置来调节真空波导管谐振腔长的基础上，在对比文件2的技术启示下,本领域技术人员有动机采用环形结构的压电陶瓷来驱动输入耦合反射镜以更精确的调节谐振腔腔长,也有动机在输入耦合反射镜的中心设置将泵浦光引入真空波导管的开孔。至于具体将输入耦合反射镜螺纹连接在环形压电陶瓷的末端，环形压电陶瓷套设于输入镜座内，在环形压电陶瓷的首端设电源控制线、窗口盖板和窗口镜，电源控制线通过航空插头与外部电源连接，泵浦光通过小孔是平行射入真空波导管的谐振腔内，都是本领域技术人员根据实际结构，为了便于电连接、反射镜的安装以及光泵浦而容易想到的常规设置方式。
综上所述，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及上述常用技术手段得到该权利要求所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的，因此，权利要求1不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
对于上述复审请求人在答复复审通知书时提出的意见，合议组认为：
（a）复审请求人认定本申请解决的技术问题是由于真空波导管形变带来的谐振腔线性度、稳定度、精度等问题，而在本申请的申请文件中并未提及真空波导管带来谐振腔的上述问题，根据本申请说明书（第1页第0004段）的记载“本发明的目的在于提供一种光泵浦气体激光器，解决了现有技术中的光泵浦气体激光器，是采用电机、导轨或手动平移台的方式进行谐振腔长度调节，其精度、线性度、稳定性和重复定位性较差，系统刚度较低的问题。”可知,谐振腔的上述问题是由“采用电机、导轨或手动平台的方式进行谐振腔的调节”带来的，因此本申请是针对现有调节腔长运动方式进行的改进。对比文件1中图4-5对应的方案中公开了通过电控平移台改变输入耦合反射镜的位置调节腔长的技术手段，对比文件2同样是调节光泵浦气体太赫兹腔长获得稳定频率和输出功率的激光器，对比文件1和2与本申请属于相同的技术领域，都是通过调节腔长来获得稳频输出，因此对比文件1能够作为本申请的最接近现有技术。从本申请的说明书可知，本申请所采用的技术手段是通过在腔内设置环形压电陶瓷来实现精确调节腔长，而对比文件2中公开了采用腔内设置环形压电陶瓷调节腔长，将对比文件2披露的调节腔长的技术手段用于对比文件1中的太赫兹激光振荡器的谐振腔，并不存在改进动机和结合的技术障碍。对比文件2同时公开了THz谐振腔3内的第一PZT13是采用封装型管状压电陶瓷，行程为200微米，所述微音器23采用硅微电容式微音器，选用Knowles公司的EK-23024-000型微音器。第一PZT驱动器9、第二PZT驱动器10和计算机11构成的反馈控制系统22。以及具体地通过调节THz谐振腔3内的第一PZT(压电陶瓷)13来改变THz谐振腔3的腔长，在调节谐振腔长的同时通过THz功率计4观察并记录THz输出功率，找到THz激光的输出峰，并通过实时调节THz谐振腔3的腔长，使THz激光保持在输出峰值处。可见对比文件2给出了环形压电陶瓷相应的结构、具体设置方式和具体实现方式，因此对比文件2公开了环形压电陶瓷精确控制激光器腔长的完整解决方案。
（b）在技术手段和技术效果方面，对比文件1中的输入输出耦合镜与真空波导管之间并非复审请求人认定的“直接固定在真空波导管内”，在对比文件1中图4-5所示的结构中，输入输出耦合镜的镜片盒与真空波导管之间通过焊接波纹管连接，该焊接波纹管比模压波纹管形变量更大，弹性更好（对比文件1第53页倒数第4行），而输入输出耦合镜的镜片盒分别通过电控平移台和激光固定支架刚性固定在金属光桥上，也就是说，对比文件1实质上也是输入输出耦合镜刚性固定在光桥上，使输入输出耦合镜与光桥的位置保持不变，可见在对比文件1中当真空波导管在外力作用下产生形变时，安装在光桥两端的输入耦合反射镜、输出耦合反射镜的相对位置也不会发生变化。因此，对比文件1中真空波导管形变同样不会带来谐振腔长变化。
2.权利要求2和3对微调装置的具体结构和数量、光桥的数量、弹簧锁紧装置的数量等进一步限定，在光学领域中使用螺栓和弹簧构成锁紧装置实现光学元件的位置或倾斜调节是公知的技术手段（如可调镜片架），而且由于光学领域中的光路调节属于精密调节范畴，因此调节螺栓上的螺纹间距很小，这属于细螺纹副调节，通常情况下三个以上的锁紧装置就能够实现平移和倾斜的调整，这也是本领域中常用的技术手段，本申请中，通过弹簧锁紧装置改变输入镜座或输出镜座与固定端座多个相对位置，实现输入耦合反射镜或输出耦合镜的平移或倾斜调节，这是光路中对腔镜的常见调节应用，因此本领域技术人员能够将现有技术中螺栓和弹簧构成的锁紧装置用于本申请中的腔镜调节，也能够使用三个以上数量的细牙螺纹副和锁紧装置以获得需要的多维度调节。对于光桥，在对比文件1公开了使用光桥固定泵浦光导入腔和太赫兹谐振腔的前提下，本领域技术人员能够根据装置的尺寸和系统的刚性要求等需求选择适合数量的光桥以提供足够的刚性固定，该选择是基于本领域知识做出的常规选择。
因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求2和3不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3.权利要求4对腔体和腔镜的冷却结构进一步限定，本领域中，通过设置水冷套或循环水路对激光腔体和腔镜是公知的技术，本领域技术人员在考量激光器的热量产生的前提下，能够根据散热量的需求选择适合的方式进行散热以保证激光器的稳定运行，上述方式自然包括在腔体上设置水冷套以及在腔镜座上设置水路对腔镜散热。
因此，在其引用的权利要求1不具备创造性时，权利要求4不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
4.权利要求5和6对输入耦合反射镜和输出耦合镜的结构、材料等进一步限定，对比文件1公开了输出耦合镜可以采用石英晶体（参见4.2.2节），对比文件2公开了输入耦合反射镜为中间开孔的镀金铜镜，输出耦合镜为镀膜的石英晶体（参见说明书0049段），对比文件1中公开了输出耦合镜通过压盖和垫圈压紧的固定方式，对于本领域技术人员而言，压盖的结构和垫圈的材料不限于对比文件1中的公开，权利要求6中锁紧环材料和过渡压片的材料属于本领域常规选择。
因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求5和6不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
5.权利要求7对固定端座和真空波导管的固定方式进一步限定，其中的O型密封圈和螺钉固定都属于常规的固定方式。在其引用的权利要求1不具备创造性时，权利要求7也不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
6.权利要求8对真空波导管和光桥的材料进一步限定，对比文件1中在4.1.1节和4.1.2节分别公开了真空石英玻璃管和真空不锈钢管作为真空波导管的实施例，作为固定载体的光桥使用刚性较强的殷钢属于常规选择。在其引用的权利要求1不具备创造性时，权利要求8也不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
综上所述，本申请权利要求1-8不符合专利法第22条第3款的规定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年08月14日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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