发明创造名称：太阳能电池的制造方法
外观设计名称：
决定号：191532
决定日：2019-09-30
委内编号：1F283871
优先权日：
申请（专利）号：201580075408.8
申请日：2015-03-09
复审请求人：东芝三菱电机产业系统株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：张健
合议组组长：张念国
参审员：张月
国际分类号：H01L31/0216,H01L31/068,H01L31/18
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果权利要求所要求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，该区别技术特征不是本领域的公知常识，其它现有技术也没有给出将上述区别技术特征应用到该作为最接近现有技术的对比文件以解决相应技术问题的技术启示，并且该区别技术特征的引入使得要求保护的技术方案能够产生有益的技术效果，则认为要求保护的技术方案具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201580075408.8，名称为“太阳能电池的制造方法”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为东芝三菱电机产业系统株式会社。本申请的申请日为2015年03月09日，公开日为2017年11月17日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2019年03月05日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-8不具备专利法第22条第3款规定的创造性。其中，权利要求1要求保护一种太阳能电池的制造方法，其相对于对比文件1（WO2015/004767A1，公开日为2015年01月15日）的区别在于：光照射处理步骤，其在烧成处理步骤之后，以及相应的光条件。对比文件2（CN102933496A，公开日为2013年02月13日）公开了一种使用带有金属氧化物膜的基板的太阳能电池器件的制造方法，对比文件2给出了对氧化铝的金属氧化物膜与基板的界面照射给定的光的光照射处理的步骤的启示，而对于其他特征属于公知常识，且属于合乎逻辑地分析推理和有限的试验可以得到。因此，在对比文件1的基础上结合对比文件2和本领域公知常识可以得到权利要求1所请求保护的技术方案，权利要求1不具备创造性。权利要求2-8直接或间接引用权利要求1，权利要求2、3的附加技术特征被对比文件1公开，权利要求4-8的附加技术特征或被对比文件2公开，或属于本领域的公知常识，因此，权利要求2-8不具备创造性。
驳回决定所依据的文本为2017年08月03日提交的说明书第1-88段、说明书附图图1-5、说明书摘要、摘要附图；2019年02月15日提交的权利要求第1-8项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种太阳能电池的制造方法，具备：
(a)制作具有一个主面以及另一个主面的硅基板的步骤；
(b)将包含金属元素的溶液雾化的步骤；
(c)通过在非真空下将所述雾化后的所述溶液对所述硅基板的一个主面进行喷雾，从而将由金属氧化膜构成的钝化膜成膜在所述硅基板的一个主面上的步骤；
(d)使用形成了所述钝化膜的所述硅基板来制作太阳能电池构造的步骤；以及
(e)进行对所述钝化膜与所述硅基板的界面照射给定的光的光照射处理，使所述太阳能电池构造的寿命提高的步骤，
所述步骤(d)包括：
(d-1)在所述硅基板的一个主面侧以及另一个主面侧形成一方电极以及另一方电极的步骤，所述步骤(d-1)包括以给定的烧成温度进行烧成的烧成处理，
所述步骤(e)在所述步骤(d)之后执行，
所述步骤(e)中的所述给定的光包含：光子能量为1.1eV以上的光、具有AM1.5的模拟太阳光、以及具有365nm的波长的紫外光之中的任一种光。
2. 根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述金属元素是铝，
所述金属氧化膜是氧化铝。
3. 根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述硅基板是构成材料的晶体硅具有P型的导电性的硅基板。
4. 根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述步骤(e)中的所述给定的光包含光子能量为1.1eV以上的光。
5. 根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述步骤(e)中的所述给定的光包含具有AM1.5的模拟太阳光。
6. 根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述步骤(e)中的所述给定的光包含具有365nm的波长的紫外光。
7. 根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述步骤(e)中的所述紫外光的照射时间为1秒以上。
8. 根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述步骤(d-1)中的所述给定的烧成温度为500℃以上。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年05月23日向国家知识产权局提出了复审请求，未提交修改文件。复审请求人认为：对比文件2所要解决的技术问题在于，“如何提供具有高致密性且膜强度优异的金属氧化物膜”；而本申请所要解决的技术问题在于，“如何得到提高了寿命的膜质良好的钝化膜以提高太阳能电池构造的寿命”；对比文件2公开了在露点温度为-10℃以下的含氧气氛下，一边进行加热，一边实施能量线照射，该实施能量线照射的作用仅在于“通过将能量线照射与单纯的加热处理并用的加热处理，可以大幅降低在上述露点温度-10℃以下的含氧气氛下的加热处理的加热温度”；对比文件2没有给出加热处理后，实施光照处理的启示，关于使用寿命与加热处理后进行光照射处理前后的试验得知，“高温加热后的有效寿命值虽有所下降，但通过之后进行光照处理，有效寿命值得到惊人的大幅提高”这一意想不到的有益技术效果；在对比文件2并未记载或教导本申请这样的“光子能量为1.1eV以上的光、具有AM1.5的模拟太阳光、以及具有365nm的波长的紫外光之中的任一种光”。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年05月31日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。原审查部门在前置审查意见书中认为：对比文件2中公开的（参见说明书第[0063]-[0185]段、附图2）“进行对可以为氧化铝的金属氧化物膜（相当于本申请的钝化膜）与基板的界面照射给定的光如紫外光的光照射处理的步骤，其可以提高该可以为氧化铝的金属氧化物膜的性能，如可以提高其高致密性、高强度，以得到更优质更优良的金属氧化物膜”，其作用与本申请是一样的，都是为了提高膜质，提高可以为氧化铝的金属氧化物膜即钝化膜的性能，根据实际情况需要容易想到如同本申请一样同样是采用光照处理，则容易想到亦可以使其寿命如本申请一样进行提高进而以便提高相应太阳能电池的寿命；权利要求1中所限定的关于太阳能电池的电极形成步骤以及对电极的烧成处理，这都属本领域的常用技术手段，属公知常识，再者，对于太阳能电池的电极形成时机是可以根据实际情况需要而设置的，如钝化膜光照处理之前或之后，或钝化膜的光照处理是在电极烧成处理之前或之后，都是可以根据实际情况需要而设定的；根据实际情况需要而使给定的光包含具有AM1.5的模拟太阳光，且根据实际情况需要容易想到使给定的光包含合适的光子能量、使紫外光具有合适波长，这属本领域的常规技术手段，并不需要付出创造性劳动，而对于该光子能量和该波长最终确定分别为1.1eV以上和365nm，本领域技术人员根据实际情况需要可以通过有限次试验得到。因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
在复审程序中，复审请求人没有对申请文件进行修改。因此，本复审审查决定所依据的文本为：2017年08月03日提交的说明书第1-88段、说明书附图图1-5、说明书摘要、摘要附图；2019年02月15日提交的权利要求第1-8项。
关于创造性
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果权利要求要求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，该区别技术特征不是本领域的公知常识，其它现有技术也没有给出将上述区别技术特征应用到该作为最接近现有技术的对比文件以解决相应技术问题的技术启示，并且该区别技术特征的引入使得要求保护的技术方案能够产生有益的技术效果，则认为要求保护的技术方案具备创造性。
本复审请求审查决定所引用的对比文件与驳回决定所引用的对比文件相同，即
对比文件1：WO2015/004767A1，公开日为2015年01月15日；
对比文件2：CN102933496A，公开日为2013年02月13日。
其中，对比文件1作为最接近的现有技术。
权利要求1要求保护一种太阳能电池的制造方法，对比文件1公开了一种太阳能电池的制造方法（参见说明书第[0021]-[0038]段、附图1-3），其中包括：1.准备具有p型的导电型的硅基板(4)的工序；2.在硅基板的主面形成钝化膜(5)的工序；3.利用形成有钝化膜的硅基板来制作太阳能电池的工序。步骤2包括：将含有铝元素的溶液雾化的工序，以及通过在大气中向硅基板的主面雾状喷出雾化后的溶液，从而形成氧化铝膜即钝化膜的工序。
可见，该权利要求1与对比文件1的区别在于：步骤(e)进行对所述钝化膜与所述硅基板的界面照射给定的光的光照射处理，使所述太阳能电池构造的寿命提高的步骤，所述步骤(d)包括：(d-1)在所述硅基板的一个主面侧以及另一个主面侧形成一方电极以及另一方电极的步骤，所述步骤(d-1)包括以给定的烧成温度进行烧成的烧成处理，所述步骤(e)在所述步骤(d)之后执行，所述步骤(e)中的所述给定的光包含：光子能量为1.1eV以上的光、具有AM1.5的模拟太阳光、以及具有365nm的波长的紫外光之中的任一种光。基于上述区别技术特征，该权利要求1实际要解决的技术问题是如何降低制造成本，提高膜质寿命。
对比文件2公开了一种金属氧化物膜的制造方法及金属氧化物膜、使用该金属氧化物膜的元件、带有金属氧化物膜的基板以及使用该基板的器件，其中包括将含有有机金属化合物作为主成分的金属氧化物膜形成用涂布液涂布到基板上以形成涂布膜的涂布工序、将上述涂布膜干燥以形成干燥涂布膜的干燥工序、将上述干燥涂布膜无机化而形成以属于金属氧化物的无机成分作为主成分的无机膜的加热处理工序。其中，加热处理工序是对上述干燥工序中形成的以有机金属化合物为主成分的上述干燥涂布膜进行加热处理，所述加热处理是在露点温度-10℃以下的含氧气氛中升温到至少能引起上述有机金属化合物成分发生无机化的温度以上，通过采用热分解或者燃烧、或者热分解加燃烧来除去上述干燥涂布膜中所含的有机成分以形成致密地填充有金属氧化物为主成分的金属氧化物微粒的金属氧化物微粒层的工序。同时，还可包括当在上述露点温度-10℃以下的含氧气氛中实施加热处理之际，进行能量线照射的步骤。其中，如果是将下述的能量线照射与上述单纯的加热处理并用的加热处理（标记为“加热并照射能量线”），则可以大幅度降低在上述露点温度-10℃以下的含氧气氛中的加热处理的加热温度（可将加热温度降低至100～200℃）。可见，对比文件2公开的是在热处理过程中，并照射能量线的技术方案，没有给出光照射处理是在形成电极，并进行烧成处理后进行的技术启示。
因此，对比文件1和对比文件2都没有公开上述区别技术特征，没有给出光照射处理是在形成电极并进行烧成处理后进行的技术启示。并且，上述处理步骤也不是本领域技术人员的公知常识。此外，在形成金属氧化物膜后，再形成电极，并进行烧成处理后，进行光照射处理，可以带来高温加热后的有效寿命值虽有所下降，但通过之后进行光照处理，有效寿命值得到提高的有益技术效果。因此，权利要求1相对于对比文件1和对比文件2以及公知常识的结合具有突出的实质性特点和显著的进步，因而权利要求1具有专利法第22条第3款规定的创造性。
从属权利要求2-8均直接或间接引用权利要求1，由于权利要求1相对于对比文件1和对比文件2以及公知常识的结合具有创造性，因此权利要求2-8相对于对比文件1和对比文件2以及公知常识的结合也具有突出的实质性特点和显著的进步，具有专利法第22条第3款规定的创造性。
关于驳回决定和前置审查意见
对于原审查部门的驳回决定和前置审查意见，合议组认为：对比文件2明确公开了将能量线照射与单纯的加热处理并用的加热处理（标记为“加热并照射能量线”），则可以大幅度降低在露点温度-10℃以下的含氧气氛中的加热处理的加热温度（可将加热温度降低至100～200℃）。可见，基于对比文件2的描述，其没有公开将单独的“照射能量线”应用在形成金属氧化物膜步骤后启示，也没有给出，在形成金属氧化物膜后，进一步形成电极，并进行烧成处理后，再进行光照射处理的启示。对比文件2给出的启示是在形成金属氧化物膜后，可以进行加热并照射能量线处理的技术启示。因此，基于对比文件1和对比文件2公开的内容，本领域技术人员不能够意识到在形成金属氧化物膜后，进一步形成电极，并进行烧成处理后，再进行光照射处理，可以带来高温加热后的有效寿命值虽有所下降，但通过之后进行光照处理，有效寿命值得到提高。因此，本领域技术人员没有动机将对比文件2与对比文件1结合。
至于本申请是否存在其他不符合专利法及其实施细则的缺陷，留待原审查部门做进一步审查。
基于上述事实和理由，本案合议组依法作出如下审查决定。
三、决定
撤销国家知识产权局于2019年03月05日对本申请作出的驳回决定。由国家知识产权局原审查部门以下述文本为基础对本申请继续进行审查：2017年08月03日提交的说明书第1-88段、说明书附图图1-5、说明书摘要、摘要附图；2019年02月15日提交的权利要求第1-8项。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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