发明创造名称：半导体元件测试系统及其影像处理加速方法
外观设计名称：
决定号：190888
决定日：2019-09-24
委内编号：1F259663
优先权日：
申请（专利）号：201410047693.X
申请日：2014-02-11
复审请求人：京元电子股份有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：丁丽君
合议组组长：王志远
参审员：宋洁
国际分类号：G01N21/88,G01R31/26
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求所要求保护的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，该区别技术特征的部分被另一篇对比文件所公开，且本领域技术人员有动机将其应用于最接近的现有技术中，其余区别技术特征为本领域的公知常识，则该权利要求不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请人为“京元电子股份有限公司”、申请号为201410047693.X、名称为“半导体元件测试系统及其影像处理加速方法”的发明专利申请（下称本申请），本申请的申请日为2014年02月11日，公开日为2015年08月12日。
经实质审查，国家知识产权局专利实质审查部门以本申请权利要求1-13不具备专利法第22条第3款规定的创造性为由，于2018年06月07日驳回了本申请。驳回决定所针对的审查文本为：申请日2014年02月11日提交的说明书第1-90段、说明书附图1-7、说明书摘要以及摘要附图；2018年03月06日提交的权利要求第1-13项。驳回决定中引用了如下三篇对比文件，并提供了三篇公知常识性证据：
对比文件1：TW 201222694A1，公开日为：2012年06月01日；
对比文件3：CN 1758424A，公开日为：2006年04月12日；
对比文件4：CN 102378037A，公开日为：2012年03月14日。
证据1：云计算基础与实用技术，黎连业 等，北京：清华大学出版社，第20-22页，2013年01月；
证据2：高性能微处理器电路设计，袁小龙 等 编译，北京：机械工业出版社，第355页，2010年05月；
证据3：数据转换器，程军 等 译，西安：西安交通大学出版社，第355-356页，2013年07月。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板，以撷取至少一个待测半导体元件的影像信号；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口，该测试机台包含一个影像处理模块；
至少二个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台。
2. 根据权利要求1所述的半导体元件测试系统，其特征在于其中该至少一个待测半导体元件的影像信号是为移动产业处理器接口信号。
3. 根据权利要求1所述的半导体元件测试系统，其特征在于其中所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利。
4. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个探针接口板，以撷取至少一个待测半导体元件的一个影像信号，该探针接口板包含一个影像处理模块；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口；
至少二个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台。
5. 根据权利要求4所述的半导体元件测试系统，其特征在于其中该至少一个待测半导体元件的影像信号是为移动产业处理器接口信号。
6. 根据权利要求4所述的半导体元件测试系统，其特征在于其中所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利。
7. 一种影像处理加速方法，其特征在于其包含下列步骤：
利用一个半导体元件测试接口撷取至少一个待测半导体元件的影像信号，该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个测试载板，或该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个探针接口板；
通过一个测试机台接收该至少一个待测半导体元件的影像信号；
经由一个影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，该影像处理模块为可程序化门阵列模块并执行一个平行处理程序，使该影像处理模块复制该译码的影像信号；
由该影像处理模块同步传送该译码的影像信号到至少二个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑分担平均分担对同一个影像信号的影像分析运算，并分别产生分析结果，或设定所述多个影像处理电脑，使各个该影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，所述多个影像处理电脑则根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算，并分别产生分析结果；以及
通过一个主电脑接收所述多个影像处理电脑的分析结果，并据此传送指令至该测试机台。
8. 根据权利要求7所述的半导体元件测试系统，其特征在于其更包含下列步骤：
设定所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑其中的一个处理欲执行亮度分析的影像讯信号，而另一个影像处理电脑处理欲执行均值分析的影像信号。
9. 根据权利要求7所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使其中一个该影像处理电脑对同一个影像信号前50％的影像数据执行影像分析运算，而另一个该影像处理电脑对同一个影像信号后50％的影像数据执行影像分析运算。
10. 根据权利要求7所述的影像处理加速方法，其特征在于其中所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利。
11. 根据权利要求7所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使其中一个该影像处理电脑对同一个影像参数执行50％的影像分析运算，而另一个该影像处理电脑对同一个影像参数执行另外50％的影像分析运算。
12. 根据权利要求7所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
将一个影像信号分隔为多个区块，并分别计算各个区块的均值。
13. 根据权利要求12所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使所述多个影像处理电脑平均分担对所述多个区块的均值的运算。”
驳回决定认为：1）独立权利要求1与对比文件1的区别技术特征在于：（1）一个半导体元件测试接口，包含一个测试载板；一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于该测试机台；采用的测试工作伺服器是主电脑，其链接于该测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至该测试机台；（2）该测试机台包含一个影像处理模块；该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算。其中，上述区别（1）为本领域的常用技术手段；上述区别（2）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，部分为本领域的常用技术手段，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求1相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。2）独立权利要求4与对比文件1的区别技术特征在于：（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针接口板；一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于该测试机台；采用的测试工作伺服器是主电脑，其链接于该测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至该测试机台；（2）该探针接口板包含一个影像处理模块；该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算。其中，上述区别（1）为本领域的常用技术手段；上述区别（2）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，部分为本领域的常用技术手段，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求4相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。3）独立权利要求7与对比文件1的区别技术特征在于：（1）利用一个半导体元件测试接口撷取影像信号，该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个测试载板，或该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个探针接口板；通过一个测试机台接收该至少一个待测半导体元件的影像信号；主电脑根据分析结果传送指令至该测试机台；（2）经由一个影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，该影像处理模块为可程序化门阵列模块并执行一个平行处理程序，使该影像处理模块复制该译码的影像信号；由该影像处理模块同步传送该译码的影像信号到至少二个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑分担平均分担对同一个影像信号的影像分析运算，并分别产生分析结果，或设定所述多个影像处理电脑，使各个该影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，所述多个影像处理电脑则根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算，并分别产生分析结果。其中，上述区别（1）为本领域的常用技术手段；上述区别（2）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，部分为本领域的常用技术手段，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求7相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。4）从属权利要求2-3、5-6、8-13的附加技术特征或者被对比文件3、4公开，或者为本领域的常用技术手段。因此，权利要求2-3、5-6、8-13也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年08月30日向国家知识产权局提出了复审请求，并提交了权利要求书的全文修改替换页，修改包括：将从属权利要求2的附加特征增加至独立权利要求1、4以及7中，删除权利要求2、5，并对权利要求的序号进行了适应性修改。同时陈述了本申请具备创造性的理由。修改后的独立权利要求1、3、5如下：
“1. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板，以撷取至少一个待测半导体元件的影像信号；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口，该测试机台包含一个影像处理模块；
至少二个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台。
3. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个探针接口板，以撷取至少一个待测半导体元件的一个影像信号，该探针接口板包含一个影像处理模块；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口；
至少二个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台。
5. 一种影像处理加速方法，其特征在于其包含下列步骤：
利用一个半导体元件测试接口撷取至少一个待测半导体元件的影像信号，该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个测试载板，或该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个探针接口板；
通过一个测试机台接收该至少一个待测半导体元件的影像信号，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；
经由一个影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，该影像处理模块为可程序化门阵列模块并执行一个平行处理程序，使该影像处理模块复制该译码的影像信号；
由该影像处理模块同步传送该译码的影像信号到至少二个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑分担平均分担对同一个影像信号的影像分析运算，并分别产生分析结果，或设定所述多个影像处理电脑，使各个该影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，所述多个影像处理电脑则根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算，并分别产生分析结果；以及
通过一个主电脑接收所述多个影像处理电脑的分析结果，并据此传送指令至该测试机台。”
复审请求人在意见陈述中认为：（1）在本申请之前，并未有在测试机台或探针接口板被以可程序化门阵列模块处理晶圆的影像信号的技术，可程序化门阵列模块所执行的平行处理程序，可根据测试的需要做灵活的变化；对比文件3并未揭露以可程序化门阵列模块处理移动产业处理器接口信号。（2）本申请可使多个图像处理计算机平均分担同一个译码的影像分析运算，或根据设定值进行不同的影像分析运算；对比文件3没有揭露给影像信号设定值，没有揭露根据设定值以执行对应该设定值的影像分析运算。（3）对比文件3每次只能检测晶圆盘上的一个芯片，其并不包含处理多个影像信号，而本申请可处理多个影像信号。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年09月12日依法受理了该复审请求，并将其转送至原专利实质审查部门进行前置审查。
原专利实质审查部门在前置审查意见书中坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。合议组于2019年06月27日向复审请求人发出复审通知书，指出： 1）独立权利要求1与对比文件1的区别在于：（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板；一个测试机台，链接于半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于测试机台；采用主电脑取代测试工作伺服器，并链接于测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；（2）测试机台包含一个影像处理模块，影像处理模块为可程序化门阵列模块，影像处理模块将影像信号译码；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；（3） 影像处理模块译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算。其中，区别（1）和（2）均为本领域常用技术手段，区别（3）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求1相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。2）独立权利要求3与对比文件1的区别在于：（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个探针接口板；一个测试机台，链接于半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于测试机台；采用主电脑取代测试工作伺服器，并链接于测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；（2）探针接口板包含一个影像处理模块，影像处理模块为可程序化门阵列模块，影像处理模块将影像信号译码；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；（3）影像处理模块译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算。其中，区别（1）和（2）均为本领域常用技术手段，区别（3）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求3相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。3）独立权利要求5与对比文件1的区别在于：（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板或一个探针塔及一个探针接口板；通过一个测试机台接收影像信号；采用的影像处理装置是电脑；采用主电脑取代测试工作伺服器，主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；（2）影像处理模块将影像信号译码；影像处理模块为可程序化门阵列模块；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；（3） 影像处理模块对影像信号译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送到至少两个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或设定多个影像处理电脑，使各个影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，多个影像处理电脑根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算。其中，区别（1）和（2）均为本领域常用技术手段，区别（3）部分被对比文件3公开，且给出了将其应用于对比文件1的启示，余下部分是本领域技术人员在对比文件3公开内容的基础上结合本领域公知常识容易想到的。因此，权利要求5相对于对比文件1、3和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。4）从属权利要求2、4、6-11的附加技术特征或者被对比文件3、4公开，或者为本领域的常用技术手段，因此，权利要求2、4、6-11也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。5）针对复审请求人的意见陈述进行了答复。
复审请求人于2019年07月24日提交了意见陈述书，同时提交了权利要求书和说明书的全文修改替换页。修改方式为：将权利要求1、3、5中的“至少二个影像处理电脑”修改为“多个影像处理电脑”，将权利要求2、4、8的附加技术特征分别增加至权利要求1、3、5中，删除权利要求2、4、8，并对权利要求的序号进行了适应性修改；将说明书第[0009]、[0016]、[0023]段中的“至少二个影像处理电脑”修改为“多个影像处理电脑”。复审请求人认为：（1）对比文件1揭露与本申请不同的讯号处理架构，其中图像处理卡是对所接收的反应讯号进行处理以产生一影像讯号，然后传送至特定图像处理装置，且图像处理装置是通过一USB接口连接至图像处理卡，图像处理卡用以接收来自其对应的继电器电路板的影像讯号并进行处理，因此，对比文件1的多个图像处理卡只能处理来自对应继电器电路板传来的特定影像讯号；而本申请通过单一的图像处理模块进行全部的影像信号处理后，再通过图像处理模块复制待测半导体组件的影像信号以进行影像分析运算，并分别产生分析结果，图像处理模块为可程序化门阵列模块，可程序化门阵列模块内含内存，其执行的平行处理程序可根据测试的需要做灵活的变化，通过可编辑的连接，把内部的逻辑块连接起来，在本申请之前，并未有在测试机台或探针接口板内以可程序化门阵列模块处理晶圆的影像信号的技术，此并非是本领域的常规选择。（2）对比文件3是通过单一计算机内的CPU的多线程分别各自处理特定的影像信号，其通过“芯片检测系统”检测芯片外观的墨点、边缘缺损、内部缺损等，该芯片检测系统利用多个不同算法，重新设计编写成函数，这些不同的优化算法程序设计具有相对的独立性，因此可通过多线程并发/并行处理的方法来提高效率；而本申请的检测方式为：IC经电性测试后，IC产生的影像信号送到图像处理模块进行处理，再复制到多台图像处理计算机，以平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算，本申请不需要另外编写优化算法的程序设计并将多个独立性的编程送到对应的线程进行图像处理。（3）对比文件4将同一张拍摄的照片分成多个子影像区块，例如四个子影像区块，则此四个影像区块的“影像信号”是各不相同的。本申请使多个图像处理计算机平均分担同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该影像信号进行不同的影像分析运算。因此，修改后的权利要求1-8具备创造性。修改后的权利要求书如下：
“1. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板，以撷取至少一个待测半导体元件的影像信号；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口，该测试机台包含一个影像处理模块；
多个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台，所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利。
2. 一种半导体元件测试系统，其特征在于其包含：
一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个探针接口板，以撷取至少一个待测半导体元件的一个影像信号，该探针接口板包含一个影像处理模块；
一个测试机台，链接于该半导体元件测试接口；
多个影像处理电脑，链接于该测试机台；以及
一个主电脑，链接于该测试机台及所述多个影像处理电脑；
其中，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号，该影像处理模块为可程序化门阵列模块，该影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，接着执行一个平行处理程序，该影像处理模块复制该译码的影像信号，并同步传送至所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算，并分别产生分析结果，该主电脑接收分析结果，并根据分析结果传送指令至该测试机台，所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利。
3. 一种影像处理加速方法，其特征在于其包含下列步骤：
利用一个半导体元件测试接口撷取至少一个待测半导体元件的影像信号，该半导体元件测试接口包含一个探针塔及一个测试载板，或该半导体 元件测试接口包含一个探针塔及一个探针接口板；
通过一个测试机台接收该至少一个待测半导体元件的影像信号，该至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；
经由一个影像处理模块接受该影像信号并将该影像信号进行译码，该影像处理模块为可程序化门阵列模块并执行一个平行处理程序，使该影像处理模块复制该译码的影像信号；
由该影像处理模块同步传送该译码的影像信号到多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑分担平均分担对同一个影像信号的影像分析运算，并分别产生分析结果，或设定所述多个影像处理电脑，使各个该影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，所述多个影像处理电脑则根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算，并分别产生分析结果，所述的多个影像处理电脑的影像分析运算包含亮度、均值及锐利；以及
通过一个主电脑接收所述多个影像处理电脑的分析结果，并据此传送指令至该测试机台。
4. 根据权利要求3所述的半导体元件测试系统，其特征在于其更包含下列步骤：
设定所述多个影像处理电脑，使所述多个影像处理电脑其中的一个处理欲执行亮度分析的影像讯信号，而另一个影像处理电脑处理欲执行均值分析的影像信号。
5. 根据权利要求3所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使其中一个该影像处理电脑对同一个影像信号前50％的影像数据执行影像分析运算，而另一个该影像处理电脑对同一个影像信号后50％的影像数据执行影像分析运算。
6. 根据权利要求3所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使其中一个该影像处理电脑对同一个影像参数执行50％的影像分析运算，而另一个该影像处理电脑对同一个影像参数执行另外50％的影像分析运算。
7. 根据权利要求3所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
将一个影像信号分隔为多个区块，并分别计算各个区块的均值。
8. 根据权利要求7所述的影像处理加速方法，其特征在于其更包含下列步骤：
使所述多个影像处理电脑平均分担对所述多个区块的均值的运算。”
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
（一）审查文本的认定
复审请求人于2019年07月24日答复复审通知书时提交了权利要求书和说明书的全文修改替换页，经审查，该修改符合专利法第33条的规定。本复审请求审查决定所依据的文本为：申请日2014年02月11日提交的说明书附图图1-7、说明书摘要以及摘要附图；2019年07月24日提交的说明书第1-90段、权利要求第1-8项。
（二）关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求所要求保护的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别技术特征，该区别技术特征的部分被另一篇对比文件所公开，且本领域技术人员有动机将其应用于最接近的现有技术中，其他区别技术特征为本领域的公知常识，则该权利要求不具备创造性。
具体到本案：
1.权利要求1请求保护一种半导体元件测试系统，对比文件1公开了一种晶圆检测系统（相当于一种半导体元件测试系统），具体公开了如下技术特征（参见说明书第7页第3-5、8-11、15-19行，第8页第6-9、18-21行，图2）：该系统包括探针卡202（公开了包含一个探针塔），探针卡202自晶圆9接收一反应讯号，该反应讯号可为影像撷取讯号；影像处理卡206（相当于影像处理模块）用于接收来自其所相应的继电器电路板207的影像讯号并进行处理以产生一影像讯号；多个影像处理装置205（对应于多个影像处理电脑）连接影像处理卡206；测试工作伺服器204经影像处理装置205连接影像处理卡206；影像处理装置205接收来自影像处理卡206的影像讯号并进行处理，然后将测试结果传送至测试工作伺服器204，测试工作伺服器204对测试结果的资料进行处理。
权利要求1请求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容，区别技术特征为：
（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板；一个测试机台，链接于半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于测试机台；采用主电脑取代测试工作伺服器，并链接于测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；
（2）测试机台包含一个影像处理模块，影像处理模块为可程序化门阵列模块，影像处理模块将影像信号译码；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；
（3） 影像处理模块译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算；多个影像处理电脑的影像分析运算包括亮度、均值及锐利。
基于上述区别技术特征，权利要求1相对于对比文件1实际解决的技术问题是：如何提高影像处理的效率。
对于区别技术特征（1），首先，由探针塔和测试载板组成一个半导体元件测试接口属于本领域的公知常识（参见证据2）。其次，设置链接于半导体元件测试接口的测试机台属于本领域的惯用技术手段。再次，采用电脑作为影像处理装置和接收分析结果的终端是本领域的常规选择，且将该终端链接于测试机台以传送分析结果至测试机台是本领域的常规连接方式。
对于区别技术特征（2），首先，将影像处理模块设置于测试机台上是本领域技术人员根据实际模块的布置容易想到的设置方式；其次，采用可程序化门阵列模块作为影像处理模块以及采用移动产业处理器接口属于本领域的常规选择，至于影像处理模块将影像信号译码属于影像处理模块的常规功能。
对于区别技术特征（3），对比文件3公开了一种基于图像处理的晶片检测系统，并具体公开了（参见说明书第7页，附图7）：芯片无损视觉质量检测的内容有多个方面，如墨点检测、角度检测、边缘检测、钝化检测等；无损检测的具体过程就是通过摄像头采集图像传送到PC机进行处理，这些检测的内容具有相对的独立性，因此可通过多线程并发/并行处理的方法来提高效率。上述技术特征在对比文件3中与在本申请中所起的作用相同，都是用于提高影像处理的效率。即对比文件3给出了将相应的技术特征应用到对比文件1以解决其技术问题的启示。且并发/并行处理可以用多个处理器并发执行计算属于本领域的公知常识（参见证据1）。本领域技术人员根据本领域的普通技术知识，能够得知，并行处理能有效缩短数据处理时间。在此基础上，当本领域技术人员面临如何提高待测半导体元件的影像信号的分析运算效率的问题时，能够从对比文件3中获得启示，使测试机台上设置的影像处理模块执行一个平行处理程序，实现同时采用多个影响处理电脑对同一影像信号进行处理，获得所需要的特征结果，即影像处理模块复制译码的影像信号并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或者根据实际需要获取的特征信息（如对比文件3中所检测的墨点、角度、边缘、钝化等信息（参见同上）），根据设定值对译码的影像信号进行不同的影像分析运算。对于并行处理，将工作分离成离散部分，有助于同时进行，因此，采用多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算对于本领域技术人员来说是容易想到的。此外，亮度、均值及锐利均属于本领域在半导体元件测试过程中所关注的常规参数，对这些参数进行影像分析运算是本领域的常规选择。
由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域的公知常识得到权利要求1的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
2.权利要求2请求保护一种半导体元件测试系统，对比文件1公开了一种晶圆检测系统（相当于一种半导体元件测试系统），并具体公开了（参见说明书第7页第3-5、8-11、15-19行，第8页第6-9、18-21行，附图2）：该系统包括探针卡202（公开了包含一个探针塔），探针卡202自晶圆9接收一反应讯号，该反应讯号可为影像撷取讯号；影像处理卡206（相当于影像处理模块）用于接收来自其所相应的继电器电路板207的影像讯号并进行处理以产生一影像讯号；多个影像处理装置205（对应于多个影像处理电脑）连接影像处理卡206；测试工作伺服器204经影像处理装置205连接影像处理卡206；影像处理装置205接收来自影像处理卡206的影像讯号并进行处理，然后将测试结果传送至测试工作伺服器204，测试工作伺服器204对测试结果的资料进行处理。
权利要求2请求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容，区别技术特征为：
（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个探针接口板；一个测试机台，链接于半导体元件测试接口；采用的影像处理装置是电脑，其链接于测试机台；采用主电脑取代测试工作伺服器，并链接于测试机台；主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；
（2）探针接口板包含一个影像处理模块，影像处理模块为可程序化门阵列模块，影像处理模块将影像信号译码；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；
（3）影像处理模块译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对译码的影像信号进行不同的影像分析运算；多个影像处理电脑的影像分析运算包括亮度、均值及锐利。
基于上述区别技术特征，权利要求2相对于对比文件1实际解决的技术问题是：如何提高影像处理的效率。
对于区别技术特征（1），首先，由探针塔和探针接口板组成一个半导体元件测试接口属于本领域的公知常识（参见证据3）。其次，设置链接于半导体元件测试接口的测试机台属于本领域的惯用技术手段。再次，采用电脑作为影像处理装置和接收分析结果的终端是本领域的常规选择，且将该终端链接于测试机台以传送分析结果至测试机台是本领域的常规连接方式。
对于区别技术特征（2），首先，将影像处理模块设置于探针接口板内是本领域技术人员根据实际模块的布置容易想到的设置方式；其次，采用可程序化门阵列模块作为影像处理模块以及采用移动产业处理器接口属于本领域的常规选择；至于影像处理模块将影像信号译码属于影像处理模块的常规功能。
对于区别技术特征（3），对比文件3公开了一种基于图像处理的晶片检测系统，并具体公开了（参见说明书第7页，附图7）：芯片无损视觉质量检测的内容有多个方面，如墨点检测、角度检测、边缘检测、钝化检测等；无损检测的具体过程就是通过摄像头采集图像传送到PC机进行处理，这些检测的内容具有相对的独立性，因此可通过多线程并发/并行处理的方法来提高效率。上述技术特征在对比文件3中与在本申请中所起的作用相同，都是用于提高影像处理的效率。即对比文件3给出了将相应的技术特征应用到对比文件1以解决其技术问题的启示。且并发/并行处理可以用多个处理器并发执行计算属于本领域的公知常识（参见证据1）。本领域技术人员根据本领域的普通技术知识，能够得知，并行处理能有效缩短数据处理时间。在此基础上，当本领域技术人员面临如何提高待测半导体元件的影像信号的分析运算效率的问题时，能够从对比文件3中获得启示，使测试机台上设置的影像处理模块执行一个平行处理程序，实现同时采用多个影响处理电脑对同一影像信号进行处理，获得所需要的特征结果，即影像处理模块复制译码的影像信号并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或者根据实际需要获取的特征分析信息（如对比文件3中所检测的墨点、角度、边缘、钝化等信息（参见同上）），根据设定值对译码的影像信号进行不同的影像分析运算。对于并行处理，将工作分离成离散部分，有助于同时进行，因此，采用多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算对于本领域技术人员来说是容易想到的。此外，亮度、均值及锐利均属于本领域在半导体元件测试过程中所关注的常规参数，对这些参数进行影像分析运算是本领域的常规选择。
由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域的公知常识得到权利要求2的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求2不具有突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3.权利要求3请求保护一种影像处理方法，对比文件1公开了一种影像处理方法，并具体公开了（参见说明书第7页第3-5、8-11、15-19行，第8页第6-9、18-21行，附图2）：探针卡202（相当于本申请的一个探针塔），探针卡202自晶圆9接收一反应讯号，该反应讯号可为影像撷取讯号；影像处理卡206（相当于影像处理模块）用于接收来自其所相应的继电器电路板207的影像讯号并进行处理以产生一影像讯号；多个影像处理装置205（对应于多个影像处理电脑）连接影像处理卡206；测试工作伺服器204经影像处理装置205连接影像处理卡206；影像处理装置205接收来自影像处理卡206的影像讯号并进行处理，然后将测试结果传送至测试工作伺服器204，测试工作伺服器204对测试结果的资料进行处理。
权利要求3请求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容，区别技术特征为：
（1）一个半导体元件测试接口，包含一个探针塔及一个测试载板或一个探针塔及一个探针接口板；通过一个测试机台接收影像信号；采用的影像处理装置是电脑；采用主电脑取代测试工作伺服器，主电脑根据分析结果传送指令至测试机台；
（2）影像处理模块将影像信号译码；影像处理模块为可程序化门阵列模块；至少一个待测半导体元件的影像信号是移动产业处理器接口信号；
（3） 影像处理模块对影像信号译码后接着执行一个平行处理程序，影像处理模块复制译码的影像信号，并同步传送到至少两个影像处理电脑，使多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或设定多个影像处理电脑，使各个影像处理电脑分别处理欲执行不同影像分析运算的影像信号，多个影像处理电脑根据设定值对欲执行不同影像分析运算的影像信号进行影像分析运算；多个影像处理电脑的影像分析运算包括亮度、均值及锐利。
基于上述区别技术特征，权利要求3相对于对比文件1实际解决的技术问题是：如何提高影像处理的效率。
对于区别技术特征（1），首先，由探针塔和测试载板或探针接口板组成半导体元件测试接口属于本领域的公知常识（参见证据2和证据3）。其次，根据实际需要将影像处理模块设置在测试机台内接收影像信号是常规设置方式。再次，采用电脑作为影像处理装置和接收分析结果的终端是本领域的常规选择，且将该终端的分析结果传送至测试机台是本领域的常规处理手段。
对于区别技术特征（2），首先，采用可程序化门阵列模块作为影像处理模块以及采用移动产业处理器接口属于本领域的常规选择；其次，影像处理模块将影像信号译码属于影像处理模块的常规功能。
对于区别技术特征（3），对比文件3公开了一种基于图像处理的晶片检测系统，并具体公开了（参见说明书第7页，附图7）：芯片无损视觉质量检测的内容有多个方面，如墨点检测、角度检测、边缘检测、钝化检测等；无损检测的具体过程就是通过摄像头采集图像传送到PC机进行处理，这些检测的内容具有相对的独立性，因此可通过多线程并发/并行处理的方法来提高效率。上述技术特征在对比文件3中与在本申请中所起的作用相同，都是用于提高影像处理的效率。即对比文件3给出了将相应的技术特征应用到对比文件1以解决其技术问题的启示。且并发/并行处理可以用多个处理器并发执行计算属于本领域的公知常识（参见证据1）。本领域技术人员根据本领域的普通技术知识，能够得知，并行处理能有效缩短数据处理时间。在此基础上，当本领域技术人员面临如何提高待测半导体元件的影像信号的分析运算效率的问题时，能够从对比文件3中获得启示，使测试机台上设置的影像处理模块执行一个平行处理程序，实现同时采用多个影响处理电脑对同一影像信号进行处理，获得所需要的特征结果，即影像处理模块复制译码的影像信号并同步传送至多个影像处理电脑，使多个影像处理电脑分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算，或者根据实际需要获取的特征信息（如对比文件3中检测的墨点、角度、边缘、钝化等信息），使各个影像处理电脑根据设定值对译码的影像信号执行不同的影像分析运算。对于并行处理，将工作分离成离散部分，有助于同时进行，因此，采用多个影像处理电脑平均分担对同一个译码的影像信号的影像分析运算对于本领域技术人员来说是容易想到的。此外，亮度、均值及锐利均属于本领域在半导体元件测试过程中所关注的常规参数，对这些参数进行影像分析运算是本领域的常规选择。
由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件3以及本领域的公知常识得到权利要求3的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求3不具有突出的实质性特点和显著的进步，不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
4.权利要求4为引用权利要求3的从属权利要求。由于对比文件3已经公开（参见说明书第7页，附图7）通过多线程并发/并行处理的方式实现对芯片多个方面的检测，且同时采用多个处理器对信号进行并行计算属于本领域的公知常识，在此基础上，设定多个影像处理电脑，使其中的一个处理欲执行亮度分析的影像讯信号，另一个处理欲执行均值分析的影像信号对于本领域技术人员来说是容易想到的。
权利要求5-7均为引用权利要求3的从属权利要求，权利要求8为引用权利要求7的从属权利要求。对比文件4公开了一种影像测试方法，并具体公开了（参见说明书第[0027]、[0035]、[0036]、[0038]段，附图2、3）：该影像测试方法对由主影像资料分割而成的子影像区块进行同步分析，相应的采用该影像测试方法的影像测试装置则通过多核心处理单元同步分析该分割而成的子影像区块，来达到提高影像分析效率的目的；利用多核心处理单元12使每一线程同步被执行以使每一子影像区块31~34的影像品质可同步被分析，进而同步获得每一子影像区块的影像分析结果，即利用多线程技术使得每一个子影像区块31~34的分析结果可于同一时间内一起获得，多线程技术是指利用多核心处理单元12具有能够在同一时间内执行至少一个以上的线程的能力；子影像区块的数量以及重叠区域的设定可由本领域技术普通技术人员依据实际应用需求进行任何均等的变化设计。上述技术特征在对比文件4与在本申请中所起的作用相同，都是用于提高影像处理效率。即对比文件4给出了将相应的技术特征应用到对比文件1以解决其技术问题的启示。从而，本领域技术人员有动机将一个影像信号分隔为多个区块，采用多个影像处理电脑平均分担多个区块的均值的运算，由于对比文件4还公开了（参见说明书第[0035]段）子影像区块的数量可由本领域技术普通技术人员依据实际应用需求进行任何均等的变化设计，因此，本领域技术人员容易想到将同一影像信号分成两个区块，由两个影像处理单元分别处理50%的影像数据分析运算，或由一个影像处理电脑执行前50%的影像分析运算，另一个影像处理电脑执行后50%的影像分析运算。
因此，当其所引用的权利要求不具备创造性时，从属权利要求4-8也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
（三）关于复审请求人的意见陈述
关于复审请求人在答复复审通知书时陈述的上述意见，合议组认为：
（1）首先，复审请求人所列出的本申请与对比文件1的不同之处，合议组已经将其列为了区别（参见“决定的理由”部分对权利要求1-3的评述）；其次，FPGA使用数字逻辑的方式处理数据，数据吞吐量极大，且其具有极强的并行处理能力，复审请求人所说的“可程序化门阵列模块内含内存，其执行的平行处理程序可根据测试的需要做灵活的变化，通过可编辑的连接，把内部的逻辑块连接起来”均为可程序化门阵列模块的公知属性，至于将可程序化门阵列模块设置在何处，其是本领域技术人员根据实际需要及测试模块的布置容易确定的，如设置在测试机台或探针接口板内，也即，即便在本申请之前“并未有在测试机台或探针接口板内以可程序化门阵列模块处理晶圆的影像信号”的设置方式，这种设置方式也是本领域技术人员根据实际处理的信号形式及处理方式容易想到的，并不会产生预料不到的技术效果。
（2）对比文件3（参见说明书第7页，附图7）将摄像头采集的图像传送到PC机通过多线程并发/并行处理的方法同时对该采集的图像进行处理来提高效率，其给出了通过同时对同一采集图像分别进行处理，以获取不同特征分析结果，从而提高影像信号处理效率的技术启示。而并发/并行处理可以用多个处理器并发执行计算属于本领域的公知常识（参见公知常识证据1），因此，在对比文件3的启示下，本领域技术人员有动机将“IC产生的影像信号送到图像处理模块进行处理，再复制到多台图像处理计算机”。至于是否需要“另外编写优化算法的程序设计并将多个独立性的编程送到对应的线程进行图像处理”涉及到图像具体的处理程序，其并不属于对比文件3给出的启示之列，也不构成对比文件3给出本领域技术人员采用并行方式处理影像信号的技术障碍。
（3）对比文件4（参见说明书第[0027]、[0033]-[0036]、[0038]段，附图2、3）通过影像采集装置2拍摄一测试图而获得一主影像资料3，将该主影像资料分割为多个子影像区块31~34；利用多核心处理单元12使每一线程同步被执行以使每一子影像区块31~34的影像品质可同步被分析，进而同步获得每一子影像区块的影像分析结果。本申请“使多个图像处理计算机平均分担同一个译码的影像信号的影像分析运算，或根据设定值针对该影像信号进行不同的影像分析运算”，具体可为：“可将影像信号A分隔为多个区块，并使影像处理电脑33A及33B分别计算各个区块的均值。较佳的，影像处理电脑33A可执行影像信号A前50％的影像数据的影像分析运算，而影像处理电脑33B执行影像信号A后50％的影像数据的影像分析运算”（参见说明书第7页第2段）。可见，本申请与对比文件4类似，也是将影像信号分割为多个区块，分别对各个区块进行分析运算，由于对比文件4已经给出本领域技术人员将同一影像信号分割成多个子影像区块分别进行分析运算以提高影像处理效率的技术启示，因此，将同一影像信号的影像数据的影像分析运算分割为两部分同时进行，是本领域技术人员在对比文件4公开的子影像区块分割的基础上容易想到的简单变形。
综上所述，对于复审请求人的意见合议组不予支持。
根据上述事实和理由，合议组作出如下审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年06月07日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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