发明创造名称：III族氮化物晶体
外观设计名称：
决定号：190906
决定日：2019-09-25
委内编号：1F232852
优先权日：2009-06-29
申请（专利）号：201410411963.0
申请日：2010-06-03
复审请求人：住友电气工业株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：杨永康
合议组组长：鄢来艳
参审员：沈琏
国际分类号：C30B29/38，C23C16/34，C30B25/20，H01L33/32
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点：当优先权成立时，优先权期内公布的对比文件不能作为评价申请创造性的现有技术。在没有充分证据证明发明的技术方案不具备创造性时，应当认可申请的创造性。核实优先权时，应当把在先申请作为一个整体进行分析，只要在先申请清楚记载了在后申请权利要求所述的技术方案，应当认定该在先申请与在后申请涉及相同的主题。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410411963.0，发明名称为“III族氮化物晶体”的发明专利申请。申请人为住友电气工业株式会社。本申请的申请日为2010年06月03日，优先权日为2009年06月29日，公开日为2014年12月31日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门审查员于2017年07月04日发出驳回决定，驳回了本发明专利申请，其理由是：权利要求1-3不具备专利法第22条第3款的创造性 。驳回决定所依据的文本为2016年6月2日提交的权利要求1-3项，2014年8月20日提交的说明书第1-54页，说明书附图第1-5页，说明书摘要和摘要附图。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种具有主面的III族氮化物晶体，所述主面具有选自{20-21}、{20-2-1}、{22-41}和{22-4-1}中的面取向，所述III族氮化物晶体的特征还在于满足下列条件中的至少一种：
1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，和
6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度。
2. 如权利要求1所述的III族氮化物晶体，其中所述主面具有至少10cm2的面积。
3. 如权利要求1所述的III族氮化物晶体，其中所述主面具有至少40cm2的面积。”
驳回决定认为：
1.本申请优先权文件JP特愿2009-204979中记载的“氮化物晶体衬底还满足于下列条件中的至少一种：1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度，6×1016cm-3以上且1×1018cm-3以下的氢原子浓度，以及1×1016cm-3以上且1×1018cm-3以下的碳原子浓度”。然而，并没有记载“氮化物晶体衬底还满足于下列条件中的至少一种：1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度”的技术方案，此外，优先权文件JP特愿2009-154020中也没有相应记载，因此，本申请优先权不成立。因此，本申请的申请日为2010年6月3日。
2.权利要求1要求保护一种具有主面的III族氮化物晶体，对比文件1（US2009/0236694A1，公开日2009年09月24日）分别公开了主面为{20-21}、{20-2-1}、{22-41}、{22-4-1}的III族氮化物晶体，对比文件1还公开了主要不纯物为O和Si。权利要求1相对于对比文件1的区别在于晶体中满足1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度的至少一种（参见对比文件1说明书实施例10-13）。然而，对比文件1还公开了晶体的制备方法，对比文件1的制备方法中衬底的尺寸，衬底的布置方法，粗糙度、晶面取向倾斜角度、晶体生长气氛、衬底温度都相同，虽然晶体生长温度和生长时间稍有不同，但对于晶体的性质，缺陷密度等并没有明显影响。从本申请和对比文件1表1可见，二者位错数并没有明显差异，本申请中杂质浓度并没有带来预料不到的技术效果。因此，权利要求1不具备突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款规定的创造性。
3.权利要求2、3分别引用权利要求1，对其所引用的权利要求做了进一步限定，从对比文件1附图10-11可以看出，对比文件1与本申请晶片切割方式相同，每片晶片的长度和宽度相近，铺展方式也相同，本领域技术人员容易想到根据需要选择合适的主面面积，且权利要求2、3中的面积选择并没有给本申请带来预料不到的技术效果。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，权利要求2、3也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2017年09月20日向国家知识产权局提出了复审请求，未提交修改文本。复审请求人认为：本申请优先权文件和本申请说明书第14页第2段记载了“将III族氮化物晶体的氧原子浓度，硅原子浓度，氢原子浓度和碳原子浓度中的至少一种杂质浓度设定为上述预定浓度，能够降低（0001）面的面缺陷密度” 。由此可见，权利要求1记载的氧浓度、硅浓度是并列的可选择要素，可以得到同样的效果。即氧浓度和硅浓度之间具有相类似的性质，可相互替换。优先权文件记载的方案为马库什权利要求，包括了本申请权利要求1的技术方案，因此优先权成立，对比文件1不能作为现有技术评价本申请的创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2017年09月28日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：如果一项申请在一个权利要求中限定多个并列可选择要素，则构成“马库什”权利要求，然而，本申请权利要求1中的两个元素以及母案中记载的四个元素并不是并列可选择要素，而是排列组合的关系，因此，并不能构成马库什权利要求，此外，仅有两种元素排列组合的技术方案并没有记载在原申请文件中，因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
本决定针对的文本为分案申请提交日2014年08月20日提交的说明书第1-54页，说明书附图第1-5页，说明书摘要和摘要附图；和2016年06月02日提交的权利要求1-3项。
关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
当优先权成立时，优先权期内公开的对比文件不能作为评价申请创造性的现有技术。在没有充分证据证明发明的技术方案不具备创造性时，应当认可申请的创造性。核实优先权时，应当把在先申请作为一个整体进行分析，只要在先申请清楚记载了在后申请权利要求所述的技术方案，应当认定该在先申请与在后申请涉及相同的主题。
就本案而言，争议焦点在于优先权是否成立，以及对比文件1是否能够用作现有技术来评价权利要求1-3的创造性。
具体来说，权利要求1请求保护“一种具有主面的III族氮化物晶体，所述主面具有选自{20-21}、{20-2-1}、{22-41}和{22-4-1}中的面取向，所述III族氮化物晶体的特征还在于满足下列条件中的至少一种：
1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，和
6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度。”
可见，权利要求1实际包含氧原子、硅原子、或氧原子和硅原子同时满足浓度要求的三种并列方案。
本申请优先权文件JP特愿2009-204979中记载了“一种具有主面的III族氮化物晶体，所述主面具有选自{20-21}、{20-2-1}、{22-41}和{22-4-1}中的晶体几何等价面取向，其中所述III族氮化物晶体具有下列杂质原子浓度中的至少一种杂质原子浓度：1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度，6×1016cm-3以上且1×1018cm-3以下的氢原子浓度，以及1×1016cm-3以上且1×1018cm-3以下的碳原子浓度”（参见权利要求9）。该优先权文件说明书还指出：“参考表8，当GaN晶体的杂质原子浓度即氧原子浓度，硅原子浓度，氢原子浓度和碳原子浓度中的两种在上述预定范围内时（实施例42~47），即使在90μm/小时的晶体生长速率下，仍可大大减少在具有主面的GaN晶体衬底上生长的GaN晶体的（0001）面中的面缺陷密度”（参见说明书第0162段，表8）。
在优先权文件的权利要求中，至少氧、硅、氢、碳单个原子满足浓度要求的情形被清楚地记载，其中包括了本申请权利要求1中的氧原子和硅原子浓度分别满足要求的情形。尽管该权利要求中没有明确记载同时满足“1×1016cm-3以上且4×1019cm-3以下的氧原子浓度，6×1014cm-3以上且5×1018cm-3以下的硅原子浓度”的技术方案，但在优先权文本说明书指出：“参考表8，当GaN晶体的杂质原子浓度即氧原子浓度，硅原子浓度，氢原子浓度和碳原子浓度中的两种在上述预定范围内时（实施例42~47），即使在90μm/小时的晶体生长速率下，仍可大大减少在具有主面的GaN晶体衬底上生长的GaN晶体的（0001）面中的面缺陷密度”（参见说明书第0162段，表8）。所述“预定范围”即应指其权利要求对应的与本申请相同的范围，且表8对应的实施例42即是氧、硅两种原子浓度满足要求的情形。此外，该说明书表1也可清楚看出主要杂质原子浓度中O、Si原子浓度在该“预定范围”之内变化，而H、C原子浓度在该“预定范围”之外不变。这些记载足以表明本申请优先权文本清楚记载了O、Si原子同时满足符合本申请权利要求1浓度要求的情形，也就是说，本申请权利要求1的三种并列技术方案在其优先权文本中都有清楚记载或相应描述。此外，结合该优先权文本说明书第0075段可知，本申请权利要求2，3的方案也被清楚记载，因此，本申请权利要求1-3优先权成立。
当优先权成立时，优先权期内公布的对比文件1不能作为评价本申请创造性的现有技术。
3、对驳回决定和前置意见的回应
对于驳回决定和前置意见（具体内容参见案由部分），合议组认为：
首先，判断在后申请权利要求所述方案是否清楚记载在在先申请文件中，应当把在先申请作为一个整体进行分析，所谓清楚记载，并不要求在叙述方式上完全一致，只要阐明了在后申请权利要求所述的技术方案即可。本案尽管优先权文本没有与本申请权利要求完全相同的文字表述，但说明书清楚描述了与该表述对应的三种并列技术方案，已满足“权利要求技术方案在优先权文本被清楚记载”的要求。
其次，本申请权利要求在表述上是否构成马库什权利要求或是否属于并列选择要素与是否享受优先权没有必然联系，只需考虑本申请要求保护的权利要求被在先申请是否清楚记载。
综上所述，本申请优先权文件实质上已经公开了在后申请请求保护的技术方案，所要求的优先权成立。当优先权成立时，优先权期内公开的对比文件不能作为评价申请创造性的现有技术。在没有充分证据证明发明的技术方案不具备创造性时，应当认可申请的创造性。
基于上述事实和理由，合议组做出如下复审请求审查决定。
三、决定
撤销国家知识产权局于2017年07月04日对本申请作出的驳回决定。由国家知识产权局原审查部门在本复审请求审查决定所依据的文本为基础对本发明专利申请继续进行审查。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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