图像传感器及其制作方法-复审决定


发明创造名称:图像传感器及其制作方法
外观设计名称:
决定号:193921
决定日:2019-09-04
委内编号:1F273506
优先权日:2014-07-09
申请(专利)号:201410386143.0
申请日:2014-08-07
复审请求人:采钰科技股份有限公司
无效请求人:
授权公告日:
审定公告日:
专利权人:
主审员:赵世欣
合议组组长:武建刚
参审员:李静
国际分类号:H01L27/146
外观设计分类号:
法律依据:专利法第22条第3款
决定要点
:如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近的现有技术的对比文件相比存在区别技术特征,该区别技术特征被另一对比文件公开,且其在另一对比文件中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同,则该项权利要求请求保护的技术方案不具有突出的实质性特点,不具备创造性。
全文:
本复审请求涉及申请号为201410386143.0,名称为“图像传感器及其制作方法”的发明专利申请(下称本申请)。本申请的申请人为采钰科技股份有限公司,申请日为2014年08月07日,优先权日为2014年07月09日,公开日为2016年01月27日。
经实质审查,国家知识产权局实质审查部门于2018年12月12日发出驳回决定,驳回了本申请,其理由是:权利要求1-9不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为:2018年09月14日提交的权利要求第1-9项、说明书第1-7页;申请日2014年08月07日提交的说明书附图第1-13页、说明书摘要、摘要附图。驳回决定所针对的权利要求书内容如下:
“1. 一种图像传感器,包括:
一感测层;
一滤光单元,设置于上述感测层;以及
一微透镜,设置于上述滤光单元,上述滤光单元包含光聚合物;
其中上述滤光单元具有一渐变折射率,且上述渐变折射率为同种材料经照射一光束至上述滤光单元时上述光聚合物产生一化学反应形成,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变。
2. 如权利要求1所述的图像传感器,其中上述渐变折射率为大约为1.4至1.9之间,上述渐变折射率具有一最大值以及一最小值,且上述最大值和上述最小值之间的差值为大约为0.07至0.5之间范围内。
3. 如权利要求1所述的图像传感器,其中上述渐变折射率为对称的,且由上述滤光单元的一中央垂直轴至上述滤光单元的一侧壁逐渐递减。
4. 如权利要求1所述的图像传感器,其中上述滤光单元具有设置于上述感测层的一底面以及相反于上述底面的一顶面,上述顶面连接于上述微透镜,且上述渐变折射率由上述底面至上述顶面逐渐减小。
5. 如权利要求1所述的图像传感器,其中上述感测层具有嵌入在所述感测层内部的多个感测单元。
6. 如权利要求5所述的图像传感器,其中上述滤光单元为彩色滤光单元。
7. 一种图像传感器的制作方法,包括:
于一感测层上形成同种材料的一滤光单元,上述滤光单元包含光聚合物;
照射一光束至上述滤光单元时上述光聚合物产生一化学反应,以于上述滤光单元具有一渐变折射率,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变;以及
于上述滤光单元上形成一微透镜。
8. 如权利要求7所述的图像传感器的制作方法,包括照射上述光束经过一光掩模至上述滤光单元,其中上述光掩模具有对应于上述滤光单元的一中央区域的一孔洞,上述渐变折射率为对称的,且由上述滤光单元的一中央垂直轴至上述滤光单元的一侧壁逐渐递减。
9. 如权利要求7所述的图像传感器的制作方法,包括均匀地照射上述光束至上述滤光单元,上述渐变折射率由上述滤光单元的一底面至上述滤光单元的一顶面逐渐减小,且上述底面位于上述感测层上。”
驳回决定中引用了如下对比文件:
对比文件1:KR1020090061199A,公开日为2009年06月16日;
对比文件3:CN101107545A,公开日为2008年01月16日。
驳回决定指出:1)权利要求1与对比文件1公开的内容相比,区别技术特征为:滤光单元包含光聚合物,且渐变折射率为同种材料经照射一光束至上述滤光单元时上述光聚合物产生一化学反应形成,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变。上述区别技术特征被对比文件3公开了,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同。因此,权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。2)权利要求7与对比文件1公开的内容相比,区别技术特征为:滤光单元包含光聚合物,且照射一光束至滤光单元时上述光聚合物产生一化学反应,以于滤光单元具有一渐变折射率,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变。上述区别技术特征被对比文件3公开了,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同。因此,权利要求7不具备专利法第22条第3款规定的创造性。3)从属权利要求2-6、8-9或者被对比文件1、对比文件3公开,或者是本领域的惯用技术手段。因此,权利要求2-6、8-9不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人(下称复审请求人)对上述驳回决定不服,于2019年02月14日向国家知识产权局提出了复审请求,同时提交了权利要求书的全文修改替换页,共包括权利要求第1-9项,其中在驳回决定所针对的权利要求书的基础上,在从属权利要求3中增加技术特征“所述滤光单元包括第一区域、第二区域和第三区域,所述第一区域为沿所述中央垂直轴延伸的圆柱形,所述第二区域环绕所述第一区域,所述第三区域环绕所述第二区域”。修改后权利要求3为:
“3. 如权利要求1所述的图像传感器,其中上述渐变折射率为对称的,且由上述滤光单元的一中央垂直轴至上述滤光单元的一侧壁逐渐递减;所述滤光单元包括第一区域、第二区域和第三区域,所述第一区域为沿所述中央垂直轴延伸的圆柱形,所述第二区域环绕所述第一区域,所述第三区域环绕所述第二区域。”
复审请求人认为:对于权利要求1:本申请中的滤光单元是同种材料不同折射率。对比文件1中滤色器50的多层结构50a、50b、50c为子绝缘层40上涂覆具有不同折射率的彩色光致形成,是不同种的材料。对比文件3中的折射率的变化是与UV照射时的氧浓度分布有关,对于折射率变化的直接因素还是氧浓度。且,对比文件3需要控制UV照射量、氧浓度等多个因素形成不同折射率的分布结构。而本申请是用光束照射光聚合物发生化学反应而利用同种材料形成渐变折射率,即仅需要控制光照强度即能够使同种材料形成具有渐变折射率的滤光单元。(2)对于权利要求3:对比文件3仅公开折射率的分布形式为中心最大,随着距离其中心位置的距离而沿大致抛物线状降低,没有公开权利要求3中的第一、第二、第三区域。
经形式审查合格,国家知识产权局于2019年02月22日依法受理了该复审请求,并将其转送至实质审查部门进行前置审查。
实质审查部门在前置审查意见书中认为:对比文件1中滤光单元50由折射率不同的滤光感光性树脂材料构成,其具有一渐变折射率。对比文件3公开了滤光单元包含的聚硅烷结构911相当于本申请的光聚合物,经过UV曝光或热处理所引起的硬化时的氧化反应,而使高折射率的聚硅烷结构911变为低折射率的硅氧烷结构912。上述硅氧烷结构912中所取入的氧浓度分布随UV照射量的强度不同而变化。即对比文件3公开了通过对同种材料照射使得聚合物发生化学反应,获得与光照强度相应的渐变的折射率。基于上述理由,坚持驳回决定。
随后,国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年05月28日向复审请求人发出复审通知书,指出:1)独立权利要求1与对比文件1公开的内容相比,区别技术特征为:渐变折射率为同种材料经照射一光束至滤光单元时光聚合物产生一化学反应形成,渐变折射率根据光束的强度发生改变。上述区别技术特征被对比文件3公开了,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同。因此,独立权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。独立权利要求7与对比文件1公开的内容相比,区别技术特征为:照射一光束至上述滤光单元时光聚合物产生一化学反应,以于上述滤光单元具有一渐变折射率,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变。上述区别技术特征被对比文件3公开了,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同。因此,独立权利要求7不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-6、8-9或者被对比文件1、对比文件3公开了,或者是本领域的惯用技术手段。因此,权利要求2-6、8-9不具备专利法第22条第3款规定的创造性。2)针对复审请求人的意见陈述,合议组认为:首先,对比文件1公开了一种具有滤光单元的图像传感器,且所述滤光单元具有渐变的折射率。即对比文件1公开了具有渐变折射率的滤光单元的结构。其次,对于形成渐变折射率的制作方法。对比文件3公开了一种折射率分布透镜及其制作方法。通过对硬化前的聚硅烷进行UV照射能使其发生氧化反应,形成硅氧烷。聚硅烷的折射率高,硅氧烷的折射率低。从而形成由聚硅烷和硅氧烷构成具有渐变折射率的透镜。即对比文件3公开了对同种聚合物材料,聚硅烷,经照射一光束时上述聚合物产生化学反应形成渐变的折射率。此外,对比文件3还公开了“在两垂直方向的折射率分布透镜的情况下,只要氧化反应量具有与期望的折射率分布相反的氧化物分布即可,因此只要控制紫外线照射量分布和氧化物分布的至少一方即可。”(参见说明书第25页第5段)以及“但是,通过将从透明基板960侧的UV照射量照射得多于空气侧而使UV照射量形成为非对称,可抑制空气侧的氧化反应,因此能够形成膜厚的中心对称的折射率分布”(参见说明书第12页第4段)。可见,对比文件3公开的技术方案中,可以仅通过调整紫外线照射的强度,即能够实现对折射率的控制。也就是说,对比文件3公开了渐变折射率根据光束的强度发生变化。再次,本申请没有公开光束照射光聚合物的具体化学反应,本领域技术人员根据本领域的现有技术,并不能排除上述化学反应的过程中没有其他元素参与到上述化学反应中。最后,对于权利要求3新增的技术特征已经被对比文件3公开了。
复审请求人于2019年06月25日提交了意见陈述书,没有对申请文件进行修改。复审请求人认为:对比文件3中对硬化前的聚硅烷进行紫外照射导致聚硅烷与氧发生反应形成硅氧烷,所述反应是氧化反应。本申请中的化学反应是对单体或者小分子量进行光束照射发生的聚合反应或缩聚反应。虽然对比文件3记载了“只要控制紫外线照射量分布和氧化物分布的至少一方”,但是氧是不可缺少的,仅采用紫外线照射而不提供氧,是不能够实现充分的氧化反应,从而控制折射率的。本申请可仅通过控制光照强度、利用同种材料形成具有渐变折射率的滤光单元,即本申请无需在滤光单元中添加另外一种材料。对比文件3中的聚硅烷及添加的氧化物/过氧化物不是本申请中的光聚合物。
在上述程序的基础上,合议组认为本案事实已经清楚,可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查文本的认定
复审请求人于2019年06月25日答复复审通知书时没有对申请文件进行修改。本复审请求审查决定所针对的审查文本为:2019年02月14日提交的权利要求第1-9项;2018年09月14日提交的说明书第1-7页;申请日2014年08月07日提交的说明书附图第1-13页、说明书摘要、摘要附图。
2、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定:创造性,是指与现有技术相比,该发明具有突出的实质性特点和显著的进步,该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近的现有技术的对比文件相比存在区别技术特征,该区别技术特征被另一对比文件公开,且其在另一对比文件中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同,则该项权利要求请求保护的技术方案不具有突出的实质性特点,不具备创造性。
本复审请求审查决定中所引用的对比文件与驳回决定、复审通知书引用的对比文件相同,即:
对比文件1:KR1020090061199A,公开日为2009年06月16日;
对比文件3:CN101107545A,公开日为2008年01月16日。
2-1、权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性
独立权利要求1请求保护一种图像传感器。对比文件1公开了一种图像传感器,并具体公开了如下技术特征(参见说明书41-57段、附图2a-2c,3):所述图像传感器包括:一感测层10;一滤光单元50,设置于上述感测层10;一微透镜70,设置于上述滤光单元50,上述滤光单元由折射率不同的光刻胶50a、50b、50c构成,其具有渐变折射率。
权利要求1请求保护的技术方案与对比文件1相比,其区别在于:渐变折射率为同种材料经照射一光束至滤光单元时光聚合物产生一化学反应形成,渐变折射率根据光束的强度发生改变。基于上述区别,本申请实际解决的技术问题是:如何在同一种材料中形成渐变折射率。
对比文件3公开了一种折射率分布透镜,并具体公开了如下技术特征(参见说明书第11页第5段-第15页第1段,第24页第2段-第31页第1段、附图4-8,14-18):所述折射率分布透镜包括聚硅烷结构911和硅氧烷结构912,其中,通过对硬化前的聚硅烷系树脂910进行紫外线照射引起硬化时的氧化反应,而使高折射率的聚硅烷结构911变为低折射率的硅氧烷结构912,紫外照射量少的部分发生氧化反应少,聚硅烷含量高,折射率高,紫外照射量多的部分发生氧化反应多,硅氧烷含量高,折射率低,从而形成折射率渐变的透镜,其中只要控制紫外线照射量的分布即可得到上述折射率渐变的透镜。对比文件3公开了上述区别技术特征,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同,都是通过对光束的控制来得到渐变的折射率。在对比文件1的基础上结合对比文件3得到该权利要求请求保护的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的。因此,权利要求1不具备突出的实质性特点,不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2-2、权利要求2-6不具备专利法第22条第3款规定的创造性
从属权利要求2对权利要求1做了进一步限定。对比文件1公开了通过设置一具有渐变折射率的滤光单元,从而提高图像传感器的感光度。在此基础上,本领域技术人员可以根据需要选择适合的滤光单元的折射率的渐变范围,从而优化图像传感器的感光度,进而改进图像传感器所产生的图像信号。其效果是可以预期的,且对此并不需要付出创造性的劳动。而且所选的折射率的范围没有给该权利要求请求保护的技术方案带来预料不到的技术效果。
从属权利要求3对权利要求1做了进一步限定。其附加技术特征被对比文件3公开了(参见说明书第25页第5段,附图15):透镜部分3具有以下的折射率分布:在片状聚硅烷31的膜厚方向折射率不变,在与面平行的方向具有作为点形状的折射率的极大部分,随着距该极大部分的距离沿大致抛物线降低的大致同心圆状的折射率分布。
从属权利要求4对权利要求1做了进一步限定。其附加技术特征被对比文件1公开了(参见说明书41-47段,附图2a-2c):所述滤光单元50具有设置在感测层10的一底面以及相反于上述底面的一顶面,上述顶面连接于上述微透镜70,所述滤光单元50由从底面至顶面依次设置的第一部分50a、第二部分50b和第三部分50c,其中所述第一部分50a的折射率最大,所述第三部分50c的折射率最小。
从属权利要求5对权利要求1做了进一步限定。其附加技术特征被对比文件1公开了(参见说明书41段,附图2a-2c):上述感测层10具有嵌入在所述感测层10内部的多个感测单元20。
从属权利要求6对权利要求5作了进一步限定。其附加技术特征被对比文件1公开了(参见说明书44-48段,附图2a-2c):上述滤光单元50为彩色滤光单元。
因此,当其引用的权利要求不具备创造性时,从属权利要求2-6也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2-3、权利要求7不具备专利法第22条第3款规定的创造性
独立权利要求7请求保护一种图像传感器的制作方法。对比文件1公开了一种图像传感器的制作方法,并具体公开了如下技术特征(参见说明书41-57段、附图2a-2c,3):于感测层10上形成采用滤光感光性树脂材料的滤光单元50,上述滤光单元50由滤光感光性树脂材料构成,上述滤光单元50由折射率不同的光刻胶50a、50b、50c构成,其具有渐变折射率;于上述滤光单元50上形成一微透镜70。
权利要求7请求保护的技术方案与对比文件1相比,其区别在于:照射一光束至上述滤光单元时光聚合物产生一化学反应,以于上述滤光单元具有一渐变折射率,上述渐变折射率根据上述光束的强度发生改变。基于上述区别,本申请实际解决的技术问题是:如何在同一种材料中形成渐变折射率。
对比文件3公开了一种折射率分布透镜的制造方法,并具体公开了如下技术特征(参见说明书第11页第5段-第15页第1段,第24页第2段-第31页第1段、附图4-8,14-18):所述折射率分布透镜包括聚硅烷结构911和硅氧烷结构912,其中,通过对硬化前的聚硅烷系树脂910进行紫外线照射引起硬化时的氧化反应,而使高折射率的聚硅烷结构911变为低折射率的硅氧烷结构912,紫外照射量少的部分发生氧化反应少,聚硅烷含量高,折射率高,紫外照射量多的部分发生氧化反应多,硅氧烷含量高,折射率低,从而形成折射率渐变的透镜,其中只要控制紫外线照射量的分布即可得到上述折射率渐变的透镜。对比文件3公开了上述区别技术特征,且其在对比文件3中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同,都是通过对光束的控制来得到渐变的折射率。在对比文件1的基础上结合对比文件3得到该权利要求请求保护的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的。因此,权利要求7不具备突出的实质性特点,不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2-4、权利要求8-9不具备专利法第22条第3款规定的创造性
从属权利要求8对权利要求7做了进一步限定。其大部分附加技术特征被对比文件3公开了:在硬化前的聚硅烷34的上、下两侧分别配置紫外线透过率分布第一蔽光模11和紫外线透过率分布第二蔽光模12,所述第一、第二蔽光模11、12具有与所形成的透镜的折射率分布的变化相反的分布的紫外线透射率分布,紫外线通过第一、第二蔽光模11、12对聚硅烷34进行照射,从而形成的透镜3具有以下的折射率分布:在片状聚硅烷31的膜厚方向折射率不变,在与面平行的方向具有作为点形状的折射率的极大部分,随着距该极大部分的距离沿大致抛物线降低的大致同心圆状的折射率分布。本领域技术人员在对比文件3公开的技术方案的基础上可以根据光照与折射率变化的关系来选择适合的蔽光模的形式,来形成需要的折射率分布,属于本领域的惯用手段。
从属权利要求9对权利要求7做了进一步限定。对比文件1还公开了(参见说明书41-47段,附图2a-2c):所述滤光单元50具有设置在感测层10的一底面以及相反于上述底面的一顶面,上述顶面连接于上述微透镜70,所述滤光单元50由从底面至顶面依次设置的第一部分50a、第二部分50b和第三部分50c,其中所述第一部分50a的折射率最大,所述第三部分50c的折射率最小。本领域技术人员容易想到,采用对比文件3公开的形成渐变折射率的方式来形成对比文件1公开的滤光单元结构。
因此,当其引用的权利要求不具备创造性时,从属权利要求8-9也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、关于复审请求人的意见陈述
对于复审请求人答复复审通知书时的意见陈述,合议组认为:首先,本申请请求保护的是“同种材料经照射一光束至上述滤光单元时上述光聚合物产生一化学反应”。也就是说,本申请的所述化学反应是对光聚合物进行光照产生的反应,而不是通过光束照射产生光聚合物的光聚合反应。具体是何种化学反应,所述化学反应的反应机理、类型、参与反应的具体反应元素和具体的生成物在本申请的申请文件中均没有做出解释和说明。也就是说本申请并没有记载所述化学反应是光聚合反应,也没有记载所述化学反应不能是氧化反应或者类硬化反应。并且,对于本领域技术人员而言,对光聚合物进行光照能够发生多种化学反应,从本申请说明书记载的“当光束L1照射于滤光单元21时,光聚合物产生一化学反应”,并不能直接地、毫无疑义地确定,权利要求1限定的化学反应就是光聚合反应。其次,本申请请求保护的技术方案并没有限定所述化学反应中仅有光聚合物这一种物质。从本申请公开的内容,也不能直接地、毫无疑义地确定,所述化学反应中参与反应的元素仅为光聚合物。再次,对比文件3公开了:对聚硅烷照射紫外线生成硅氧烷,形成由聚硅烷和硅氧烷构成的渐变折射率。可见,对比文件3公开的技术方案与本申请相同,都是同种材料被光束照射后发生了化学反应。最后,光聚合物被定义为一种具有光学功能基的单体或者聚合物;对比文件3中的聚硅烷是一种聚合物,其能够对光线产生折射,并在紫外照射中发生化学反应,属于光聚合物的范畴。
因此,复审请求人的意见陈述不能表明本申请具备创造性,合议组不予支持。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年12月12日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,复审请求人可以自收到本复审请求审查决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。



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