发明创造名称：多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备
外观设计名称：
决定号：185220
决定日：2019-07-29
委内编号：1F243736
优先权日：2014-08-11
申请（专利）号：201510485222.1
申请日：2015-08-10
复审请求人：亚智科技股份有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：李丽
合议组组长：曹东方
参审员：刘静
国际分类号：C25D21/12,C25D17/10
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：在判断创造性时，首先要将权利要求的技术方案和最接近的现有技术进行对比，如果权利要求的技术方案与最接近的现有技术发明构思相同，二者的区别特征与发明声称要解决的技术问题之间并无关联，也未体现对现有技术的智慧贡献和技术贡献，而现有技术中存在将上述区别特征引入到所述最接近的现有技术中的启示，则该权利要求不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201510485222.1，名称为“多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为亚智科技股份有限公司。本申请的申请日为2015年08月10日，优先权日为2014年08月11日，公开日为2016年03月02日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2017年10月17日发出驳回决定，以本申请的权利要求1-17不具备专利法第22条第3款规定的创造性为由驳回了本申请。驳回决定所依据的文本为：申请日2015年08月10日提交的权利要求第1-17项，说明书第1-8页，说明书附图第1-11页，说明书摘要和摘要附图（下称驳回文本）。驳回文本的权利要求书如下：
“1. 一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：
一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及
一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。
2. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。
3. 如权利要求2所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。
4. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该间距为直线、斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线。
5. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔。
6. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网具有彼此相同的面积。
7. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块为一整流器，该整流器具有多数个电力输出部，各该电力输出部分别电性连接于各该阳极网。
8. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块具有多数个整流器，各该整流器分别电性连接于各该阳极网。
9. 如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体。
10. 如权利要求9所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块。
11. 如权利要求9所述的多阳极控制装置，其特征在于，进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块。
12. 如权利要求11所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。
13. 一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，其特征在于，该电镀设备包括：
一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向；
一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送；
一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及
一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含：一阳极模块和一供电控制模块；
该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；
该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。
14. 如权利要求13所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。
15. 如权利要求14所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。
16. 如权利要求13所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该阳极模块中的任相邻二个该阳极网之间的该间距对应该阳极模块所呈现的线形形状，与该第二方向之间形成有一夹角。
17. 如权利要求16所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该夹角的角度为大于15度且小于75度。”
驳回决定认为：1）独立权利要求1要求保护一种多阳极控制装置。对比文件1（CN103031588A，公开日为2013年04月10日，参见说明书具体实施方式）公开了一种多阳极控制装置和连续电镀设备。权利要求1与对比文件1的区别在于：权利要求1具体限定阳极为阳极网。因此本申请实际解决技术问题是如何提高电解效率和电镀均匀性。对于上述区别，阳极网和阳极板是常见的阳极结构，阳极网允许电解液穿过阳极，还具有较高的比表面积，具有高的电解效率，且对比文件2（CN102373497A，公开日为2012年03月14日，参见说明书具体实施方式）公开了一种可提高电镀均匀性的电镀装置，指出独立控制多个阳极分别产生电流，阳极为不溶性阳极，可为钛网和钽网，由上述内容可知选择阳极网，对本领域技术人员来说是显而易见的，且技术效果可预料。因此，权利要求1相对于对比文件1和对比文件2以及本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。2）从属权利要求2-8的附加技术特征被对比文件1或对比文件2公开或者属于本领域的常规选择，因此从属权利要求2-8不具备专利法第22条第3款规定的创造性。3）从属权利要求9-12的附加技术特征属于本领域的常规选择，因此从属权利要求9-12不具备专利法第22条第3款规定的创造性。4）独立权利要求13要求保护一种具有多阳极控制装置的电镀设备。对比文件1公开了具有多阳极控制装置的电镀设备。权利要求13与对比文件1的区别在于：（1）限定阳极为阳极网；（2）限定输送结构为输送滚轮。因此本发明实际解决技术问题是如何提高电解效率和电镀均匀性。对于区别（1），参见对权利要求1的相关评述。对于区别（2），对比文件1已经公开了输送机构，未限定其具体结构，但是，输送链条和输送滚轮等，都是实现工件运输的常见结构，因此，选择输送滚轮组输送工件，对本领域技术人员来说是容易想到并应用的，且技术效果可预料。因此，权利要求13相对于对比文件1和对比文件2以及本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。5）从属权利要求14-16的附加技术特征被对比文件1公开，从属权利要求17的附加技术特征属于本领域的常规选择，因此从属权利要求14-17不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人亚智科技股份有限公司（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年01月30日向国家知识产权局提出了复审请求，同时提交了权利要求书的全文替换页（共13项），相对于驳回文本，复审请求人将从属权利要求2-3的特征写入独立权利要求1，从属权利要求14-15的特征写入独立权利要求13，相应地删除了上述从属权利要求，并适应性修改所有权利要求编号。修改后的权利要求1和11如下：
“1. 一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：
一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及
一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；
其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排；
其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。
11. 一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，其特征在于，该电镀设备包括：
一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向；
一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送；
一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及
一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含：一阳极模块和一供电控制模块；
该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；
该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；
其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排；
其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。”
复审请求人主张：（1）对比文件1没有公开权利要求1的以下技术特征：特征1、搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边；特征2、阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；特征3、以及供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网；特征4、该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；特征5、其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。（2）对比文件1和2也没有给出技术启示，也不是公知常识。（3）权利要求1解决的技术问题是：如何简单方便地设计一种装置，通过使各阳极网分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，来解决对基板进行均匀电镀的技术问题。对比文件1基板输送方向与电压分布方向为同方向平行，本申请的阳极网电压分布方向与基板输送方向垂直。权利要求1的技术方案具有显著进步，经由供电控制模块的分别微调控制，使距离第一边愈远的阳极网产生的电流密度愈大。如此与基板的电流密度大小彼此互补，从而能在基板上进行均匀电镀。（4）复审请求书中记载了以下文字：“请参见本发明的说明书具体实施例[0076]-[0077]段的记载，由于阳极网11的边际效应，使得阳极网11边际的电流密度反而会增加，……”（参见复审请求书正文第5页第5-6行）。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年03月02日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年01月31日向复审请求人发出复审通知书，指出：1）独立权利要求1要求保护一种多阳极控制装置。对比文件1（参见说明书第[0002]-[0003]、[0008]、[0012]、[0041]-[0066]段，图1-6）公开了一种多阳极控制装置和连续电镀装置。通过对比可知，本申请和对比文件1属于相同的技术领域，涉及的技术问题相同，采用了相同的关键技术手段，所达到的技术效果也基本相同，可见，本申请与对比文件1具有相同的发明构思。权利要求1与对比文件1的具体区别仅在于：权利要求1限定阳极具体结构为阳极网，而对比文件1未记载阳极的具体结构为阳极网。但是经过核实该区别与本申请声称要解决的技术问题之间并无关联。同时根据对比文件2给出的教导，很容易想到使用阳极网作为阳极使用。因此权利要求1不具备创造性。2）从属权利要求2和4的附加技术特征被对比文件1和对比文件2公开或者属于本领域的常规选择，因此从属权利要求2和4不具备创造性。3）对于从属权利要求3和7-10，在对比文件1和2公开内容的基础上，本领域技术人员容易想到做出相应的设置，因此从属权利要求3和7-10不具备创造性。4）从属权利要求5-6的附加技术特征被对比文件1和对比文件2公开或者属于本领域的公知常识，因此从属权利要求5-6不具备创造性。5）独立权利要求11要求保护一种具有多阳极控制装置的电镀设备。对比文件1（参见说明书第[0002]-[0003]、[0008]、[0012]、[0041]-[0066]段，图1-6）公开了一种连续电镀装置。具体参见上述对权利要求1的评述可知本申请与对比文件1具有相同的发明构思。权利要求11与对比文件1的具体区别仅在于：权利要求11限定该电镀设备中包括一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间，同时阳极为阳极网，对比文件1没有明确限定阳极和输送设备的结构。但是经过核实上述区别与本申请声称要解决的技术问题之间并无关联。对于连续电镀装置——具体如电镀自动生产线，自动生产线的传动方式有链条传动或滚轮传动，据此可实现对工件的连续输送（参见公知常识证据1：《电镀工技能提高必读》，潘继民主编，第327-330页，机械工业出版社，2011年8月第1版第1次印刷）。在明确需要输送结构的情况下，本领域技术人员容易想到借鉴现有技术中已知的输送结构，通过常规选择确定合适的输送部件及其位置。根据对比文件2给出的教导，很容易想到使用阳极网作为阳极使用。因此权利要求11不具备创造性。6）对于从属权利要求12-13，在对比文件1和2公开内容的基础上，本领域技术人员容易想到做出相应的调整，因此从属权利要求12-13不具备创造性。
复审请求人于2019年03月15日提交了意见陈述书，同时提交了权利要求书的全文替换页（共6项），相对于复审通知书针对的文本，复审请求人将从属权利要求2-4和7-10的特征写入独立权利要求1，从属权利要求3和7-10的特征写入独立权利要求11，相应地删除了上述从属权利要求，并适应性地修改所有权利要求编号。修改后的权利要求书如下：
“1. 一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：
一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及
一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；
其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比;
其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排；
其中该间距为直线、斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线；
其中各该阳极网具有彼此相同的面积；
进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体；
其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块；
进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块；
其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。
2.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块为一整流器，该整流器具有多数个电力输出部，各该电力输出部分别电性连接于各该阳极网。
3.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块具有多数个整流器，各该整流器分别电性连接于各该阳极网。
4.一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，其特征在于，该电镀设备包括：
一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向；
一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送；
一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及
一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含：一阳极模块和一供电控制模块；
该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；
该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；
其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比;
其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排；
进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体；
其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块；
进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块；
其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。
5.如权利要求4所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该阳极模块中的任相邻二个该阳极网之间的该间距对应该阳极模块所呈现的线形形状，与该第二方向之间形成有一夹角。
6.如权利要求5所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该夹角的角度为大于15度且小于75度。”
复审请求人主张：1）权利要求1包括11项技术特征，这些技术特征均未被对比文件1完全披露。2）权利要求1解决的技术问题是：如何简单方便地设计一种装置，通过使各阳极网分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，来解决对基板进行均匀电镀的技术问题。对比文件1基板输送方向与电压分布方向为同方向平行，本申请的阳极网电压分布方向与基板输送方向垂直。权利要求1的技术方案具有显著进步，经由供电控制模块的分别微调控制，使距离第一边愈远的阳极网产生的电流密度愈大。如此与基板的电流密度大小彼此互补，从而能在基板上进行均匀电镀。3）复审请求书中记载了以下文字：“请参见本发明的说明书具体实施例[0076]-[0077]段的记载，由于阳极网11的边际效应，使得阳极网11边际的电流密度反而会增加，……”（参见复审请求书正文第5页第5-6行）。因此权利要求1-6具备创造性。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查文本的认定
复审请求人于2019年03月15日提交了经过修改的权利要求书全文替换页（共6项），经核实，其修改符合专利法实施细则第61条第1款和专利法第33条的规定。因此本复审决定所针对的文本为：复审请求人于2019年03月15日提交的权利要求第1-6项，申请日2015年08月10日提交的说明书第1-8页，说明书附图第1-11页，说明书摘要和摘要附图。
2、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
在判断创造性时，首先要将权利要求的技术方案和最接近的现有技术进行对比，如果权利要求的技术方案与最接近的现有技术发明构思相同，二者的区别特征与发明声称要解决的技术问题之间并无关联，也未体现对现有技术的智慧贡献和技术贡献，而现有技术中存在将上述区别特征引入到所述最接近的现有技术中的启示，则该权利要求不具备创造性。
1）就本申请而言，权利要求1要求保护一种多阳极控制装置（具体参见案由部分）。
本申请说明书记载：“由于阴极电仅电性连接于基板的一侧边，导致基板愈远离夹具所夹的位置，所获得的阴极电愈小。因此而在电镀时，让基板的电镀厚度不均匀”（参见本申请说明书第[0002]-[0003]段）；“本发明的目的在于提供一种具有多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀……一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，该多阳极控制装置包括：阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度；其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排；其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比”（参见本申请说明书第[0004]-[0007]段）；“相较于先前技术，本发明具有以下功效：能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀”（参见本申请说明书第[0022]段）。
可见，本申请的发明构思在于：针对基板上越远离夹具所夹位置所获得的阴极电越小导致电镀时基板的电镀厚度不均匀的问题，提出了多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，其采用供电控制模块对各个阳极网分别供电，以在各个阳极网分别产生所需的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，关键技术手段是各该阳极网所产生的电流密度的大小与各该阳极网距离第一边的长度成正比，从而对基板进行均匀电镀。
合议组查明，对比文件1公开了一种多阳极控制装置和连续电镀装置（参见说明书第[0002]-[0003]、[0008]、[0012]、[0041]-[0066]段，图1-6），针对每个工件而设定的电流值进行连续电镀，能够以与所设定的电流密度相应的膜厚在各工件形成均匀且高品质的电镀覆膜。本发明提供不使用多个分割阴极轨道地以与设定电流值相应的膜厚在各工件形成电镀覆膜的连续电镀装置。具体如图1所示，该连续电镀装置具有至少一个电镀槽10，能够沿工件W的输送方向A联接多个电镀槽单元10-1~10-3；在电镀槽10内与工件W的输送路径对置地配置的分割阳极电极40（40-1~40-4），如图1所示阳极40-1、40-2等沿工件W的输送方向A彼此间隔并排，其间距呈直线型，阳极尺寸基本相同；如图2所示，电镀槽10容纳电镀液11和沿图1所示的输送方向A连续输送的多个工件W，在电镀槽10的上方，设有经由保持一个工件W的输送夹具20而与工件W电连接的共同阴极电极30，工件W经由输送夹具20而与共同阴极电极30连接即可，在此，与共同阴极电极30连接的多个工件W，如图3（A）（B）所示，相邻的工件W彼此拥有微小的间隙G地连续输送；具有在电镀槽10内与工件W的输送路径对置地配置的分割阳极电极40（40-1~40-4）。分割阳极电极40（40-1~40-4）能够具有配置于输送路径的一侧方的第1电极40A（40A-1~40A-4）和配置于另一侧方的第2电极40B（40B-1~40B-4）；设有多个电源50（50-1~50-4），该多个电源50（50-1~50-4）与分割阳极电极40（40-1~40-4）的各一个和共同阴极电极30连接，分别独立地控制供给至分割阳极电极40（40-1~40-4）的电流。将与第1电极40A（40A-1~40A-4）连接的电源称为第1电源50A（50A-1~50A-4），将与第2电极40B（40B-1~40B-4）连接的电源称为第2电源50B（50B-1~50B-4）。第1电源50A（50A-1~50A-4）和第2电源50B（50B-1~50B-4）的各个能够独立地设定电流值；在这种情况下，在图3（A）的分割阳极电极40A-2仅与1个工件对置时和图3（B）所示的分割阳极电极40A-2与2个工件W对置时，与分割阳极电极40A-2对置的工件W的总电解面积大致相等；因而，在多个工件W经由间隙G而连续输送的期间，将分割阳极电极40恒定电流控制在设定电流值（A/dm2）即可。即，能够将通过电镀槽10的多个工件W看作一个连续的工件，因为，在全部的分割阳极电极40的各个，即使工件W移动，电解面积实质上也不变化；如图5（A）所示，在同一批的最前的工件W1与分割阳极电极40A-1~40A-4的各一个对置时，电镀对象的其他工件不存在于工件W1的下游。或者，也可以在工件W1的下游设置上述的间隙G并设置只用于避免向工件端部的电场集中的虚设工件。在这种情况下，根据分割阳极电极40A和最前的工件W1对置的电解面积，电源50A-1~50A-4的对应的各一个针对分割阳极电极40A-1~40A-4的各一个而对电流值进行渐增控制（参照图5（B））。这样，能够使工件W1的电流密度一定。有时候在工件与电极（阳极板）之间设有将电镀液喷出至工件的喷嘴。
可见，对比文件1的发明构思在于：针对现有技术中如何在连续电镀时形成均匀电镀覆膜的技术问题，采用一个共同阴极电极经由分别保持多个工件的多个输送夹具而与多个工件电连接，多个分割阳极电极，在电镀槽内与输送路径对置配置；以及多个电源，与多个分割阳极电极的各一个和共同阴极电极连接，分别独立地控制供给至多个分割阳极电极的电流，关键技术手段是通过分别供电对平行于基板输送方向上依次排列的多个分割阳极电极的电流值进行渐增控制，使得工件的电流密度一定，获得了均匀的电镀覆膜。
通过对比可知，本申请和对比文件1均涉及电镀技术领域，两者的技术方案均是针对电镀均匀性的技术问题，均采用在各个阳极上分别产生所需的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补的方式，对比文件1的关键技术手段是通过多个电源分别供电对平行于基板输送方向上依次排列的多个分割阳极电极的电流值进行渐增控制，这种情况属于通常认为的两者成正比关系，即采用了相同的关键技术手段，从而对基板实现均匀电镀，两者所达到的技术效果也基本相同，可见，本申请与对比文件1具有相同的发明构思。具体到权利要求1的技术方案与对比文件1公开的技术方案，二者的区别仅在于：权利要求1限定阳极具体结构为阳极网，阳极模块配设于一绝缘架体，具体限定了该绝缘架体的结构，还限定包括一电镀液输送结构，具体限定该电镀液输送结构中分流管和输送管的位置和结构；而对比文件1没有记载阳极的具体结构为阳极网，没有公开绝缘架体及其结构，也没有公开具体的电镀液输送结构，仅说明工件与阳极板之间设有将电镀液喷出至工件的喷嘴。
合议组查明，阳极网电流密度与阴极电彼此互补是由供电控制模块分别供电实现，本申请说明书中没有记载阳极网、绝缘框架、电镀液输送结构的具体结构对该技术方案产生了何种作用或影响，根据本申请的实施例的结果，也没有取得预料不到的技术效果。也即，尽管权利要求1与对比文件1存在区别，但是该区别与本申请声称要解决的技术问题之间并无关联。从而判断权利要求1是否具备创造性的焦点即在于本领域技术人员是否能够获得技术启示，将阳极网、绝缘框架和电镀液输送结构应用于对比文件1的电镀装置中。
对于上述区别，对比文件2（参见说明书第[0002]-[0005]和[0041]-[0061]段，图1-5）公开了一种电镀装置，为了避免待镀基板表面的电流密度差异导致镀层厚度不均，本发明提出一种电镀装置，该电镀装置可以提高电镀的均匀性；所述电镀装置10包括一个电镀槽11、一个阴极固定结构12、多个阳极13和一个电压控制器14；所述多个阳极13均为不溶性阳极，可为钛网或钽网。本实施例中，所述多个阳极13依次排列，且位于同一平面内如图1所示阳极间距呈直线型，阳极13的形状大小基本相同。也就是说对比文件2公开了电镀装置中使用网状阳极作为阳极结构的技术启示。根据对比文件2给出的教导，很容易想到使用阳极网作为阳极使用。通常阳极网的机械强度较差，并且在使用中为了实现多个阳极网电流密度的单独控制，应当避免相邻阳极网之间发生直接接触。对比文件2（参见说明书第 [0041]-[0048]段）还公开了电镀装置中的阴极固定结构包括一个安装架，所述安装架120可为方形框体，其为绝缘材质。此外，支撑框架常见的结构包括框架和支撑肋条。本领域技术人员能够借鉴对比文件2公开的阴极固定结构以及其他支撑框架来具体设计阳极网的支撑框架和材质。此外，对比文件1（参见说明书第 [0060]-[0066]段）还公开了：有时候在工件与电极（阳极板）之间设有将电镀液喷出至工件的喷嘴；在现有技术中，如图8所示，在工件W与阳极板200之间，需要至少喷嘴100的直径以上的空间；在本实施方式中，如图9所示，能够是，电镀槽10，在与多个工件W的各一个对置的位置，沿输送方向A设有朝向工件W喷射电镀液的多个喷嘴100，将多个分割阳极电极40中的至少各一个分割阳极电极40配置于多个喷嘴100中的相邻的各2个喷嘴100之间；由此，分割阳极电极40的至少一部分能够进入相邻的各2个喷嘴100之间。据此，本领域技术人员能够想到在阳极一侧设置电镀液喷嘴即电镀液输出孔，同时其位置可以利用阳极彼此间隔时形成的空隙。而阳极网本身的结构导致阳极表面上存在孔，本领域技术人员容易想到利用阳极网本身拥有的空隙来设置电镀液输出孔。显然配合电镀液喷嘴工作的部件应当包括输送管和分流管，各个部件应当安装在电镀槽的合适位置。
因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上，结合对比文件1、对比文件2中给出的技术启示，很容易想到使用阳极网以及具体的绝缘框架和电镀液输送结构，从而得到权利要求1要求保护的多阳极控制装置。这种结合是显而易见的。因此，权利要求1的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
另外，对于“间距为斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线”的技术方案。对比文件1（参见说明书第[0048]段和图3）还公开了在图3（A）的分割阳极电极40A-2仅与1个工件对置时和图3（B）所示的分割阳极电极40A-2与2个工件W对置时，与分割阳极电极40A-2对置的工件W的总电解面积大致相等。对比文件2（参见说明书第[0049]段）也公开了优选每一阳极13的正对所述基板的表面的形状大小与该阳极13相对应的待镀区的形状大小大致相同。根据待镀基板的形状，本领域技术人员能够确定阳极的形状，当阳极按照对比文件1和/或2公开的方式即彼此间隔并排设置时，阳极之间的间距形状必然相应的发生改变，可以呈现直线、斜线、弯折线或圆弧线等形状。因此，权利要求1的技术方案不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2）权利要求2-3分别对权利要求1所述供电控制模块作了进一步的限定。首先，整流器是常用的电镀电源设备（参见公知常识证据1：第22页）。其次，对比文件1已经公开了（参见说明书第[0045]段和图1）多个电源分别独立地控制供给至分割阳极电极40（40-1~40-4）的电流。对比文件2还公开了（参见说明书第[0058]段和图5）：如图5所示，一个电压控制器14具有多个电力输出部，各个电力输出部分别电连接到各个阳极13上，实现每个阳极13的通电控制。据此，本领域技术人员能够想到使用整流器作为电源，通过多个电源控制多个阳极或一个电源控制多个阳极的方式实现供电。因此在其引用的权利要求1不具备创造性的情况下，从属权利要求2-3也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3）独立权利要求4要求保护一种具有多阳极控制装置的电镀设备。对比文件1公开了一种连续电镀装置（参见说明书第[0002]-[0003]、[0008]、[0012]、[0041]-[0066]段，图1-6）。具体参见上述对权利要求1的评述可知，本申请和对比文件1均涉及电镀技术领域，两者的技术方案均是针对电镀均匀性的技术问题，均采用在各个阳极上分别产生所需的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补的方式，采用了相同的关键技术手段，从而对基板实现均匀电镀，两者所达到的技术效果也基本相同，可见，本申请与对比文件1具有相同的发明构思。具体到权利要求4的技术方案与对比文件1公开的技术方案，二者的区别仅在于：权利要求4限定该电镀设备中包括一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间，同时阳极为阳极网，阳极模块配设于一绝缘架体，具体限定了该绝缘架体的结构，还限定包括一电镀液输送结构，具体限定该电镀液输送结构中分流管和输送管的位置和结构；而对比文件1没有明确限定阳极和输送设备的结构，没有公开绝缘架体及其结构，也没有公开具体的电镀液输送结构，仅说明工件与阳极板之间设有将电镀液喷出至工件的喷嘴。
合议组查明，阳极网电流密度与阴极电彼此互补是由供电控制模块分别供电实现，本申请说明书中没有记载输送设备、阳极网、绝缘框架、电镀液输送结构的结构对该技术方案产生了何种作用或影响，根据本申请的实施例的结果，也没有取得预料不到的技术效果。也即，尽管权利要求4与对比文件1存在区别，但是该区别与本申请声称要解决的技术问题之间并无关联。从而判断权利要求4是否具备创造性的焦点即在于本领域技术人员是否能够获得技术启示，将输送滚轮组、阳极网、绝缘框架和电镀液输送结构应用于对比文件1的电镀装置中。
对比文件1公开了输送夹具，但是没有公开具体的结构。对于连续电镀装置——具体如电镀自动生产线，自动生产线的传动方式有链条传动或滚轮传动，据此可实现对工件的连续输送（参见公知常识证据1：第327-330页）。在明确需要输送结构的情况下，本领域技术人员容易想到借鉴现有技术中已知的输送结构，通过常规选择确定合适的输送部件及其位置。
对比文件2公开了一种电镀装置（参见说明书第[0002]-[0005]和[0041]-[0061]段，图1-5），具体参见上述对权利要求1的评述。也就是说对比文件2公开了电镀装置中使用网状阳极作为阳极结构的技术启示。根据对比文件2给出的教导，很容易想到使用阳极网作为阳极使用。通常阳极网的机械强度较差，并且在使用中为了实现多个阳极网电流密度的单独控制，应当避免相邻阳极网之间发生直接接触。对比文件2（参见说明书第 [0041]-[0048]段）还公开了电镀装置中的阴极固定结构包括一个安装架，所述安装架120可为方形框体，其为绝缘材质。此外，支撑框架常见的结构包括框架和支撑肋条。本领域技术人员能够借鉴对比文件2公开的阴极固定结构以及其他支撑框架来具体设计阳极网的支撑框架和材质。此外，对比文件1（参见说明书第 [0060]-[0066]段）还公开了：有时候在工件与电极（阳极板）之间设有将电镀液喷出至工件的喷嘴……分割阳极电极40的至少一部分能够进入相邻的各2个喷嘴100之间。据此，本领域技术人员能够想到在阳极一侧设置电镀液喷嘴即电镀液输出孔，同时其位置可以利用阳极彼此间隔时形成的空隙。而阳极网本身的结构导致阳极表面上存在孔，本领域技术人员容易想到利用阳极网本身拥有的空隙来设置电镀液输出孔。显然配合电镀液喷嘴工作的部件应当包括输送管和分流管，各个部件应当安装在电镀槽的合适位置。
因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上，结合对比文件1、对比文件2和公知常识中给出的技术启示，很容易想到使用网状阳极、滚轮输送以及具体的绝缘框架和电镀液输送结构，从而得到权利要求4要求保护的电镀设备。这种结合是显而易见的。因此，权利要求4不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
4）权利要求5-6分别对阳极网作了进一步的限定。对比文件1（参见说明书第[0044]段，图1）已经具体公开了在电镀槽10内与工件W的输送路径对置地配置的分割阳极电极40（40-1~40-4），如图1所示阳极40-1、40-2等沿工件W的输送方向A彼此间隔并排，其间距呈直线型，与输送方向A之间形成有一个夹角。此外，对比文件1（参见说明书第[0048]段和图3）还公开了在图3（A）的分割阳极电极40A-2仅与1个工件对置时和图3（B）所示的分割阳极电极40A-2与2个工件W对置时，与分割阳极电极40A-2对置的工件W的总电解面积大致相等。对比文件2（参见说明书第[0049]段）公开了优选每一阳极13的正对所述基板的表面的形状大小与该阳极13相对应的待镀区的形状大小大致相同。根据待镀基板的形状，本领域技术人员能够确定阳极的形状大小，当阳极按照对比文件1和2公开的方式即彼此间隔并排设置时，阳极之间的间距形状必然相应的发生改变，相应的夹角角度也发生改变，本领域技术人员通过常规调整即可确定合适的夹角角度以保证阴阳极形状大小的合理配置，实现均匀电镀。因此在其引用的权利要求4不具备创造性的情况下，从属权利要求5-6也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、对复审请求人相关意见的评述
对于复审请求人答复复审通知书时陈述的意见（具体参见案由部分）。
合议组认为：
（1）关于特征1，对比文件1（参见说明书第[0043]和[0046]段，图2）表明共同阴极电极30通过输送夹具20使得工件W带电，三者之间都是电性连接的关系，而本申请并未限定阴极连接件的具体结构，因此输送夹具20可以对应于阴极连接件，其电性连接于基板的一边，即特征1已经被对比文件1公开了；关于特征2，对比文件1（参见说明书第[0043]-[0044]段，图1）表明多个阳极沿输送方向A彼此并排且相邻阳极之间相隔一间距，但是没有公开阳极具体结构；关于特征3-4，对比文件1（参见说明书第[0045]段）表明设置多个电源对多个阳极实现单独供电，分别产生所需的电流密度（特征3-4）；关于特征5，对比文件1（参见说明书第[0052]段，图5）表明通过多个电源分别供电对平行于基板输送方向上依次排列的多个阳极的电流值进行渐增控制，各个阳极的电流密度随着距离第一个阳极的长度增大而逐渐增大，这种情况属于通常认为的两者成正比关系，同时工件W1的电流密度一定能够实现均匀电镀；关于特征6-7，对比文件1（参见说明书第[0044]段，图1）已经具体公开了在电镀槽10内与工件W的输送路径对置地配置的分割阳极电极40（40-1~40-4），如图1所示阳极40-1、40-2等沿工件W的输送方向A彼此间隔并排，其间距呈直线型，阳极尺寸基本相同；关于特征8-11，参见对权利要求1的评述意见，对比文件1和本申请的发明构思相同，对比文件1的电流控制方式和技术效果与本申请均相同，根据对比文件1和2给出的教导，很容易想到使用阳极网以及具体的绝缘框架和电镀液输送结构，因此权利要求1不具备创造性。
（2）对于“本发明的阳极网电压分布方向与基板输送方向垂直”这一意见，权利要求1-6和本申请说明书中均没有相关记载，从权利要求1-6限定的内容看也无法得出“垂直”的结论，因此不能证实权利要求1-6的技术方案具备创造性。
（3）复审请求书中记载了“请参见本发明的说明书具体实施例[0076]-[0077]段的记载，由于阳极网11的边际效应……”，但是本申请全文共66段，全文没有记载“边际效应”，因此不能证实权利要求1-6的技术方案具备创造性。综上，合议组对于复审请求人的相关意见不予支持。
基于上述事实和理由，合议组作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2017年10月17日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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