发明创造名称:检查方法和设备以及光刻设备
外观设计名称:
决定号:187342
决定日:2019-08-20
委内编号:1F273795
优先权日:2013-12-19
申请(专利)号:201480074167.0
申请日:2014-11-14
复审请求人:ASML荷兰有限公司
无效请求人:
授权公告日:
审定公告日:
专利权人:
主审员:刘丽伟
合议组组长:周小祥
参审员:赵劼
国际分类号:G03F7/20,G01N21/956
外观设计分类号:
法律依据:专利法第33条
决定要点
:对于以概括方式修改的情形,不应仅因其在修改过程中对技术方案进行了再次概括而否定此种修改方式,而是应当考察本领域技术人员是否能够在原始申请文件中记载的具体实施例的基础上,直接地、毫无疑义地确定该经再次概括的技术方案。如果经修改的技术方案是对原说明书和权利要求书记载内容的再次概括,并且该技术方案是本领域技术人员能够在原说明书和权利要求书记载内容的基础上直接地、毫无疑义地概括确定的,则该修改符合专利法第33条的规定。
全文:
本复审请求涉及申请号为201480074167.0、名称为“检查方法和设备以及光刻设备”的PCT发明专利申请(下称本申请),申请人为ASML荷兰有限公司。本申请的申请日为2014年11月14日,优先权日为2013年12月19日,进入中国国家阶段的日期为2016年07月26日,中国申请公布日为2016年09月07日。
国家知识产权局专利实质审查部门依法对本申请进行了实质审查,于2018年11月02日发出驳回决定,驳回了本申请,其理由是申请人对权利要求1、2、4、8、10、11、13、17、19、20的修改不符合专利法第33条的规定。驳回决定所依据的文本为:申请人于2017年12月25日提交的权利要求第1-20项,2016年07月26日进入中国国家阶段时提交的中文译文的说明书第[0001]-[0094]段、说明书附图图1-7、说明书摘要以及摘要附图。
驳回决定所针对的权利要求书内容如下
“1. 一种检查方法,包括:
使用具有第一波长的检查辐射来检测源自结构的照射的第一衍射信号,所述结构包括多个层;
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;
使用具有第二波长的检查辐射来检测源自所述结构的照射的第二衍射信号;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。
2. 根据权利要求1所述的方法,其中,所述多个层中的第三子集包括吸收具有所述第一波长的所述检查辐射中的一些的第一材料;以及
吸收的水平、以及具有所述第一波长的所述检查辐射穿透所述多个层中的所述第三子集的水平取决于所述第一波长。
3. 根据权利要求1所述的方法,还包括:
使用具有所述第一波长的检查辐射照射所述结构;以及
使用具有所述第二波长的检查辐射照射所述结构。
4. 根据权利要求1所述的方法,其中:
所述第一波长和所述第二波长选择多个波长;以及
所使用的多个波长的范围和/或数目由材料属性和所述多个层中层的数目确定。
5. 根据权利要求1所述的方法,其中:
所述第一子集定位在所述第二子集之上;以及
所述第一衍射信号对所述第一属性敏感。
6. 根据权利要求1所述的方法,其中:
确定所述第二属性包括执行所述第二子集的重构;
在所述重构期间,以浮动参数描述所述第二属性,其中所述第一属性由固定参数描述。
7. 根据权利要求6所述的方法,其中,所述第一属性是所述第一子集的重构的结果。
8. 根据权利要求6所述的方法,还包括:
对所述多个层执行敏感性分析以确定所述第一子集,所述第一子集的衍射信号是对于所述第一属性敏感的。
9. 根据权利要求6所述的权利要求,其中,所述第二波长比所述第一波长更长。
10. 根据权利要求2所述的方法,其中,所述第一子集、所述第二子集和所述第三子集以第一材料的层与第二材料的层交替布置,以及所述第一子集和所述第二子集包括所述第二材料。
11. 一种检查设备,包括:
检测器,被配置成:
使用具有第一波长的检查辐射来检测源自结构的照射的第一衍射信号,所述结构包括多个层;以及
使用具有第二波长的检查辐射来检测源自所述结构的照射的第二衍射信号;以及
处理器,被配置为:
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。
12. 根据权利要求11所述的检查设备,还包括:
辐射源,被配置成使用具有所述第一波长的检查辐射照射所述结构,并且所述检查辐射具有所述第二波长。
13. 根据权利要求11所述的检查设备,其中:
所述第一波长和所述第二波长选择多个波长;以及
所使用的多个波长的范围和/或数目是基于所述结构的材料属性和所述多个层中层的数目确定。
14. 根据权利要求11所述的检查设备,其中:
所述第一子集被定位在所述第二子集之上;以及
所述第一衍射信号对所述第一属性敏感。
15. 根据权利要求11所述的检查设备,其中,所述处理器被进一步配置成执行所述第二子集的重构;
在所述重构期间,以浮动参数描述所述第二属性,其中所述第一属性由固定参数描述。
16. 根据权利要求15所述的检查设备,其中,所述第一属性是所述第一子集的重构的结果。
17. 根据权利要求15所述的检查设备,其中,所述处理器被进一步配置成对所述多个层执行敏感性分析以确定所述第一子集,所述第一子集的衍射信号是对于所述第一属性敏感的。
18. 根据权利要求15所述的检查设备,其中,所述第二波长比所述第一波长更长。
19. 根据权利要求11所述的检查设备,其中,所述第一子集、所述第二子集和所述第三子集以第一材料的层与第二材料的层交替布置,以及所述第一子集和所述第二子集包括所述第二材料。
20. 一种光刻设备,被配置成在衬底上形成结构,所述结构包括多个层;所述光刻设备包括:
检查设备;
检测器,被配置成:
使用具有第一波长的检查辐射来检测源自结构的照射的第一衍射信号,所述结构包括多个层;以及
使用具有第二波长的检查辐射来检测源自所述结构的照射的第二衍射信号;以及
处理器,被配置为:
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。”
申请人ASML荷兰有限公司(下称复审请求人)对上述驳回决定不服,于2019年02月15日向国家知识产权局提出了复审请求,同时修改了权利要求书,其中,在驳回决定所依据文本的基础上,主要修改如下:
(1)将权利要求1修改为“1.一种检查方法,包括:检测源自使用具有第一波长的检查辐射照射结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层;根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;检测源自使用具有第二波长的检查辐射照射所述结构的第二衍射信号,所述第二波长比所述第一波长更长; 以及基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。”即,调整了权利要求语言且并入了权利要求9的附加技术特征。
(2)与上述修改相似地修改了权利要求11和20,修改后重新编号为权利要求10和18。
(3)将权利要求4修改为记载“所述第一波长和所述第二波长选自多个波长;以及所使用的多个波长的范围和/或数目由材料属性和所述多个层中层的数目确定”。
(4) 与上述修改相似地修改了权利要求13,修改后重新编号为权利要求12。
(5)将权利要求10修改后重新编号为权利要求9,修改为 “所述第一子集、所述第二子集和所述第三子集布置在层堆叠中,所述层堆叠包括所述第一材料与第二材料的交替层,以及所述第一子集和所述第二子集包括所述第二材料。”
(6)与上述修改相似地修改了权利要求19,修改后重新编号为权利要求17。
(7)删除权利要求9、18,并相应地修改权利要求的编号和引用关系。
复审请求人认为修改后的权利要求的技术方案能够从原说明书和权利要求书记载的范围直接地、毫无疑义地确定,因此符合专利法第33条的规定。复审请求时提交的修改后的权利要求1、2、4、9、10、12、17、18内容如下:
“1. 一种检查方法,包括:
检测源自使用具有第一波长的检查辐射照射结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层;
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;
检测源自使用具有第二波长的检查辐射照射所述结构的第二衍射信号,所述第二波长比所述第一波长更长;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。
2. 根据权利要求1所述的方法,其中,所述多个层中的第三子集包括吸收具有所述第一波长的所述检查辐射中的一些的第一材料;以及
吸收的水平、以及具有所述第一波长的所述检查辐射穿透所述多个层中的所述第三子集的水平取决于所述第一波长。
4. 根据权利要求1所述的方法,其中:
所述第一波长和所述第二波长选自多个波长;以及
所使用的多个波长的范围和/或数目由材料属性和所述多个层中层的数目确定。
9. 根据权利要求2所述的方法,其中,所述第一子集、所述第二子集和所述第三子集布置在层堆叠中,所述层堆叠包括所述第一材料与第二材料的交替层,以及所述第一子集和所述第二子集包括所述第二材料。
10. 一种检查设备,包括:
检测器,被配置成:
检测源自使用具有第一波长的检查辐射照射结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层;以及
检测源自使用具有第二波长的检查辐射照射所述结构的第二衍射信号,所述第二波长比所述第一波长更长;以及
处理器,被配置为:
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。
12. 根据权利要求10所述的检查设备,其中:
所述第一波长和所述第二波长选自多个波长;以及
所使用的多个波长的范围和/或数目是基于所述结构的材料属性和所述多个层中层的数目确定。
17. 根据权利要求10所述的检查设备,其中,所述第一子集、所述第二子集和所述第三子集布置在层堆叠中,所述层堆叠包括所述第一材料与第二材料的交替层,以及所述第一子集和所述第二子集包括所述第二材料。
18. 一种光刻设备,被配置成在衬底上形成结构,所述结构包括多个层;所述光刻设备包括:
检查设备;
检测器,被配置成:
检测源自使用具有第一波长的检查辐射照射所述结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层;以及
检测源自使用具有第二波长的检查辐射照射所述结构的第二衍射信号,所述第二波长比所述第一波长更长;以及
处理器,被配置为:
根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;以及
基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性。”。
经形式审查合格,国家知识产权局于2019年02月20日依法受理了该复审请求,并将其转送至专利实质审查部门进行前置审查。
专利实质审查部门在前置审查意见书中认为,复审请求人未修改权利要求2且其陈述的理由不能成立,因此,权利要求2的修改仍不符合专利法第33条的规定,坚持驳回决定。
随后,国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
本案合议组经审查认为在上述程序的基础上,本案事实已经清楚,可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人在提出复审请求时修改了权利要求书,经审查,其修改符合专利法实施细则第61条第1款的规定。
本决定依据的审查文本为:2019年02月15日提出复审请求时提交的权利要求第1-18项,2016年07月26日进入中国国家阶段时提交的中文译文的说明书第[0001]-[0094]段、说明书附图图1-7、说明书摘要以及摘要附图。
关于专利法第33条
专利法第33条规定:申请人可以对其专利申请文件进行修改,但是,对发明和实用新型专利申请文件的修改不得超出原说明书和权利要求书记载的范围,对外观设计专利申请文件的修改不得超出原图片或者照片表示的范围。
本申请为国际申请,对于国际申请,由《专利审查指南》第三部分第二章第3.3节可知,专利法第33条所说的原说明书和权利要求书是指原始提交的国际申请的权利要求书、说明书及其附图(以下简称为“原说明书和权利要求书”)。
2.1 关于权利要求1
驳回决定认为:根据原说明书的记载可知,“使用检测辐射照射层堆叠”且“对检查辐射的每个波长重复这些步骤,在每个情形中当对于已经重构的层使用来自之前重构的结果时仅重构最近敏感层的一个或多个(也即最低敏感性层),直至已经重构了所有层”为本申请技术方案的基本步骤,因此,修改后权利要求1中的技术特征“使用具有第一波长的检查辐射来检测源自结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层; 根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;使用具有第二波长的检查辐射来检测源自所述结构的第二衍射信号;以及基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性”,既未明确记载在原说明书和权利要求书中,也不能由原说明书和权利要求书所记载的内容直接地、毫无疑义地确定,因此超出了原说明书和权利要求书记载的范围。
经查,复审请求人在提交复审请求时修改的权利要求1涉及上述内容的特征为“检测源自使用具有第一波长的检查辐射照射结构的第一衍射信号,所述结构包括多个层;根据所述第一衍射信号确定所述多个层的第一子集的第一属性;检测源自使用具有第二波长的检查辐射照射所述结构的第二衍射信号;以及基于所述第二衍射信号和所述第一属性确定所述多个层的第二子集的第二属性”,该特征与驳回决定涉及的上述特征仅是字面表达方式不同,其含义实质相同,并且,修改后的权利要求1还增加了特征“第二波长比第一波长更长”。分析修改后的权利要求1可知,相比原权利要求1,其将“至少一个选择波长的检查辐射”进一步限定为“具有第一波长的检查辐射”和“具有第二波长的检查辐射”,将“所述层的子集”进一步限定为“第一子集”和“第二子集”,并对其要求保护的检测方法作了进一步限定。从修改方式上看,是对说明书中具体实施例的再次概括,判断其修改是否超出原申请文件记载范围的焦点在于,本领域技术人员是否能够直接地、毫无疑义地从原说明书和权利要求书记载的内容中确定该再次概括后的技术方案。
合议组认为:对于以概括方式修改的情形,不应仅因其在修改过程中对技术方案进行了再次概括而否定此种修改方式,而是应当考察本领域技术人员是否能够在原始申请文件中记载的具体实施例的基础上,直接地、毫无疑义地确定该经再次概括的技术方案。如果经修改的技术方案是对原说明书和权利要求书记载内容的再次概括,并且该技术方案是本领域技术人员能够在原说明书和权利要求书记载内容的基础上直接地、毫无疑义地概括确定的,则该修改符合专利法第33条的规定。
具体到本案,原说明书第[0066]段所记载的具体实施例为:“使用在λ=400nm的辐射来检测结构,重构氧化物层1和氧化物层2;使用在λ=450nm的辐射来检查结构:当使用来自之前步骤(λ=400nm)的结果保持层1和层2固定时,重构氧化物层3;使用λ=500nm的辐射来检查结构:当使用来自之前步骤(λ=450nm)的结果保持层1、层2和层3固定时,重构氧化物层4和氧化物层5。以类似的方式对每个波长重复这些步骤,在每个情形中对已经重构的层使用来自之前重构的结果时仅重构最近敏感层的一个或多个(也即最低敏感性层),直至已经重构了所有层。”同时,原说明书第[0059]段记载了“层堆叠可以包括第一材料和第二材料的交替层的多层重复结构”。第[0062]段记载了“可以通过使用不同波长的检查辐射执行测量而独立地测量包括在层堆叠的层的子集。”根据上述记载的内容并结合原说明书和权利要求书的全部内容,本领域技术人员可以直接地、毫无疑义地确定,本申请的检查方法通过检查辐射对层堆叠结构内的不同层的子集进行检测和重构,得到该层子集的衍射信号,并根据该衍射信号确定该层子集的属性(参见原权利要求1-16)。每完成一个层子集的检查,即增大检测辐射的波长继续向下(或者说向内)对下层子集进行检测和重构,获得该下层子集的衍射信号并确定该下层子集的属性,其中将之前已经重构得到的层子集的属性(以下简称为“上层子集的属性”)作为固定值并根据该下层子集的衍射信号确定该下层子集的属性。也就是说,该检查方法包括多个类似迭代的步骤,在每个迭代步骤中,使用具有比上一步骤中更长波长的检查辐射进行检测,获得层堆叠结构中下层子集的衍射信号,并基于该衍射信号和在上一步骤中已确定的上层子集的属性来确定该下层子集的属性。修改后的权利要求1正是对该检查方法中一个迭代过程中的步骤进行的限定,为清楚起见,将不同波长的检查辐射称为“具有第一波长的检查辐射”和“第二波长的检查辐射”,且“第二波长比第一波长更长”,相应地将不同层的子集称为“第一子集”和“第二子集”,从而对说明书记载的上述内容进行了概括。
驳回决定强调应“重复这些步骤”,但是,将整个申请文件作为一个整体来看,本领域技术人员根据原说明书和权利要求书得到的技术信息是,该检查方法的目的在于提供一种更精确测量层堆叠结构的方法和系统,其至少包括一个如上迭代步骤,至于是否需要循环(即重复执行迭代步骤)以及迭代几次,取决于所检查的层堆叠结构的子集数量,这一点从原说明书中列举不同层数的结构即可看出,如第[0067]段记载了“直至已经重构了所有层(或者满足另一准则)”。例如,在层堆叠只包括两个子集的情况下,本申请的检查方法是不需要重复的。因此,即使权利要求1未限定“重复执行”这一技术特征也未超出原说明书和权利要求书记载的范围。
综上所述,尽管修改后的权利要求1的技术方案是再次概括得到的,但该技术方案是本领域技术人员能够在原说明书和权利要求书记载内容的基础上直接地、毫无疑义地概括确定的,因此,未超出原说明书和权利要求书记载的范围,符合专利法第33条的规定。
2.2 关于权利要求10和18(对应于驳回决定所针对的权利要求11和20)
权利要求10和18要求保护检查设备和光刻设备,其分别包括权利要求1所限定的检查方法,驳回决定认为其不符合专利法第33条的理由与权利要求1的理由相同。基于如上相同的理由,权利要求1的技术方案未超出原说明书和权利要求书记载的范围,则包括权利要求1的检查方法的权利要求10和18也未超出原说明书和权利要求书记载的范围,因此,符合专利法第33条的规定。
2.3 关于权利要求2(对应于驳回决定所针对的权利要求2)
驳回决定认为:本领域技术人员无法从特征“对于最短波长(在该示例中λ=400nm)而言,衍射信号对于层堆叠的仅最顶部两个层的物理属性是敏感的”得到权利要求2的附加技术特征,因此,权利要求2的修改也不符合专利法第33条的规定。
经查,复审请求人在提交复审请求时未对权利要求2进行修改,其附加技术特征为“所述多个层中的第三子集包括吸收具有所述第一波长的所述检查辐射中的一些的第一材料;以及吸收的水平、以及具有所述第一波长的所述检查辐射穿透所述多个层中的所述第三子集的水平取决于所述第一波长”,对于该权利要求2的理解应当是,其进一步限定了所述多个层的结构还包括第三子集,该第三子集包括第一材料,并且第一材料能够吸收具有第一波长的检查辐射的部分辐射,吸收的水平以及第一波长的检查辐射能够穿透第三子集的水平取决于第一波长。
合议组认为:原权利要求2记载了“所述层中的至少一些包括吸收所述检查辐射中的一些的第一材料;吸收的水平、以及因此所述检查辐射穿透通过所述层的水平取决于所述检查辐射的波长”。并且根据前述所列的原说明书和权利要求书记载的内容,可以直接地、毫无疑义地确定,层堆叠结构可以由包括第一材料和第二材料交替的多个层构成,并且不同波长能够穿透的最低层子集以及其衍射信号(衍射信号可以体现吸收水平)取决于检查辐射的波长。同时,原说明书具体实施例还给出了至少三个子集的具体检查步骤(参见说明书第[0066]段)。因此,本领域技术人员能够直接地、毫无疑义地从原说明书和权利要求书记载的内容确定得到权利要求2的附加技术特征。因此,在其引用的权利要求1的技术方案未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的基础上,权利要求2的技术方案也未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的规定。
2.4 关于权利要求4和12(即驳回决定所针对的权利要求4和13)
驳回决定认为:根据原说明书记载的内容,检查辐射不仅仅包括第一波长和第二波长,因此,权利要求4和12不符合专利法第33条的规定。
对此,合议组认为:如前所述,权利要求1是对原说明书所公开的具有多个循环的检查方法中一个循环单元的概括,在该循环单元中包括第一波长和第二波长的检查辐射。因此,权利要求4和12的附加技术特征能够直接地、毫无疑义地从原说明书和权利要求书记载的内容中得到,在其引用的权利要求1的技术方案未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的基础上,权利要求4的技术方案也未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的规定。同理,在其引用的权利要求10的技术方案未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的基础上,权利要求12的技术方案也未超出原说明书和权利要求书记载的范围而符合专利法第33条的规定。
2.5 关于权利要求8和16(分别对应于驳回决定针对的权利要求8和17)
权利要求8和16分别间接从属于权利要求1和10,权利要求1中限定了所述多个层包括第一子集和第二子集并检测得到它们的第一衍射信号和第二衍射信号,权利要求8和16进一步限定了执行敏感性分析以确定第一子集并且第一子集的衍射信号是对于第一属性敏感的。原权利要求8中记载了“对所述层执行敏感性分析以便于根据所述选择波长确定所述层中的哪个是对所述属性敏感的衍射信号”,在技术方案将所述层限定为第一子集和第二子集的情况下,根据原权利要求8的内容可以直接地、毫无疑义地确定得到该附加技术特征。因此,权利要求8和16也未超出原说明书和权利要求书记载的范围,符合专利法第33条的规定。
2.6 关于权利要求9和17(分别对应于驳回决定针对的权利要求10和19)
权利要求9和17的附加技术特征限定了第一子集、第二子集和第三子集布置在层堆叠中,所述层堆叠包括第一材料和第二材料的交替层,并且第一子集和第二子集包括第二材料。首先,本申请旨在提供可以精确测量层堆叠结构的方法和设备,而并不意在区分层堆叠结构的具体构成,在其原说明书记载了多种层堆叠结构的情况下,对其进行适当概括也应当是允许的。第二,原说明书第[0062]段记载了,每个子集可以包括单个层,或者多于一个层。当它们包括多于一个层时,每个子集可以包括(例如)一种材料(例如第二材料)的相邻层的群组,结合原说明书记载的层堆叠结构可以是第一材料和第二材料的交替层,可以直接地、毫无疑义地概括得到第一子集和第二子集包括相同材料(如第二材料)而第三子集包括第一材料的技术方案。因此,权利要求9和17未超出原说明书和权利要求书记载的范围,符合专利法第33条的规定。
综上所述,修改后的权利要求书已克服驳回决定所指出的不符合专利法第33条规定的缺陷,合议组依法作出如下决定。
三、决定
撤销国家知识产权局于2018年11月02日对本申请作出的驳回决定。由国家知识产权局实质审查部门在本决定所依据文本的基础上对本申请继续进行审查。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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