发明创造名称：晶片粘贴装置
外观设计名称：
决定号：189456
决定日：2019-09-06
委内编号：1F269108
优先权日：2013-03-28
申请（专利）号：201410112854.9
申请日：2014-03-25
复审请求人：株式会社迪思科
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：张瑞雪
合议组组长：赵致民
参审员：韩颖姝
国际分类号：H01L21/31;H01L21/67;B05C11/00
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求与作为最接近现有技术的对比文件所公开的技术方案相比存在区别技术特征，而该区别技术特征的一部分被其它对比文件公开且所起作用相同，其余部分属于本领域的公知常识，在该对比文件的基础上结合其它对比文件和本领域的公知常识得到该权利要求的技术方案对于本领域技术人员而言是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410112854.9，名称为“晶片粘贴装置”的发明专利申请(下称本申请)。本申请的申请人为株式会社迪思科，申请日为2014年03月25日，优先权日为2013年03月28日，公开日为2014年10月01日。
经实质审查，国家知识产权局实质审查部门于2018年09月07日发出驳回决定，以本申请权利要求1不符合专利法第22条第3款的规定为由驳回了本申请。驳回决定所依据的文本为：2018年05月22日提交的权利要求第1项，申请日2014年03月25日提交的说明书第1-9页、说明书附图第1-3页、说明书摘要、摘要附图。 驳回决定所针对的权利要求书的内容如下：
“1. 一种晶片粘贴装置，其具备：
按压构件，其具有能够吸附保持晶片的按压面；
台部，其由透光的材质形成，所述台部与该按压面对置地配设，保持透光的片材的下表面；
移动构件，其使该按压面接近和远离该台部；
树脂供给构件，其向保持于该台部的该片材的上表面供给通过照射紫外线而硬化的液态树脂；以及
紫外线照射构件，其配设在该台部的下方，朝向该台部上方照射紫外线，
所述晶片粘贴装置利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂，使该液态树脂在晶片下表面扩展，将该液态树脂粘贴于晶片，
该按压构件的该按压面具有与晶片同等的外径，
在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通，
在所述台部的上表面中央形成有俯视呈圆形形状的凹部，所述台部利用所述凹部的台阶在拉伸片材的同时吸附片材，
在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满，在晶片和该液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，从该紫外线照射构件透过该台部向该液态树脂照射紫外线，使该液态树脂硬化，从而将该液态树脂粘贴于晶片。”
驳回决定引用如下对比文件： 对比文件1：JP 特开2012-146872A，公开日为2012年08月02日；
对比文件2：TW 200701399A，公开日为2007年01月01日；
对比文件3：JP 特开2005-249855A，公开日为2005年09月15日。
驳回决定指出：权利要求1的技术方案与对比文件1相比，其区别技术特征在于：在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通，在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满，在晶片和该液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，从该紫外线照射构件透过该台部向该液态树脂照射紫外线，使该液态树脂硬化，从而将该液态树脂粘贴于晶片。而上述区别技术特征中部分特征被对比文件2和3披露且作用相同，其余部分特征是本领域技术人员基于对比文件2和3给出的教导容易做出的常规设置。因此，权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。 申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年12月18日向国家知识产权局提出了复审请求，同时提交了权利要求书全文修改替换页，将独立权利要求1中的特征“在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展之后，从多个该喷射口喷射氮气”修改为“在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展，在该液态树脂遍布至所述晶片的外周缘之后，从多个该喷射口喷射氮气”。
复审请求人认为：（1）对比文件2是在剥离粘贴在晶片W上的紫外线硬化型的粘接剂A的保护板T时，对保护板T的粘接剂A照射紫外线而使粘接力下降时，从与晶片W的吸附保持区域SA相邻的气体排出区域GA喷射氮气N。并没有公开本申请的技术特征“在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展，在该液态树脂遍布至所述晶片的外周缘之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁”。（2）在对比文件3中，在滴下粘合剂时，或者紫外线照射工序中导入氮气，但是只要粘合剂在上下基板之间充分扩展即可，不需要粘合剂遍布至基板的外周缘。而且，并不是粘结剂在上下基板之间充分扩展时立即从喷射口喷射氮气，而是将该状态保持2分钟，之后照射紫外线而对粘结剂进行硬化，同时导入氮气。可见，对比文件1-3都没有公开或者启示，使液态树脂在晶片下表面扩展，并遍布至晶片的外周缘之后从多个喷射口喷射氮气。因此，本领域技术人员不可能容易结合对比文件1-3而得到修改后的权利要求的技术方案，且效果也是无法获得的，权利要求1具备创造性。
复审请求时新修改的权利要求1的内容如下：
“1. 一种晶片粘贴装置，其具备：
按压构件，其具有能够吸附保持晶片的按压面；
台部，其由透光的材质形成，所述台部与该按压面对置地配设，保持透光的片材的下表面；
移动构件，其使该按压面接近和远离该台部；
树脂供给构件，其向保持于该台部的该片材的上表面供给通过照射紫外线而硬化的液态树脂；以及
紫外线照射构件，其配设在该台部的下方，朝向该台部上方照射紫外线，
所述晶片粘贴装置利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂，使该液态树脂在晶片下表面扩展，将该液态树脂粘贴于晶片，
该按压构件的该按压面具有与晶片同等的外径，
在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通，
在所述台部的上表面中央形成有俯视呈圆形形状的凹部，所述台部利用所述凹部的台阶在拉伸片材的同时吸附片材，
在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展，在该液态树脂遍布至所述晶片的外周缘之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满，在晶片和该液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，从该紫外线照射构件透过该台部向该液态树脂照射紫外线，使该液态树脂硬化，从而将该液态树脂粘贴于晶片。”
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年12月24日依法受理了该复审请求，并将其转送至实质审查部门进行前置审查。 实质审查部门在前置审查意见书中认为复审请求人的意见陈述不具有说服力，修改后的权利要求1仍然不具备创造性，因而坚持驳回决定。 随后，国家知识产权局依法成立合议组对本案进行审理。 合议组于2019年04月08日向复审请求人发出复审通知书，该复审通知书中指出：权利要求1相对于对比文件1-3以及本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见陈述，合议组认为：首先，相对于对比文件1而言，本申请是液态树脂遍布至晶片的外周缘之后，喷射氮气，在晶片和液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，照射紫外线实现树脂硬化；而对比文件1是液态树脂遍布至晶片的外周缘之后，照射紫外线实现树脂硬化。可见，对比文件1已经公开了液态树脂在晶片下表面扩展，以及使液态树脂遍布至晶片的外周缘。其次，本申请记载了利用氮气覆盖树脂的整个外周面，以使得液态树脂用紫外线硬化时不受到氧气的影响而迅速硬化。而对比文件2也公开了在紫光线硬化树脂粘合剂时需要氮气喷射以提高硬化速度的原理上是和本申请一致的，给出了通过向晶片的周围喷射氮气，利用氮气排除晶圆外周边的氧气，进而提高粘合剂的紫外线硬化速度的教导，因此，本领域技术人员基于对比文件2给出的教导有动机对对比文件1进行改进。再者，基于对比文件3说明书第[0005]段和第[0029]段的记载，得到粘结剂遍布至基板外周缘之后喷射氮气和照射紫外线是本领域技术人员容易想到的。况且，液态树脂被按压后、在晶片下表面扩展，并使液态树脂遍布至晶片的外周缘这个特征已经被对比文件1公开了。至于喷射氮气的时机，对比文件3给出了两种思路：一、注入液态树脂型粘合剂，按压，使粘合剂充分扩展，紫外光照射的同时喷射氮气以在基板的周围形成氮气空间，使粘合剂在氮气气氛中硬化；二、在注入树脂型粘合剂的步骤中就引入氮气，由橡胶密封体限定的空间瞬间被氮气置换，基板的周围空间处于氮气气氛中，随后进行紫外光照射，硬化结束时停止氮气注入，即对比文件3教导了可以调整喷射氮气的时机。基于对比文件3给出的上述教导，和液态树脂本身具有的流动性、保持晶片和片材之间的良好的全表面粘合性，以避免周边由于存在间隙而导致的起伏和翘曲、以及在照射之前喷射氮气可尽早排除晶片外周边的空气对紫外线硬化处理的考虑，本领域技术人员容易想到在液态树脂遍布至晶片的外周缘之后，喷射氮气使得晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满，随后再进行紫外光照射，上述步骤的选择取是本领域技术人员根据实际效果容易想到的常规操作手段，不需要付出创造性劳动。因此，复审请求人的上述意见陈述不具有说服力，权利要求1仍然不具备创造性。
针对该复审通知书，复审请求人于2019年05月21日提交了意见陈述书，同时提交了权利要求书的全文修改替换页，在独立权利要求1中增加特征“所述环状的槽部围绕与所述晶片同等的外径的按压面，当从所述氮气供给源向多个喷射口供给氮气时，沿着所述环状的槽部喷射氮气”。
复审请求人认为：在对比文件1-3中都没有公开或者启示修改后的权利要求1中的技术特征“在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通”、“所述环状的槽部围绕与所述晶片同等的外径的按压面，当从所述氮气供给源向多个喷射口供给氮气时，沿着所述环状的槽部喷射氮气”、“借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满”。而且，也没有证据表明这些技术特征是本领域的公知常识。另外，根据修改后的权利要求1，环状的槽部围绕与晶片同等的外径的按压面，由于环状的槽部与晶片之间的距离非常小，故，当沿着环状的槽部喷射氮气时，能够形成直径比晶片大的氮气壁，且晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满。但对比文件3是需要用硅橡胶密封体47隔开基板周围的空间，从而更可靠地形成氮气气氛。因而，本申请的权利要求1并不需要使用如对比文件3的硅橡胶密封体这样的其他部件来保持氮气，就能够使与空气接触的晶片和液态树脂的外周在短时间内成为氮气环境，上述效果是对比文件1至3所无法预料的。因此，本申请的权利要求具备创造性。
复审请求人于2019年05月21日提交的权利要求1内容如下：
“1. 一种晶片粘贴装置，其具备：
按压构件，其具有能够吸附保持晶片的按压面；
台部，其由透光的材质形成，所述台部与该按压面对置地配设，保持透光的片材的下表面；
移动构件，其使该按压面接近和远离该台部；
树脂供给构件，其向保持于该台部的该片材的上表面供给通过照射紫外线而硬化的液态树脂；以及
紫外线照射构件，其配设在该台部的下方，朝向该台部上方照射紫外线，
所述晶片粘贴装置利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂，使该液态树脂在晶片下表面扩展，将该液态树脂粘贴于晶片，
该按压构件的该按压面具有与晶片同等的外径，
在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通，
在所述台部的上表面中央形成有俯视呈圆形形状的凹部，所述台部利用所述凹部的台阶在拉伸片材的同时吸附片材，
所述环状的槽部围绕与所述晶片同等的外径的按压面，当从所述氮气供给源向多个喷射口供给氮气时，沿着所述环状的槽部喷射氮气，
在利用保持于该按压面的晶片来按压隔着该片材供给到该台部的上表面的该液态树脂、使该液态树脂在晶片下表面扩展，在该液态树脂遍布至所述晶片的外周缘之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满，在晶片和该液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，从该紫外线照射构件透过该台部向该液态树脂照射紫外线，使该液态树脂硬化，从而将该液态树脂粘贴于晶片。”
在上述程序的基础上，本案合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由 1．审查文本的认定
复审请求人在2019年05月21日答复复审通知书时提交了权利要求书的全文修改替换页，共包括权利要求第1项。经审查，上述修改符合专利法实施细则第61条第1款及专利法第33条的规定。本复审请求审查决定所依据的审查文本为：2019年05月21日提交的权利要求第1项，申请日2014年03月25日提交的说明书第1-9页、说明书附图第1-3页、说明书摘要、摘要附图。 2．关于专利法第22条第3款 专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求与作为最接近现有技术的对比文件所公开的技术方案相比存在区别技术特征，而该区别技术特征的一部分被其它对比文件公开且所起作用相同，其余部分属于本领域的公知常识，在该对比文件的基础上结合其它对比文件和本领域的公知常识得到该权利要求的技术方案对于本领域技术人员而言是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
本复审请求审查决定在评价权利要求创造性时所引用的对比文件与驳回决定以及复审通知书中引用的对比文件相同，即： 对比文件1：JP 特开2012-146872A，公开日为2012年08月02日；
对比文件2：TW 200701399A，公开日为2007年01月01日；
对比文件3：JP 特开2005-249855A，公开日为2005年09月15日。
权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
权利要求1请求保护一种晶片粘贴装置。对比文件1公开了一种树脂涂布装置，并具体公开了以下技术特征（参见说明书第[0056]-[0073]段、附图1-6）：树脂涂布装置包括有晶片粘贴装置600，该晶片粘贴装置600包括：按压部604，其具有能够吸附保持晶片W的按压面634；设置在基台601上的用于吸附保持片材S的台部602，台部602利用石英玻璃等透光的材质形成为圆板状，所述台部与该按压面对置地配设，保持片材S的下表面，由于紫外线照射构件636透过台部602和片材S照射树脂层，故片材S必然为透光材质；移动构件606，其使该按压面接近和远离该台部；树脂供给构件603，其向保持于该台部的该片材的上表面供给通过照射紫外线而硬化的液态树脂L；紫外线照射构件636，其配设在该台部602的下方，朝向该台部上方照射紫外线；所述晶片粘贴装置利用保持于该按压面的晶片W来按压隔着该片材S供给到该台部602的上表面的该液态树脂L，使该液态树脂L在晶片W的下表面扩展，且液态树脂L遍布晶片W的外周缘，将该液态树脂L粘贴于晶片W上，该按压部604的按压面具有与晶片W同等的外径；在台部602的上表面中央形成有俯视呈圆形形状的凹部651，台部602利用凹部651的台阶在拉伸片材S的同时吸附片材S；参见附图6a-6d，从树脂供给构件603向片材S的中央部分供给液态树脂L，利用保持于该按压面的晶片W来按压液态树脂L，使液态树脂L在晶片W下表面扩展，按压部604根据压力的变化来调节移动构件606的驱动量，由此使液态树脂L遍布至晶片W的外周缘；最后通过紫外线照射构件636透过台部602和片材S向液态树脂L照射紫外线，使该液态树脂L硬化，从而将该液态树脂粘L贴于晶片W上。
可见，权利要求1请求保护的技术方案与对比文件1相比，区别技术特征为：在所述按压面的周围，以围绕按压面的外周的方式形成有环状的槽部，在所述槽部的底面沿周向隔开间隔而设置有多个喷射口，多个喷射口配设成通过在所述按压构件的内外设置的流路而与氮气供给源连通，当从所述氮气供给源向多个喷射口供给氮气时，沿着所述环状的槽部喷射氮气；在液态树脂遍布至所述晶片的外周缘之后，从多个该喷射口喷射氮气，形成直径比所述晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，所述晶片和所述液态树脂的周围瞬间被氮气充满，在晶片和该液态树脂的整个外周被氮气覆盖的状态下，从该紫外线照射构件透过该台部向该液态树脂照射紫外线。基于该区别技术特征，权利要求1实际解决的技术问题是如何提高液态树脂的硬化速度、减少工艺时间。
对比文件2公开了一种能量线照射装置及能量线照射方法，并具体公开了以下技术特征（参见说明书第7页第1段-第10页第2段、附图1-4）：该能量线照射装置具有：吸附保持半导体晶圆W的支持构件3，以及将能量线照射在粘结薄片的能量线照射手段UV灯2，上述支持构件3是具有邻接于上述晶圆W的吸附保持区域的气体吐出部6和气体吸收部5；其中，用于吸附保持晶圆W的支持构件3的支持底板4上穿设有氮气供给孔7，在氮气供给孔7的一端连接有惰性气体的供给软管9，通过泵供给氮气（即具有一个氮气供给源）；如附图2a所示，在底板4上沿周向隔开间隔而设置有多个气体供给孔7（即喷射口）；借助于从吐出部6所喷出的氮气，晶圆W和粘结剂A的外周围被氮气充满吸附，再经晶片间的间隙G强制朝向晶圆W的内部，由所喷出的氮气N排除阻碍晶圆W外周及内部的粘结剂A硬化的活性氧气，实现充分硬化粘结剂A。可见，对比文件2给出了通过向晶片的周围喷射氮气，利用氮气排除晶圆外周边的氧气，进而提高粘合剂的紫外线硬化速度的教导。本领域技术人员基于对比文件2给出的上述教导容易想到在对比文件1的对液态树脂进行紫外线照射硬化的过程中也喷射氮气使液态树脂的外周缘被氮气充满，形成氮气壁以实现树脂的迅速硬化。另外，对比文件3公开了一种偏振分光器的粘合方法和粘合装置，并具体公开了以下技术特征（参见说明书第[0021]-[0075]段、附图1-7）：该粘合装置30包括上基板10、下基板20、通过硬化型粘合剂22固定在下基板20上的有机屈折膜23、掩膜支架33、紫外线照射装置31、将上基板10吸附固定在掩膜支架33上的抽空端34、氮气导入口36、氮气喷射口37、下基板侧的基板卡盘38、移动装置39；其中，多个氮气喷射口37以围绕掩膜支架33的外周的方式间隔设置；具体的粘合方法包括：在上基板10和下基板20之间注入树脂型粘合剂45（也即公开了该树脂型粘合剂为液态树脂），通过垂直移动机构升起基板卡盘38与掩膜支架33相互按压树脂型粘合剂45（其中，掩膜支架33起到按压的作用），保持该状态2min，使树脂型粘合剂45在基板表面充分扩展；接下来，通过紫外线照射装置31在树脂型粘合剂45的整个表面进行紫外光照射，以使粘合剂硬化，在紫外光照射的过程中将惰性气体如氮气通过掩膜支架33上的气体喷射口37喷出，以在基板的周围形成氮气空间，使粘合剂在氮气气氛中硬化；如附图5所示，从多个喷射口37喷射出的氮气，形成了直径比基板大的氮气壁；借助于外周多个喷射口37喷射氮气，基板和该树脂型粘合剂45的整个外周必然被氮气覆盖，经过紫外线照射装置31透过掩膜支架33向该树脂型粘合剂45照射紫外线，使该树脂型粘合剂45硬化，从而粘贴于基板间；另外，在本发明中，期望的状态是，在注入树脂型粘合剂45的步骤中就通过喷射口37引入氮气，由橡胶密封体47限定的空间瞬间被氮气置换，基板的周围空间处于氮气气氛中，随后进行紫外光照射，硬化结束时停止氮气注入。可见，对比文件3给出了在按压树脂粘合剂的按压面的外周间隔设置多个喷射氮气的喷射口的教导，还给出了在液态树脂型粘合剂充分扩展后进行氮气喷射的同时照射紫外光或者是在注入液态树脂型粘合剂中就喷射氮气以形成氮气壁，随后再紫外光照射的教导。因而，本领域技术人员基于上述教导，容易想到在对比文件1公开的按压面的外周也间隔设置多个喷射氮气的喷射口，而在按压面的外周形成环状槽部以容纳多个喷射口以使得氮气沿着环状槽部喷射，是本领域的常规设置。而多个喷射口通过在按压构件的内外设置的流路与氮气供给源连通，这也是本领域的常规设置。另外，基于对比文件3给出的氮气的两种可选择的喷射时机的教导，和对液态树脂的流动性、晶片与片材之间的全面粘合性以及空气对硬化的阻碍性的考虑，选择在液态树脂遍布至晶片的外周缘之后，喷射氮气使得晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满，随后再进行紫外光照射，是本领域技术人员容易想到的常规操作手段，且效果可以预期。
由此可知，在对比文件1的基础上结合对比文件2、3以及本领域的常规技术手段以得出该权利要求请求保护的技术方案对本领域的技术人员来说是显而易见的，该权利要求请求保护的技术方案不具有突出的实质性特点，因而不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
3．关于复审请求人相关意见的答复：
对于复审请求人答复复审通知书时提出的意见，合议组认为：
首先，本申请说明书第[0054]段和说明书附图3B记载了“间距C指的是按压构件25和片材S之间的间隙，且在这种情况下，在按压构件25和片材S之间只留下微小的间隙，因此，借助于氮气的喷射，晶片W和液态树脂5周围瞬间被氮气充满”，可见，并非复审请求人在意见陈述中的陈述的“环状的槽部252与晶片W之间的距离非常小（相当于本申请的图3B中的微小的间隔C）”以及“由于环状的槽部与晶片之间的距离非常小，因而，当沿着环状的槽部喷射氮气时，能够形成直径比晶片大的氮气壁，晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满”。其次，对比文件3给出的借助于密封体47隔开基板周围的空间，能够更可靠的瞬间形成氮气气氛是其期望的一个具体的实施方式，但并非必要的实施手段。况且，在本申请的权利要求1中仅记载了“从多个喷射口喷射氮气，形成直径比晶片大的氮气壁，借助于氮气的喷射，晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满”，并未明确记载不能使用其他部件来实现上述效果，也即不能排除使用如对比文件3的密封件这样类似的部件。另外，本领域技术人员基于具体的晶片粘贴结构，对按压部件进行合理设置，如将喷射口设置在围绕按压面外周的环状槽部内，通过增加氮气的流量或是减小按压部件和片材之间的距离以实现氮气的瞬间充满，是本领域技术人员的惯用技术手段，且效果可以预期。最后，对比文件3公开了两个实施方式，一、注入液态树脂型粘合剂，按压，保持该状态2min，使粘合剂45在基板表面充分扩展；接下来，通过光照射装置31在树脂型粘合剂的整个表面进行紫外光照射，同时喷射氮气以在基板的周围形成氮气空间，使粘合剂在氮气气氛中硬化；二、在注入树脂型粘合剂的步骤中就通过喷射口37引入氮气，由橡胶密封体47限定的空间瞬间被氮气置换，基板的周围空间处于氮气气氛中，随后进行紫外光照射，硬化结束时停止氮气注入。可见，对比文件3教导了可以调整喷射氮气的时机。基于对比文件3给出的上述教导，和液态树脂本身具有的流动性、保持晶片和片材之间的良好的全表面粘合性，以避免周边由于存在间隙而导致的起伏和翘曲、以及在照射之前喷射氮气可尽早排除晶片外周边的空气对紫外线硬化处理的考虑，本领域技术人员容易想到在液态树脂遍布至晶片的外周缘之后，喷射氮气使得晶片和液态树脂的周围瞬间被氮气充满，随后再进行紫外光照射，上述步骤的选择取是本领域技术人员根据实际效果容易想到的常规操作手段，不需要付出创造性劳动，且效果可以预期。
因此，复审请求人的意见陈述不具有说服力，合议组不予支持。 基于上述事实和理由，合议组依法作出如下决定。
三、决定 维持国家知识产权局于2018年09月07日对本申请作出的驳回决定。 如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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