发明创造名称：一种残余应力可控的复合柔性衬底及其制备工艺与应用
外观设计名称：
决定号：183656
决定日：2019-07-11
委内编号：1F268727
优先权日：
申请（专利）号：201610624690.7
申请日：2016-07-29
复审请求人：华南理工大学
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：陈冬冰
合议组组长：赵致民
参审员：颜庙青
国际分类号：H01L51/52,H01L51/56
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，部分区别技术特征属于本领域技术人员在该作为最接近的现有技术的对比文件的基础上容易获得的，其余区别技术特征被其他对比文件公开且作用相同，则该项权利要求的技术方案相对于所述对比文件和本领域公知常识的结合不具有突出的实质性特点，从而不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201610624690.7，发明名称为“一种残余应力可控的复合柔性衬底及其制备工艺与应用”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请人为华南理工大学，申请日为2016年07月29日，公开日为2016年12月14日。
经实质审查，国家知识产权局实质审查部门于2018年08月30日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-4不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为：申请日2016年07月29日提交的说明书第1-7页、说明书附图第1页、说明书摘要以及2018年05月21日提交的权利要求第1-4项。驳回决定所针对的权利要求书内容如下：
“1. 一种残余应力可控的复合柔性衬底，其特征在于：包括依次层叠的底层柔性衬底、应力调控层和顶层柔性衬底；
所述应力调控层为具有压应力的应力调节层；
所述应力调控层的材质为透明金属氧化物；所述透明金属氧化物为(In2O3)x(MO)y(ZnO)z,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,且x y z＝1，M为镓、锡、铝、镁、钼、钛、镍、镁、锆或镧系稀土元素中的一种或两种以上的任意组合；
所述底层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；
所述顶层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；
所述应力调控层的厚度为10nm-1000nm，底层柔性衬底的厚度为5um-3000um,顶层柔性衬底的厚度为5um-3000um。
2. 根据权利要求1所述残余应力可控的复合柔性衬底的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：
(1)在载体基板上制备底层柔性衬底；
(2)然后在底层柔性衬底上制备应力调控层；
(3)再在应力调控层上制备顶层柔性衬底；
(4)将上述衬底和调控层从载体基板上剥离，得到残余应力可控的复合柔性衬底。
3. 根据权利要求2所述残余应力可控的复合柔性衬底的制备工艺，其特征在于：所述应力调控层的制作方法为等离子增强化学气相沉积法、磁控溅射法、原子层沉积法、蒸镀法、溶胶凝胶法、溶液法打印中的至少一种。
4. 根据权利要求1所述残余应力可控的复合柔性衬底的应用，其特征在于：所述残余应力可控的复合柔性衬底用于OLED柔性显示器件。”
驳回决定引用如下对比文件：
对比文件1：CN101997087A，公开日为2011年03月30日；
对比文件2：CN105336870A，公开日为2016年02月17日。
驳回决定指出：独立权利要求1与对比文件1的区别技术特征是：（1）所述应力调控层的材质为透明金属氧化物，所述透明金属氧化物为(In2O3)x(MO)y(ZnO)z,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,且x y z＝1，M为镓、锡、铝、镁、钼、钛、镍、镁、锆或镧系稀土元素中的一种或两种以上的任意组合；（2）所述底层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；所述顶层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮，底层柔性衬底的厚度为5um-3000um,顶层柔性衬底的厚度为5um-3000um。区别技术特征（1）是本领域技术人员在对比文件1公开的内容基础上容易想到的。区别技术特征（2）的部分材料以及厚度特征被对比文件2公开，且作用相同，具有技术启示，其余材料为本领域的常用材料。因此，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域的公知常识获得权利要求1是显而易见的，权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-3的附加技术特征或被对比文件1、2公开，或属于本领域的公知常识，因此，从属权利要求2-3不具备专利法第22条第3款规定的创造性。权利要求4请求保护根据权利要求1所述残余应力可控的复合柔性衬底的应用，对比文件1公开了残余应力可控的复合柔性衬底用于柔性电子器件，在其引用的权利要求1不具备创造性时，权利要求4也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年12月14日向国家知识产权局提出了复审请求，并提交了经过修改的权利要求书，共3项权利要求。所作的修改为：在驳回决定所针对的权利要求书的基础上，将权利要求1的主题名称修改为：“一种残余应力可控的复合柔性衬底在OLED柔性显示器件中的应用”，删除权利要求1中的透明金属氧化物中的M为铝的技术方案，将技术特征“所述底层柔性衬底的制备和顶层柔性衬底的制备，采用以下技术手段：包括旋涂、刮涂、喷涂、浸涂、丝网印刷、凹版印刷、转印、喷墨打印。”补入权利要求2的步骤之后，删除权利要求4，并适应性的修改了权利要求2和3的引用部分。
复审请求人认为：（1）本申请的应力调控层为透明金属氧化物；对比文件1是氧化铝、氧化硅、氮化硅等；本申请的透明金属氧化物相对于氧化铝、氧化硅、氮化硅，具有对水氧分子较为敏感的特点，金属键易于与这些分子产生较强的化学键作用，即金属氧化物更容易和底层柔性衬底和顶层柔性衬底的聚酰亚胺材料中的氧键等化学键合、强化了粘附性。复合衬底各层不易脱落。尽管对比文件2公开了底层和顶层柔性衬底均可采用聚酰亚胺，但对比文件2没有给出聚酰亚胺薄膜可以与应力调控层结合以对柔性衬底进行应力调控的技术启示。（2）本申请的柔性衬底可以通过热学的方法调节应力调控层的应力大小，实施例1中，可以通过热学或光学的方式对残余应力进行调整，由对比文件1不能得到该技术启示。（3）底层柔性衬底是整个柔性衬底的一部分，通过旋涂、刮涂等得到，都是配成溶液的，而对比文件1是通过热蒸镀方式得到的，在与玻璃分离时是通过切割方式分离，不完整保留，本申请是机械解离，底层聚酰亚胺完全保留，无损解离，损伤更小。
复审请求时新修改的权利要求书内容如下：
“1. 一种残余应力可控的复合柔性衬底在OLED柔性显示器件中的应用，其特征在于：所述残余应力可控的复合柔性衬底包括依次层叠的底层柔性衬底、应力调控层和顶层柔性衬底；
所述应力调控层为具有压应力的应力调节层；
所述应力调控层的材质为透明金属氧化物；所述透明金属氧化物为(In2O3)x(MO)y(ZnO)z,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,且x y z＝1，M为镓、锡、镁、钼、钛、镍、镁、锆或镧系稀土元素中的一种或两种以上的任意组合；
所述底层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；
所述顶层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；
所述应力调控层的厚度为10nm-1000nm，底层柔性衬底的厚度为5um-3000um,顶层柔性衬底的厚度为5um-3000um。
2. 根据权利要求1所述的应用，其特征在于：所述残余应力可控的复合柔性衬底的制备工艺，包括以下步骤：
(1)在载体基板上制备底层柔性衬底；
(2)然后在底层柔性衬底上制备应力调控层；
(3)再在应力调控层上制备顶层柔性衬底；
(4)将上述衬底和调控层从载体基板上剥离，得到残余应力可控的复合柔性衬底；
所述底层柔性衬底的制备和顶层柔性衬底的制备，采用以下技术手段：包括旋涂、刮涂、喷涂、浸涂、丝网印刷、凹版印刷、转印、喷墨打印。
3. 根据权利要求2所述的应用，其特征在于：所述应力调控层的制作方法为等离子增强化学气相沉积法、磁控溅射法、原子层沉积法、蒸镀法、溶胶凝胶法、溶液法打印中的至少一种。”
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年12月19日依法受理了该复审请求，并将其转送至审查部门进行前置审查。
实质审查部门在前置审查意见书中认为：（1）对比文件1中的底层柔性衬底材料是为了优化制作工艺，材料为聚酰亚胺的软性基板16与玻璃密着甚佳，使成型于玻璃上的基板在制程中不会脱落，而材料为聚对二甲苯或环烯共聚物的第一材料层14与玻璃密着不良，故通过图2C中切除点(C，C’) 切除部分软性基板16与支撑载体12后，可轻易将器件（图2D中三明治结构的复合柔性衬底）与玻璃分离；至于本申请中不考虑剥离的难易程度下选择例如上下基板均为聚酰亚胺的情况，实质是本领域常用的技术手段，也被对比文件2所公开；（2）复审请求人认为其它透明金属氧化物比“氧化铝”更优，在本申请说明书中并未记载，本申请给出的各种透明金属氧化物材料，均是本领域的常用材料；（3）“可通过热学的方法调节应力调控层的应力大小”并没有限定在权利要求中；即使其限定到方法权利要求中，对比文件1说明书[0030]-[0047]段各实施例已经显示了可通过改变应力调节层的厚度来改变该层应力的情况进而改变翘曲状态；利用加热和紫外光照射的方式来改变应力也是本领域技术人员的常用技术手段；(4）对比文件1（说明书第[0026]段）记载了“以例如涂布或蒸镀的方式覆盖第一材料层14与支撑载体12上”，对比文件1中只是使用粘附力更小的材料后，在切割后更易实现与支撑基板的机械分离，得到完整的衬底。因而坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年04月17日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1-3不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见陈述，合议组认为：（1）虽然对比文件1的第一材料层14与本申请的底层柔性衬底不同，但是对比文件2公开了柔性复合衬底的底层柔性材料和顶层柔性材料均可为聚酰亚胺薄膜，并且公开了聚酰亚胺薄膜具有优良的热性能、机械性能、电性能以及尺寸稳定性，有良好成膜性、高光学透明性和低的吸湿率，具有良好的平坦化性能和粘附性能，为了提高底层柔性衬底与其他层间的粘附性能，本领域技术人员有动机采用对比文件2中的聚酰亚胺来替换对比文件1中的底层柔性材料。其次，复审请求人所述的“本申请的透明金属氧化物相对于氧化铝、氧化硅、氮化硅，具有对水氧分子较为敏感的特点，金属键易于与这些分子产生较强的化学键作用，即金属氧化物更容易和底层柔性衬底和顶层柔性衬底的聚酰亚胺材料中的氧键等化学键合、强化了粘附性”在原说明书中没有记载，也并没有证据表明本申请的透明金属氧化物相对于氧化铝具有上述优点。（2）通过热学或光学方式对残余应力进行调整并未记载在权利要求1中，即使复审请求人将其加入到权利要求1中，权利要求1也不具备创造性。因为通过加热或激光照射的方式对应力膜进行应力调整是本领域的公知常识。（3）对比文件1公开了以例如涂布或蒸镀的方式覆盖第一材料层14于支撑载体12上。涂布的方式已被对比文件1公开，显然第一材料层14也为溶液形式。权利要求1仅仅限定了“将上述衬底和调控层从载体基板上剥离”，至于如何剥离，衬底是否有损伤无法由说明书记载的内容得出。而对比文件1恰恰公开了“离型材料与玻璃密着性不良，故于完成所有器件制程及切除多余的基材后，可轻易将器件与玻璃分离”（参见说明书第[0009]段），即对比文件1已经公开了“将上述衬底和调控层从载体基板上剥离”的技术特征，这并不构成权利要求1与对比文件1的区别技术特征。
复审请求人于2019年05月10日提交了意见陈述书，未修改申请文件。复审请求人认为：权利要求1与对比文件1的主要区别在于：（1）本申请保护的复合柔性衬底与对比文件1公开的复合软性衬底不同。本申请的底层柔性衬底与对比文件1不同；对比文件2虽然公开了底层柔性衬底和顶层柔性衬底均可为聚酰亚胺薄膜，但是对比文件2没有给出聚酰亚胺与应力调控层结合实现柔性衬底应力调控的技术启示。（2）本申请的应力调控层材质与对比文件1不同，本申请的应力调控层去掉了Al，本申请的透明金属氧化物相对于对比文件1的氧化铝、氧化硅、氮化硅，具有对水氧分子敏感的特点，其金属键易于与这些分子产生较强的化学键作用，即金属氧化物更容易与底层柔性衬底和顶层柔性衬底的聚酰亚胺等材料中的氧键等化学键结合，强化了粘附性，而对比文件1中的氧化硅和氮化硅性质较稳定，很难与羰基、酯基等氧键结合。本申请的复合柔性衬底为透明柔性衬底，在上述材料的柔性衬底中间层插入透明金属氧化物能够更好地实现柔性衬底应力调控；（3）本申请的柔性衬底可通过热学方法调节应力调控层的应力大小。而对比文件1并没有给出能否采用加热的方式调控残余应力的技术启示。另外，本申请选用的金属氧化物可通过溶液法制备，溶液法制备的金属氧化物薄膜相材料相对含氢量少，有利于提高粘附性，因为氢键的存在不利于形成紧密的界面结合。对比文件1是通过热蒸镀方式制备；（4）对比文件1的底层材料在与玻璃进行分离时通过切割方式分离，不会完整保留，本申请的解离方式是机械解离，即通过物理方式直接将整个衬底连带其上方的器件一起从硬质基板撕下来，最底层聚酰亚胺完整保留，对器件的损伤更小，生产效率更高。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查文本的认定
复审请求人在答复复审通知书时并未修改申请文件，本复审请求审查决定所针对的审查文本与复审通知书所针对的审查文本相同，即：2018年12月14日提交的权利要求第1-3项，申请日2016年07月29日提交的说明书第1-7页、说明书附图第1页和说明书摘要。
2、关于创造性
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求的技术方案与作为最接近现有技术的对比文件相比存在区别技术特征，部分区别技术特征属于本领域技术人员在该作为最接近的现有技术的对比文件的基础上容易获得的，其余区别技术特征被其他对比文件公开且作用相同，则该项权利要求的技术方案相对于所述对比文件和本领域公知常识的结合不具有突出的实质性特点，从而不具备创造性。
本复审请求审查决定所引用的对比文件与驳回决定和复审通知书所引用的对比文件相同，即：
对比文件1：CN101997087A，公开日为2011年03月30日；
对比文件2：CN105336870A，公开日为2016年02月17日。
2.1关于权利要求1的创造性
权利要求1请求保护一种残余应力可控的复合柔性衬底在OLED柔性显示器件中的应用，对比文件1公开了一种应用于软性电子器件的基板及其制造方法，具体披露了以下技术特征（参见说明书第[0006]，[0009]，[0018]-[0020]，[0031]-[0032]段、附图1）：一种可以调控应力的、应用于软性电子器件基板，例如主动式软性显示器（即残余应力可控的复合柔性衬底在柔性显示器件中的应用），包括依次层叠的第一材料层14，第二材料层15和软性基板16；第一材料层14可由聚对二甲苯或环烯共聚物的材质所构成（即依次层叠的底层柔性衬底），第二材料层15可由例如氧化铝（即金属氧化物）或氧化硅的无机氧化物、例如氮化硅的无机氮化物或金属材质构成（即具有压应力的应力调节层）；软性基板16（即顶层柔性衬底）可由例如聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮的材料所构成；实施例1中氧化铝的厚度为100nm（落入了应力调控层的厚度范围10nm-1000nm之中）。
权利要求1与对比文件1的区别技术特征是：（1）权利要求1为复合柔性衬底在OLED显示器件中的应用；（2）应力调控层的材质为透明金属氧化物，所述透明金属氧化物为(In2O3)x(MO)y(ZnO)z,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,且x y z＝1，M为镓、锡、镁、钼、钛、镍、镁、锆或镧系稀土元素中的一种或两种以上的任意组合；（3）所述底层柔性衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚丙烯酸酯、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚二甲基硅氧烷或聚醚醚酮；底层柔性衬底的厚度为5um-3000um，顶层柔性衬底的厚度为5um-3000um。
基于上述区别技术特征可以确定权利要求1实际所要解决的技术问题是：选择可替代的应力调控层材料、底层柔性衬底材料，选择合适的底层和顶层柔性衬底的厚度。
对于区别技术特征（1），对比文件1公开了一种可以调控应力的、应用于软性电子器件基板，例如主动式软性显示器（参见说明书第[0006]，[0009]段），基于此，将对比文件1的复合柔性衬底应用在OLED显示器件中是本领域技术人员容易想到的。
对于区别技术特征（2），对比文件1公开了第二材料层15可由例如氧化铝（即金属氧化物）或氧化硅的无机氧化物、例如氮化硅的无机氮化物或金属材质构成（参见说明书第[0018]段），对比文件1所公开的第二材料层的作用与本申请的应力调控层的作用相同，在此基础上，选择(In2O3)x(MO)y(ZnO)z,其中0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1,且x y z＝1，M为镓、锡、镁、钼、钛、镍、镁、锆或镧系稀土元素中的一种或两种以上的任意组合所构成的透明金属氧化物是本领域技术人员经过有限试验而进行的常规选择。
对于区别技术特征（3），对比文件2公开了一种柔性基板，具体披露了以下技术特征（参见说明书第[0077]-[0084]段、附图3）：柔性基板包括第一聚酰亚胺层302、第二聚酰亚胺层402以及位于两层聚酰亚胺层之间的其他层。第一聚酰亚胺层302和第二聚酰亚胺层402均为聚酰亚胺薄膜，其厚度为10μm-25μm。聚酰亚胺薄膜具有优良的热性能、机械性能、电性能以及尺寸稳定性，有良好成膜性、高光学透明性和低的吸湿率，具有良好的平坦化性能和粘附性能。可见，对比文件2公开了柔性复合衬底的底层柔性材料和顶层柔性材料均可为聚酰亚胺薄膜，且其厚度落入了所述区别技术特征（2）的厚度范围之内，并且公开了聚酰亚胺薄膜具有上述优良的性能，因而对比文件2给出了技术启示，本领域技术人员有动机采用对比文件2中的聚酰亚胺来替换对比文件1中的底层柔性材料。所述区别技术特征（3）所限定的其余材料也是本领域常用的柔性衬底材料，本领域技术人员也容易想到用上述材料制备底层柔性衬底和顶层柔性衬底。
综上所述，在对比文件1的基础上结合对比文件2以及本领域的公知常识获得权利要求1的技术方案，对于本领域技术人员而言是显而易见的。权利要求1不具有突出的实质性特点，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.2关于权利要求2的创造性
权利要求2引用权利要求1，其附加技术特征限定了所述残余应力可控的复合柔性衬底的制备工艺，对比文件1公开了（参见说明书第[0025]-[0028]段、附图2A-2D）：提供一支撑载体12，接着以例如涂布或蒸镀的方式覆盖第一材料层14于支撑载体12上（即步骤（1））；之后覆盖一第二材料层15于第一材料层14上（即步骤（2））；接着以例如涂布的方式覆盖一软性基板16于第二材料层15上（即步骤（3））；接着切除部分软性基板16与支撑载体12，以分离第一材料层14、软性基板16与支撑载体12，得到可以调控应力的复合柔性衬底（即步骤（4））。对比文件1公开了底层柔性衬底和顶层柔性衬底的制备方式为涂布。旋涂、刮涂、喷涂、浸涂等为本领域常用的涂布方式，丝网印刷、凹版印刷、转印、喷墨打印也是本领域常用的形成膜层的方式。因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求2不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.3关于权利要求3的创造性
权利要求3引用权利要求2，对比文件1公开了第二材料层15的制备方式为磁控溅镀方式（参见说明书第[0032]段），权利要求3的附加技术特征所限定的应力调控层的其余制作方法也是本领域的惯用手段。在其引用的权利要求不具备创造性时，权利要求3不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、关于复审请求人的意见陈述
对于复审请求人的意见，合议组认为：
（1）虽然对比文件1的第一材料层14与本申请的底层柔性衬底不同，但是对比文件2公开了用于柔性OLED的柔性复合衬底所包括的底层柔性材料和顶层柔性材料均可为聚酰亚胺薄膜，并且公开了聚酰亚胺薄膜具有优良的热性能、机械性能、电性能以及尺寸稳定性，有良好成膜性、高光学透明性和低的吸湿率，具有良好的平坦化性能和粘附性能。虽然对比文件2并未公开在聚酰亚胺层上形成应力调控层，但是，对比文件1公开了底层柔性材料层上形成应力调控层，为了提高底层柔性衬底与应力调控层之间的粘附性能，本领域技术人员有动机采用对比文件2中的聚酰亚胺来替换对比文件1中的底层柔性材料。
（2）复审请求人在提出复审请求时，即2018年12月14日提交的权利要求书中，删除权利要求1中的透明金属氧化物中的M为铝的技术方案。复审请求人认为本申请的应力调控层去掉了铝，本申请的透明金属氧化物相对于氧化铝、氧化硅、氮化硅，更容易和底层柔性衬底、顶层柔性衬底材料中氧键等化学键相结合，强化了粘附性。但是，上述优点在本申请说明书中并未记载，也没有证据表明本申请的透明金属氧化物相对于氧化铝具有上述优点。事实上，对比文件1公开了采用无机氧化物（例如氧化铝、氧化硅）或金属材质作为应力调控层，可见，具有应力调控功能的不止氧化铝一种无机氧化物，也不止一种金属材质。基于对比文件1的教导，本领域技术人员容易想到采用其他合适的金属氧化物作为应力调控层。
（3）通过热学或光学方式对残余应力进行调整并未记载在权利要求1中，对权利要求1的创造性评价没有影响，而且通过热学或光学方式对残余应力进行调整是本领域的公知常识。另外，对比文件1公开了以例如涂布或蒸镀的方式覆盖第一材料层14于支撑载体12上（参见说明书第[0026]段）。涂布的方式已被对比文件1公开，显然第一材料层14也为溶液形式。蒸镀方式只是对比文件1的实施例说明书第[0030]段记载的一种可选方式。
（4）权利要求1仅仅限定了“将上述衬底和调控层从载体基板上剥离”，至于如何剥离，衬底是否有损伤无法由说明书记载的内容得出。而对比文件1恰恰公开了“离型材料与玻璃密着性不良，故于完成所有器件制程及切除多余的基材后，可轻易将器件与玻璃分离”（参见说明书第[0009]段），即对比文件1已经公开了“将上述衬底和调控层从载体基板上剥离”的技术特征，这并不构成权利要求1与对比文件1的区别技术特征。
综上所述，本申请的权利要求1-3相对于现有证据不具备创造性，对于复审请求人的意见，合议组不予支持。
基于以上事实和理由，合议组依法作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年08月30日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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