发明创造名称：浸没撕带
外观设计名称：
决定号：186729
决定日：2019-07-31
委内编号：1F267451
优先权日：2014-01-17
申请（专利）号：201410160689.4
申请日：2014-04-21
复审请求人：台湾积体电路制造股份有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：刘永欣
合议组组长：罗慧晶
参审员：李发喜
国际分类号：H01L21/02，H01L21/683，H01L21/67
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，其中部分区别技术特征是在其他对比文件给出的技术启示下结合本领域的公知常识容易得到的，其余区别技术特征属于本领域的公知常识，则该项权利要求所请求保护的技术方案相对于上述对比文件以及本领域的公知常识的结合不具有突出的实质性特点，因而不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410160689.4，名称为“浸没撕带”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请人为台湾积体电路制造股份有限公司，申请日为2014年04月21日，优先权日为2014年01月17日，公开日为2015年07月22日。
经实质审查，国家知识产权局实质审查部门于2018年08月20日发出驳回决定，以本申请权利要求7-14不符合专利法第22条第3款的规定为由驳回了本申请。在驳回决定的其他说明部分指出权利要求1-6不符合专利法第22条第3款的规定。驳回决定所依据的文本为：申请人于申请日2014年04月21日提交的说明书摘要和摘要附图、说明书第1-9页、说明书附图第1-7页； 2018年05月15日提交的权利要求第1-14项。驳回决定所针对的权利要求书的内容如下：
“1. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
提供衬底，所述衬底具有附接至所述衬底的衬底胶带，所述衬底包括附接至所述衬底胶带的导电连接件；
在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体；以及
当所述液体位于所述衬底和所述衬底胶带之间时，通过压辊从所述衬底去除所述衬底胶带；
其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的，从所述衬底去除所述衬底胶带开始于由倾斜引起的所述衬底的最高边缘，并且在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体包括从所述衬底的最高边缘将所述液体提供在所述衬底和所述衬底胶带之间。
2. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述液体包括去离子水。
3. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述衬底包括电子器件。
4. 根据权利要求1所述的方法，其中，在所述衬底和所述衬底胶带之间提供所述液体包括：
提供具有所述液体的浸没槽；以及
将所述衬底和所述衬底胶带浸没到所述浸没槽中的所述液体中。
5. 根据权利要求1所述的方法，其中，去除所述衬底胶带包括：
将夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；以及
将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离。
6. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述液体具有为7的pH值。
7. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
将衬底放置于浸没槽中，所述衬底包括附接至衬底胶带的导电连接件；
使夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；
在所述浸没槽中提供液体；以及
当所述液体和所述衬底位于所述浸没槽中时，将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离；
其中，当所述衬底位于所述浸没槽中时，使所述夹紧胶带粘附至所述 衬底胶带。
8. 根据权利要求7所述的方法，其中，所述液体包括去离子水。
9. 根据权利要求7所述的方法，其中，将所述衬底放置在所述浸没槽中包括围绕枢轴旋转衬底夹具，所述衬底位于所述衬底夹具上。
10. 根据权利要求7所述的方法，其中，粘附所述夹紧胶带包括使用可移动的压辊以使所述夹紧胶带延伸到所述浸没槽中，从而使所述夹紧胶带接触所述衬底胶带。
11. 根据权利要求7所述的方法，其中，在所述浸没槽中提供所述液体包括将所述液体放置在所述浸没槽中，将所述衬底完全浸没在所述浸没槽中的所述液体中。
12. 根据权利要求7所述的方法，其中，将所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带包括使可移动的压辊在所述浸没槽中延伸以从第一固定压辊分配所述夹紧胶带，其中，从所述衬底剥离粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶的步骤包括将所述夹紧胶带卷动到第二固定压辊上，在所述卷动期间，所述可移动的压辊在所述衬底胶带上移动。
13. 根据权利要求7所述的方法，其中，所述液体具有为7的pH值。
14. 根据权利要求7所述的方法，其中，所述衬底包括：
中介层，所述导电连接件位于所述中介层的第一侧上；以及
集成电路芯片，包括电子器件，所述集成电路芯片附接至所述中介层的与所述第一侧相对的第二侧。”
驳回决定中引用如下对比文件：
对比文件3：US2008/0011412A1，公开日为2008年01月17日；
对比文件4：US2007/0235131A1，公开日为2007年10月11日；
对比文件5：US2012/0168066A1，公开日为2012年07月05日。
在驳回决定的其他说明部分还引用了如下对比文件：
对比文件2：JP特开2005-19591A，公开日为2005年01月20日。
驳回决定认为：（1）权利要求7与对比文件4相比，区别技术特征为：将衬底放置于浸没槽中，在所述浸没槽中提供液体，将粘附有所述夹紧胶带从所述衬底剥离是当所述液体和所述衬底位于所述浸没槽中时，当所述衬底位于所述浸没槽中时，使所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带。上述区别技术特征部分被对比文件5公开，其余部分属于本领域常用的技术手段。因此，权利要求7相对于对比文件4、对比文件5以及本领域的公知常识的结合不具备创造性。（2）从属权利要求8-14的附加技术特征或是被对比文件3、对比文件4或者对比文件5公开，或是属于本领域的公知常识，因此权利要求8-14也不具备创造性。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年11月30日向国家知识产权局提出了复审请求，未修改申请文件。在复审请求书中，复审请求人认为：（1）对比文件5没有公开权利要求1中的特征“从所述衬底去除所述衬底胶带开始于由倾斜引起的所述衬底的最高边缘，并且在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体包括从所述衬底的最高边缘将所述液体提供在所述衬底和所述衬底胶带之间”，对比文件5说明书第65段中记载内容表明其液体不能预先浸润元件形成层11和剥离层12之间的界面，也不能预期利用重力作用提前润湿衬底和衬底胶带之间的导电连接件。（2）对比文件2中喷射水的作用与本申请中的液体的作用完全不同。（3）对比文件5中的水槽中已经有水，其薄膜30粘附至元件形成层11只能在水槽外面进行，根据其原理，本领域技术人员不容易想到在浸没槽中使夹紧胶带粘附至衬底胶带，之后放水进行剥离操作。因此，本申请权利要求1、7具有创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年12月07日依法受理了该复审请求，并将其转送至实质审查部门进行前置审查。
实质审查部门在前置审查意见书中坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年03月29日向复审请求人发出复审通知书，指出：复审请求人于2018年05月15日提交的修改文本中，对权利要求4、5的修改不符合专利法第33条的规定；引用上述对比文件3-5评述了权利要求1-3、6-14不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的陈述意见，合议组认为：首先，对比文件5已经给出了在剥离衬底层和器件层时，在衬底层和器件层的界面处提供液体以减少或避免在剥离时产生的静电的技术启示，而通过液体自身的重力作用浸润接触界面是本领域中的常用技术手段，因此为了提高浸润和剥离效果，本领域技术人员容易想到使衬底倾斜并从最高处施加液体从而获得复审请求人提及的上述权利要求1中记载的特征，这属于本领域技术人员对浸润和剥离工艺的常规选择，无需付出创造性的劳动。其次，复审通知书没有引用对比文件2对权利要求1进行评述，但是相应的技术特征属于本领域的常用技术手段。最后，对比文件5已经给出了本申请中通过在剥离界面处提供液体从而减少或避免静电现象的核心技术构思，而在浸没槽中提供液体的时机（如粘附夹紧胶带前或是粘附夹紧胶带后）则是本领域技术人员根据具体工艺需要对工艺步骤的简单调整和选择，其效果也是本领域技术人员可以合理预期的，这种在浸没槽中提供液体的时机的简单调整和选择不足以使本申请具有创造性。
复审请求人于2019年05月06日提交了意见陈述书，并提交了权利要求的全文修改替换页（共19项权利要求）。其中，复审请求人针对原独立权利要求1、7的特征部分进行了修改，修改了原从属权利要求2-6,8-14的引用部分，并增加了从属权利要求10、独立权利要求16及其从属权利要求17-19。答复复审通知书时修改的权利要求书的内容如下：
“1. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
提供衬底，所述衬底具有附接至所述衬底的所述衬底胶带，所述衬底包括附接至所述衬底胶带的导电连接件；
在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体；
当所述液体位于所述衬底和所述衬底胶带之间时，从所述衬底去除所述衬底胶带，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的；以及
保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。
2. 根据权利要求1所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述液体包括去离子水。
3. 根据权利要求1所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述衬底包括电子器件。
4. 根据权利要求1所述的去除衬底胶带的方法，其中，在所述衬底和所述衬底胶带之间提供所述液体包括：
提供具有所述液体的浸没槽；以及
将所述衬底和所述衬底胶带浸没到所述浸没槽中的所述液体中。
5. 根据权利要求1所述的去除衬底胶带的方法，其中，去除所述衬底胶带包括：
将夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；以及
将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离。
6. 根据权利要求1所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述液体具有为7的pH值。
7. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
将衬底放置于浸没槽中，所述衬底包括附接至所述衬底胶带的导电连接件；
使夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；
在所述浸没槽中提供液体；
当所述液体和所述衬底位于所述浸没槽中时，将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的；以及
保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。
8. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述液体包括去离子水。
9. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，将所述衬底放置在所述浸没槽中包括围绕枢轴旋转衬底夹具，所述衬底位于所述衬底夹具上。
10. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，当所述衬底位于所述浸没槽中时，使所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带。
11. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，粘附所述夹紧胶带包括使用可移动的压辊以使所述夹紧胶带延伸到所述浸没槽中，从而使所述夹紧胶带接触所述衬底胶带。
12. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，在所述浸没槽中提供所述液体包括将所述液体放置在所述浸没槽中，将所述衬底完全浸没在所述浸没槽中的所述液体中。
13. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，将所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带包括使可移动的压辊在所述浸没槽中延伸以从第一固定压辊分配所述夹紧胶带，其中，从所述衬底剥离粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶的步骤包括将所述夹紧胶带卷动到第二固定压辊上，在所述卷动期间，所述可移动的压辊在所述衬底胶带上移动。
14. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述液体具有为7的pH值。
15. 根据权利要求7所述的去除衬底胶带的方法，其中，所述衬底包括：
中介层，所述导电连接件位于所述中介层的第一侧上；以及
集成电路芯片，包括电子器件，所述集成电路芯片附接至所述中介层的与所述第一侧相对的第二侧。
16. 一种去除衬底胶带的装置，包括：
浸没槽；
衬底夹具，配置为固定衬底且将所述衬底放置到所述浸没槽内，所述衬底夹具配置为在从所述衬底去除所述衬底胶带、以及从所述衬底去除液体期间，保持所述衬底倾斜；
第一固定压辊，可操作为分配夹紧胶带；
第二固定压辊，可操作为卷动所述夹紧胶带；以及
可移动的压辊，可操作为延伸到所述浸没槽中且将所述夹紧胶带粘附至所述衬底上的衬底胶带。
17. 根据权利要求16所述的去除衬底胶带的装置，其中，所述衬底夹具可操作为围绕枢轴点旋转，以将所述衬底放置到所述浸没槽中。
18. 根据权利要求16所述的去除衬底胶带的装置，其中，所述可移动的压辊可操作为将压力应用于所述夹紧胶带，从而将所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带，且当所述第二固定压辊卷动所述夹紧胶带时，向所述夹紧胶带提供张力。
19. 根据权利要求16所述的去除衬底胶带的装置，还包括可调整的压辊，所述可调整的压辊可操作为放置在一个位置处，使得当所述可移动的压辊延伸到所述浸没槽中以将所述夹紧胶带粘附至所述衬底胶带时，所述夹紧胶带与所述衬底胶带共平面。”
复审请求人认为：修改后的权利要求1中增加了区别技术特征“在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的；以及保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体”。对比文件4中的晶元W是水平的，且该晶元W上也不存在液体。对比文件5中在去除形成层11后，衬底10和剥离层12是水平的，对比文件5也未公开从衬底10和剥离层12上去除液体15。本申请中限定在从衬底上去除衬底胶带以及从衬底上去除液体期间，衬底都是水平的，可以获得通过液体表面张力从衬底和连接件上去除基本全部液体的有益效果，且上述区别技术特征并非本领域公知常识或常用技术手段。因此，修改后的权利要求1具有创造性。
合议组于2019年05月30日再次向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求10、16-19的增加不符合专利法实施细则第61条第1款的规定；权利要求1-9、11-15不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的陈述意见，合议组认为：对比文件5已经给出了在剥离衬底层和器件层时，在衬底层和器件层的界面处提供液体以减少或避免在剥离时产生的静电的技术启示，且对比文件5也公开了在剥离期间，衬底的位置为倾斜的技术内容。而通过将衬底倾斜，从而通过液体自身的张力和重力作用快速有效地排除液体是本领域中的常用技术手段，这种排除液体的工艺具有的排液效果是可以合理预期的，无需本领域技术人员付出创造性的劳动。
复审请求人于2019年07月10日提交了意见陈述书，并提交了权利要求书的全文修改替换页（共14项权利要求）。其中，复审请求人针对独立权利要求1、7进行了修改，并删除了从属权利要求10、独立权利要求16及其从属权利要求17-19，并适应性地修改了其他权利要求的序号和引用关系。答复第二次复审通知书时修改的权利要求1、7的内容如下：
“1. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
提供衬底，所述衬底具有附接至所述衬底的所述衬底胶带，所述衬底包括附接至所述衬底胶带的导电连接件；
在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体；
当所述液体位于所述衬底和所述衬底胶带之间时，通过移动压辊从所述衬底去除所述衬底胶带，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的，并且所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底去除所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底去除所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同；以及
保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。”
“7. 一种去除衬底胶带的方法，包括：
将衬底放置于浸没槽中，所述衬底包括附接至所述衬底胶带的导电连接件；
使夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；
在所述浸没槽中提供液体；
当所述液体和所述衬底位于所述浸没槽中时，通过移动压辊将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的，并且所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底剥离所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底剥离所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同；以及
保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。”
复审请求人认为：对比文件5中，相对于压力辊54，元件形成层11的剥离开始点和剥离结束点为同一点，并且压力辊始终在该点处转动，不可能移动至元件形成层11的剥离开始点和剥离结束点之外的任何位置。因此，对比文件5中的压力辊54的轨迹不可能经过液体中的剥离开始点、液体中的剥离开始点和结束点之间、液体中的剥离结束点、液体中的剥离结束点之外。对比文件3也没有给出相应的技术启示。因此，修改后的权利要求1、7具有创造性。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查文本的认定
复审请求人在2019年07月10日答复第二次复审通知书时提交了权利要求书的全文修改替换页（共14项权利要求），经审查，所作修改符合专利法实施细则第61条第1款和专利法第33条的规定。本复审请求审查决定所针对的审查文本是：复审请求人于申请日2014年04月21日提交的说明书摘要和摘要附图、说明书第1-9页、说明书附图第1-7页；2019年07月10日提交的权利要求第1-14项。
2、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求请求保护的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，其中部分区别技术特征是在其他对比文件给出的技术启示下结合本领域的公知常识容易得到的，其余区别技术特征属于本领域的公知常识，则该项权利要求所请求保护的技术方案相对于上述对比文件以及本领域的公知常识的结合不具有突出的实质性特点，因而不具备创造性。
本复审请求审查决定引用的对比文件与驳回决定和复审通知书中引用的对比文件相同，即：
对比文件3：US2008/0011412A1，公开日为2008年01月17日；
对比文件4：US2007/0235131A1，公开日为2007年10月11日；
对比文件5：US2012/0168066A1，公开日为2012年07月05日。
2.1. 权利要求1请求保护一种去除衬底胶带的方法，对比文件4是最接近的现有技术，其公开了一种去除衬底胶带的方法，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0002-0080段，图1-8(E))：包括：提供晶片W（即衬底），所述晶片W具有附接至所述晶片W的粘接剂A和保护片S（二者相当于衬底胶带），所述晶片W包括附接至所述粘接剂A和保护片S的电路面上的凸块B（相当于导电连接件）；通过第一辊30（即压辊）从所述晶片W去除所述粘接剂A和保护片S。
该权利要求的技术方案与对比文件4相比，其区别技术特征是：（1）在所述衬底和所述衬底胶带之间提供液体；当所述液体位于所述衬底和所述衬底胶带之间时，通过移动压辊从所述衬底去除所述衬底胶带，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的，并且所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底去除所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底去除所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同；（2）保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。基于上述区别技术特征，该权利要求实际所要解决的技术问题是：避免剥离时的静电放电；快速去除衬底上的液体。
针对区别技术特征（1），对比文件5公开了一种剥离方法，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第0052-0103段，图1-13）：将剥离层12及衬底10（二者相当于衬底）放置于水槽57（即浸没槽）中，在所述水槽57中提供液体15，当所述液体15和所述剥离层12及衬底10位于所述水槽57中(结合图13，此处隐含公开了将衬底和衬底胶带浸没到浸没槽中的液体中的步骤)时，将粘附有元件形成层11（对应于衬底胶带）的具有粘合层的薄膜30（相当于夹紧胶带，隐含公开了将夹紧胶带粘附至衬底胶带的步骤）从所述剥离层12及衬底10剥离（相当于将粘附有衬底胶带的夹紧胶带从衬底剥离），结合图13可知，相当于在衬底和元件形成层11之间提供液体；当所述液体位于所述衬底和所述元件形成层之间时，从所述衬底去除所述元件形成层，其中，在从所述衬底去除所述元件形成层期间，所述衬底是倾斜的。该技术特征在对比文件5中的作用与其在该权利要求中的作用相同，都是在两个剥离的对象之间提供液体以减小或避免静电放电。因此，在此启示下，本领域技术人员有动机将其应用到对比文件4中，在所述晶片W和所述粘接剂A和保护片S之间提供液体，从而当所述液体位于二者之间时，在晶片W倾斜的位置下，从所述晶片W去除所述粘接剂A和保护片S，这无需付出创造性的劳动。对于“通过移动压辊从衬底去除衬底胶带”的方式，对比文件3公开了一种方法，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0006-0047、0053-0074段，图1-2、5-8(E))：将所述带状的卷筒材料LS（相当于夹紧胶带）粘附至所述剥离片材PS（相当于衬底胶带）包括使可移动的辊子135（相当于压辊）延伸以从输出辊132（相当于第一固定压辊）分配所述卷筒材料LS，其中，从所述晶片W（相当于衬底）剥离粘附有所述剥离片材PS的所述卷筒材料LS的步骤包括将所述卷筒材料LS卷动到卷取辊144（相当于第二固定压辊）上，在所述卷动期间，所述可移动的辊子135在所述剥离片材PS上移动。该技术特征在对比文件3中的作用与上述区别技术特征在权利要求中所起的作用相同，都是提供一种通过移动压辊从衬底去除衬底胶带的方式。可见，对比文件3给出了通过移动压辊从衬底去除衬底胶带的技术启示。在此基础上，本领域技术人员能够容易地对对比文件5的剥离衬底胶带的方式进行调整，虽然对比文件5中公开的是在压辊固定的情况下通过传送带的移动从而剥离衬底胶带，但本领域技术人员知晓剥离衬底上的胶带的方式包括从胶带侧或与其附着的衬底侧施加剥离力的两种方式进行，因而在对比文件3给出的技术启示下，本领域技术人员有能力根据实际的剥离设备和条件选择合适的衬底胶带的剥离方式，例如通过衬底固定而移动压辊的方式从衬底去除衬底胶带，即上述区别技术特征中压辊的运动轨迹的相关技术特征 “所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底去除所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底去除所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同”是本领域技术人员在对比文件3给出的技术启示下根据实际的剥离设备和条件有能力选择得到的，无需付出创造性的劳动,且其技术效果是可以合理预期的。
针对区别技术特征（2），对于本领域技术人员而言，为了快速地排液，保持衬底倾斜从而去除衬底上的液体属于本领域的常用技术手段。
由此可知，在对比文件4的基础上结合对比文件5、对比文件3及本领域的公知常识得到权利要求1所要保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此权利要求1所要保护的技术方案不具备突出的实质性特点，不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.2. 权利要求2是权利要求1的从属权利要求。对比文件5公开了（参见说明书第0073段）：所述液体15为纯水，在此基础上，在实际应用中具体选择去离子水，这属于本领域的常规选择。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.3. 权利要求3是权利要求1的从属权利要求。其附加技术特征已经在对比文件4中公开（参见说明书第0006、0061-0062段，图1-8(E)）：本领域技术人员可以确定所述晶片W包括电子器件。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.4.权利要求4-5是权利要求1的从属权利要求。参见前述，权利要求4-5的附加技术特征已被对比文件5公开，当其引用的权利要求不具备创造性时，上述权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.5. 权利要求6是权利要求1的从属权利要求。对比文件5公开了（参见说明书第0073段）：所述液体15为纯水，本领域技术人员可以确定其具有为7的pH值。该技术特征在对比文件5中的作用与其在该权利要求中的作用相同，都是设置合适的液体。因此，对比文件5给出了将上述技术特征应用到对比文件4中的启示。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.6. 权利要求7请求保护一种去除衬底胶带的方法。对比文件4是最接近的现有技术，其公开了一种去除衬底胶带的方法，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0002-0080段，图1-8(E))：包括：晶片W（即衬底）包括附接至粘接剂A和保护片S（二者相当于衬底胶带）的电路面上的凸块B（相当于导电连接件）；使剥离用带PT（相当于夹紧胶带）粘附至所述粘接剂A和保护片S；将粘附有所述粘接剂A和保护片S的所述剥离用带PT从所述晶片W剥离。
该权利要求的技术方案与对比文件4相比，其区别技术特征是：（1）将衬底放置于浸没槽中，使夹紧胶带粘附至所述衬底胶带；在所述浸没槽中提供液体；当所述液体和所述衬底位于所述浸没槽中时，通过移动压辊将粘附有所述衬底胶带的所述夹紧胶带从所述衬底剥离，其中，在从所述衬底去除所述衬底胶带期间，所述衬底是倾斜的，并且所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底剥离所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底剥离所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同；（2）保持所述衬底倾斜，以去除所述衬底上的液体。基于上述区别技术特征，该权利要求实际所要解决的技术问题是：避免剥离时的静电放电；快速去除衬底上的液体。
针对区别技术特征（1），对比文件5公开了一种剥离方法，并具体公开了如下技术特征（参见说明书第0052-0103段，图1-13）：将剥离层12及衬底10（二者相当于衬底）放置于水槽57（即浸没槽）中，在所述水槽57中提供液体15，当所述液体15和所述剥离层12及衬底10位于所述水槽57中时，将粘附有元件形成层11（对应于衬底胶带）的具有粘合层的薄膜30（相当于夹紧胶带）从所述剥离层12及衬底10剥离，结合图13可知，相当于在衬底和元件形成层11之间提供液体；当所述液体位于所述衬底和所述元件形成层之间时，从所述衬底去除所述元件形成层，其中，在从所述衬底去除所述元件形成层期间，所述衬底是倾斜的。该技术特征在对比文件5中的作用与其在该权利要求中的作用相同，都是在两个剥离的对象之间提供液体以减小或避免静电放电。因此，在此启示下，本领域技术人员有动机将其应用到对比文件4中，将晶片W放置于具有液体的浸没槽中，使夹紧胶带粘附至粘接剂A和保护片S，当所述液体和所述晶片W位于所述浸没槽中时，在晶片W倾斜的位置下，将粘附有粘接剂A和保护片S的夹紧胶带从晶片W剥离，这无需付出创造性的劳动。对于“通过移动压辊从衬底去除衬底胶带”的方式，对比文件3公开了一种方法，并具体公开了以下技术特征(参见说明书第0006-0047、0053-0074段，图1-2、5-8(E))：将所述带状的卷筒材料LS（相当于夹紧胶带）粘附至所述剥离片材PS（相当于衬底胶带）包括使可移动的辊子135（相当于压辊）延伸以从输出辊132（相当于第一固定压辊）分配所述卷筒材料LS，其中，从所述晶片W（相当于衬底）剥离粘附有所述剥离片材PS的所述卷筒材料LS的步骤包括将所述卷筒材料LS卷动到卷取辊144（相当于第二固定压辊）上，在所述卷动期间，所述可移动的辊子135在所述剥离片材PS上移动。该技术特征在对比文件3中的作用与上述区别技术特征在权利要求中所起的作用相同，都是提供一种通过移动压辊从衬底去除衬底胶带的方式。可见，对比文件3给出了通过移动压辊从衬底去除衬底胶带的技术启示。在此基础上，本领域技术人员能够容易地对对比文件5的剥离衬底胶带的方式进行调整，虽然对比文件5中公开的是在压辊固定的情况下通过传送带的移动从而剥离衬底胶带，但本领域技术人员知晓剥离衬底上的胶带的方式包括从胶带侧或与其附着的衬底侧施加剥离力的两种方式进行，因而在对比文件3给出的技术启示下，本领域技术人员有能力根据实际的剥离设备和条件选择合适的衬底胶带的剥离方式，例如通过衬底固定而移动压辊的方式从衬底去除衬底胶带，即上述区别技术特征中压辊的运动轨迹的相关技术特征 “所述压辊的移动轨迹构造为：依次经过所述液体中的衬底胶带剥离开始点和所述液体中的衬底胶带剥离结束点以及至所述液体中的所述衬底胶带剥离结束点之外，所述衬底胶带剥离开始点为从所述衬底去除所述衬底胶带的开始点，所述衬底胶带剥离结束点为从所述衬底去除所述衬底胶带的结束点，所述衬底胶带剥离开始点与所述衬底胶带剥离结束点不同”是本领域技术人员在对比文件3给出的技术启示下根据实际的剥离设备和条件有能力选择得到的，无需付出创造性的劳动，且其技术效果是可以合理预期的。
针对区别技术特征（2），对于本领域技术人员而言，为了快速地排液，保持衬底倾斜从而去除衬底上的液体属于本领域的常用技术手段。
由此可知，在对比文件4的基础上结合对比文件5、对比文件3及本领域公知常识得到权利要求7所要保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，因此权利要求7所要保护的技术方案不具备突出的实质性特点，不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.7. 权利要求8是权利要求7的从属权利要求。对比文件5公开了（参见说明书第0073段）：所述液体15为纯水，在此基础上，在实际应用中具体选择去离子水，这属于本领域的常规选择。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
2.8. 权利要求9是权利要求7的从属权利要求。对比文件5公开了（参见说明书第0093-0103段，图13）：将所述剥离层12及衬底10放置在所述水槽57（即浸没槽）中倾斜的传送带55、56（相当于衬底夹具），所述剥离层12及衬底10位于所述传送带55、56上。在此基础上，本领域技术人员人员很容易想到可以设置枢轴以使衬底夹具围绕枢轴旋转，从而可以倾斜放置。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
9. 权利要求10是权利要求7的从属权利要求。对比文件3公开了 (参见说明书第0006-0047、0053-0074段，图1-2、6-8(E))：粘附带状的卷筒材料LS（相当于夹紧胶带）包括使用可移动的辊子135（相当于压辊）以使所述卷筒材料LS延伸，从而使所述卷筒材料LS接触剥离片材PS（相当于衬底胶带）。该技术特征在对比文件3中的作用与其在该权利要求中所起的作用相同，都是采用可移动的压辊以使夹紧胶带与衬底胶带相接触。因此，对比文件3给出了将上述技术特征应用到对比文件4中的启示，即采用可移动的压辊以使夹紧胶带延伸到浸没槽中，从而使夹紧胶带接触衬底胶带。由此可知，在其引用的权利要求7不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
10. 权利要求11是权利要求7的从属权利要求。对比文件5中公开了（参见说明书第0093-0103段，图13）：在所述水槽57中提供所述液体15包括将所述液体15放置在所述水槽57中，将所述剥离层12及衬底10浸没在所述水槽57中的所述液体15中。该技术特征在对比文件5中的作用与其在该权利要求中的作用相同，是在两个剥离的对象之间提供液体以减小或避免静电放电。因此，对比文件5给出了将上述技术特征应用到对比文件4中的启示，而在实际应用中，使衬底完全浸没在浸没槽，属于本领域的常用技术手段。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
11. 权利要求12是权利要求7的从属权利要求。对比文件3公开了 (参见说明书第0006-0047、0053-0074段，图1-2、5-8(E))：将所述带状的卷筒材料LS（相当于夹紧胶带）粘附至所述剥离片材PS（相当于衬底胶带）包括使可移动的辊子135（相当于压辊）延伸以从输出辊132（相当于第一固定压辊）分配所述卷筒材料LS，其中，从所述晶片W（相当于衬底）剥离粘附有所述剥离片材PS的所述卷筒材料LS的步骤包括将所述卷筒材料LS卷动到卷取辊144（相当于第二固定压辊）上，在所述卷动期间，所述可移动的辊子135在所述剥离片材PS上移动。该技术特征在对比文件3中的作用与其在该权利要求中所起的作用相同，都是在卷取期间采用可移动的压辊在衬底胶带上移动，以提供压力从而确保夹紧胶带与衬底胶带之间的粘着。因此，对比文件3给出了将上述技术特征应用到对比文件4中的启示，即采用可移动的压辊延伸到浸没槽中。由此可知，在其引用的权利要求7不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
12. 权利要求13是权利要求7的从属权利要求。对比文件5公开了（参见说明书第0073段）：所述液体15为纯水，本领域技术人员可以确定其具有为7的pH值。该技术特征在对比文件5中的作用与其在该权利要求中的作用相同，都是设置合适的液体。因此，对比文件5给出了将上述技术特征应用到对比文件4中的启示。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
13. 权利要求14是权利要求7的从属权利要求。对比文件4中公开了（参见说明书第0006、0061-0079段，图1-8(E)）：所述晶片W包括：电路面上的凸块B（相当于导电连接件），本领域技术人员可以确定所述晶片W包括电子器件。在此基础上，本领域技术人员根据实际应用需要可以合理设置衬底的类型，如具体包括中介层和集成电路芯片，上述凸块B位于所述中介层的第一侧上，而包括电子器件的集成电路芯片附接至所述中介层的与所述第一侧相对的第二侧，这是本领域的常用技术手段。因此，当其引用的权利要求不具备创造性时，该权利要求不符合专利法第22条第3款关于创造性的规定。
对复审请求人相关意见的答复：
对于复审请求人答复第二次复审通知书时提出的意见，合议组认为：对比文件5已经公开了通过在剥离过程中在衬底和衬底胶带之间提供液体从而避免剥离时的静电放电的本申请的核心技术构思，虽然对比文件5公开的从衬底剥离衬底胶带的具体操作方式（压辊固定，衬底移动）与本申请权利要求中限定的方式（衬底固定，压辊移动）不同，但上述两种不同的操作方式只是固定以及移动的部件选择不同，均属于本领域技术人员容易想到的从衬底上剥离胶带的常规操作方式。虽然在对比文件5公开的“压辊固定，衬底移动”的剥离方式中，其压辊无法获得权利要求中限定的压辊的移动轨迹，但是对比文件3显然给出了采用与本申请中相同的“衬底固定，压辊移动”的剥离方式的技术启示，其压辊也可以获得权利要求中限定的压辊的移动轨迹（参见对比文件3的图8），因此基于实际的剥离设备和剥离条件，当本领域技术人员考虑采用上述“衬底固定，压辊移动”的剥离方式时，其自然可以获得权利要求中限定的压辊的移动轨迹的相关技术特征，这种剥离的具体操作方式的选择无需付出创造性的劳动，其效果也是本领域技术人员可以合理预期的。因此，复审请求人的意见陈述不具有说服力，合议组不予支持。
基于上述事实和理由，本案合议组依法作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年08月20日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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