发明创造名称：薄膜太阳电池的加工槽检测方法及加工槽检测装置
外观设计名称：
决定号：182739
决定日：2019-07-03
委内编号：1F279903
优先权日：2013-12-27
申请（专利）号：201410549396.5
申请日：2014-10-16
复审请求人：三星钻石工业股份有限公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：潘光虎
合议组组长：孙学锋
参审员：熊洁
国际分类号：H01L31/18，H01L21/66
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第2、3款
决定要点：如果权利要求请求保护的技术方案与对比文件相比存在区别特征，使得两者的技术方案实质上不同，则权利要求具备新颖性；如果也没有证据表明这些技术特征属于本领域解决相应技术问题的公知常识，权利要求的技术方案相对于对比文件是非显而易见的，且能够产生有益的技术效果，则权利要求具有突出的实质性特点和显著的进步，具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201410549396.5，名称为“薄膜太阳电池的加工槽检测方法及加工槽检测装置”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为三星钻石工业股份有限公司。本申请的申请日为2014年10月16日，优先权日为2013年12月27日，公开日为2015年07月01日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2019年01月08日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：相对于对比文件2（JP2011165864A，公开日为2011年08月25日），权利要求1-2、4不具备专利法第22条第2款规定的新颖性，权利要求3不具备专利法第22条第3款规定的创造性。驳回决定所依据的文本为申请日2014年10月16日提交的说明书摘要、说明书第1-83段、摘要附图、说明书附图；2018年08月17日提交的权利要求第1-4项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种加工槽检测方法，于在基板上依次积层着下部电极层与光吸收层并在所述下部电极层的一部分加工出下部电极分离用槽的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述光吸收层覆盖的所述槽，
所述加工槽检测方法利用红外线摄像装置检测作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过所述光吸收层的波长区域的摄像用红外光，获取所述摄像用红外光的辐射强度分布图像数据，所述红外线摄像装置配置在所述光吸收层上方侧，且不检测可见光而检测所述摄像用红外光，
并基于所述辐射强度分布图像数据检测所述下部电极层的槽。
2. 根据权利要求1所述的加工槽检测方法，其中所述红外线摄像装置检测1.4μm以上的波长区域的红外光作为摄像用红外线。
3. 根据权利要求1或2所述的加工槽检测方法，其中所述红外线摄像装置为红外线线扫描摄像机，通过一边沿着所述加工品的所述槽附近相对地移动一边进行拍摄而获取槽附近的辐射强度分布图像数据。
4. 一种加工槽检测装置，于在基板上依次积层着下部电极层与光吸收层并在所述下部电极层的一部分加工出下部电极分离用槽的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述光吸收层覆盖的所述槽，其特征在于：所述加工槽检测装置包括：
平台，使所述光吸收层朝上地载置所述加工品；
红外线摄像装置，配置在所述平台的上方，且不检测可见光而检测作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过所述光吸收层的波长区域的摄像用红外光，获取该摄像用红外光的辐射强度分布图像数据；及
加工槽决定部，基于所述辐射强度分布图像数据检测所述下部电极层的槽。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年04月19日向国家知识产权局提出了复审请求。复审请求人认为：本申请的技术思想并非积极地使用可照射红外光的红外线照射装置，而是利用原本在环境中即存在的来自加工品的辐射红外光，即本申请是利用光吸收层会吸收可见光的现象，使包含红外光的照明光通过光吸收层后在下部电极层被反射，并再次通过吸收层而向上方射出；而对比文件2的被检测红外光是外部的红外光透过器件而发出的，因此权利要求1具备新颖性和创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年04月24日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为，本申请权利要求1不能区分反射和透射红外光；即使权利要求修改为反射红外光，反射和透射红外光的改变也不足以给权利要求带来实质性的特点，使其具备创造性，因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人在提出复审请求时未对申请文件作修改，因此本复审决定所依据的文本与驳回决定所依据的文本相同，即：申请日2014年10月16日提交的说明书摘要、说明书第1-83段、摘要附图、说明书附图；2018年08月17日提交的权利要求第1-4项。
具体理由的阐述
专利法第22条第2款规定，新颖性，是指该发明或者实用新型不属于现有技术；也没有任何单位或者个人就同样的发明或者实用新型在申请日以前向国务院专利行政部门提出过申请，并记载在申请日以后公布的专利申请文件或者公告的专利文件中。
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。
如果权利要求请求保护的技术方案与对比文件相比存在区别特征，使得两者的技术方案实质上不同，则权利要求具备新颖性；如果也没有证据表明这些技术特征属于本领域解决相应技术问题的公知常识，权利要求的技术方案相对于对比文件是非显而易见的，且能够产生有益的技术效果，则权利要求具有突出的实质性特点和显著的进步，具备创造性。
本复审决定使用的对比文件与驳回决定所使用的对比文件相同，即：
对比文件2：JP2011165864A，公开日为2011年08月25日。
（2.1）权利要求1的新颖性
权利要求1请求保护一种加工槽检测方法，对比文件2公开了一种加工槽检测方法，并具体公开了（参见说明书第22-44段、附图3,8）：在基板10上依次积层着Mo内面电极层11（相当于本申请中的下部电极层）与p型电极层13（相当于本申请中的光吸收层）并在所述Mo内面电极层11的一部分加工出Mo里面电极层分割沟20（相当于本申请中的下部电极分离用槽）的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述p型光吸收层13覆盖的所述分割沟20，所述加工槽检测方法利用摄像装置50（相当于本申请中的红外光摄像装置）检测透过光吸收层的红外光，所述摄像装置50配置在所述光吸收层上方侧，检测红外光。虽然对比文件2公开了摄像装置50获取红外光，但是对比文件2中摄像装置50获取的红外光为红外光照射装置30发出后透过基板10、Mo内面电极层11和P型光吸收层13的红外光，而本申请中的辐射红外光为“从上方入射时透过光吸收层并达到下部电极层的红外光被该下部电极层吸收、反射，以辐射光的形式再次通过光吸收层且以辐射红外光的形式向上方射出”的光。
因此，对比文件2并未公开权利要求1中的辐射红外光。即：对比文件2并没有公开以下技术特征：检测的红外光为作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过光吸收层的波长区域的摄像用红外光；获取摄像用红外光的辐射强度分布图像数据，不检测可见光而检测摄像用红外光，并基于所述辐射强度分布图像数据检测下部电极层的槽。因此，权利要求1与对比文件2的技术方案相比存在实质性区别，基于上述区别特征，权利要求1可以解决“无法避免产生槽的位置误差”的技术问题，获得“无需积极地设置用于照射摄像用红外光的光源，只要不是无法照射红外光的场所便可以使用”的技术效果，因此，权利要求1相对于对比文件2具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
（2.2）权利要求1的创造性
如上所述，基于上述特征，权利要求1实际解决的技术问题是：无法避免产生槽的位置误差，本领域中，用来检测槽的手段一般都是“采用根据略微显现的不清晰的图像而粗略地检测槽的位置的方法或预先根据设计信息决定槽与应加工的槽的间隔，不利用图像进行确认而利用所述决定的间隔机械地进行刻划加工”（本申请说明书第0017段），与本申请限定的方式不同，不能认为该手段属于本领域的公知常识。同时，当前也没有依据表明上述技术特征属于本领域的公知常识。
并且，正是由于上述区别技术特征的存在，使得权利要求1所要求保护的技术方案具有以下有益的技术效果：无需积极地设置用于照射摄像用红外光的光源，只要不是无法照射红外光的场所便可以使用（参见说明书第42段）。
因此，对本领域技术人员来说，权利要求1请求保护的技术方案相对于对比文件2和公知常识具有突出的实质性特点和显著的进步，具备专利法第22条第3款规定的创造性。
（2.3）权利要求2-3
鉴于权利要求1相对于对比文件2具有新颖性和创造性，其从属权利要求2-3相对于对比文件2同样也具有专利法第22条第2、3款规定的新颖性和创造性。
（2.4）权利要求4
权利要求4请求保护一种加工槽检测装置。对比文件2公开了一种加工槽检测装置，并具体公开了（参见说明书第22-44段、附图3、8）：在基板10上依次积层着Mo内面电极层11（相当于本申请中的下部电极层）与p型电极层13（相当于本申请中的光吸收层）并在所述Mo内面电极层11的一部分加工出Mo里面电极层分割沟20（相当于本申请中的下部电极分离用槽）的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述p型光吸收层13覆盖的所述分割沟20，加工槽检测装置包括：平台70，使p型光吸收层13朝上地载置所述加工品；摄像装置50（相当于本身申请中的红外线摄像装置），配置在平台上方。对比文件2虽然没有记载加工槽决定部，但是加工槽检测装置必然要具有决定部（否则，无法实现检测功能），因此本领技术人员能够直接地毫无意义地确定出这一技术特征。虽然对比文件2公开了摄像装置50获取红外光，但是对比文件2中摄像装置50获取的红外光为红外光照射装置30发出后透过基板10、Mo内面电极层11和P型光吸收层13的红外光，与本申请“从上方入射时透过光吸收层并达到下部电极层的红外光被该下部电极层吸收、反射，以辐射光的形式再次通过光吸收层且以辐射红外光的形式向上方射出”的辐射红外光不同，也就是说对比文件2并没有公开以下技术特征：红外光摄像装置检测的红外光是作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过光吸收层的波长区域的摄像用红外光；获取摄像用红外光的辐射强度分布图像数据，不检测可见光而检测摄像用红外光；加工槽决定部是基于所述辐射强度分布图像数据检测下部电极层的槽。
因此，权利要求4与对比文件2的技术方案相比存在实质性区别，基于上述区别特征，权利要求4可以解决“无法避免产生槽的位置误差”的技术问题，获得“无需积极地设置用于照射摄像用红外光的光源，只要不是无法照射红外光的场所便可以使用”的技术效果，因此，权利要求4相对于对比文件2具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
综上所述，合议组认为，复审请求人于2018年08月17日提交的权利要求1-4项不存在驳回决定所指出的缺陷。
本决定基于当前的现有技术对权利要求的新颖性和创造性进行了评述，至于本申请是否还存在其他缺陷，或者相对于其他现有技术是否具备新颖性和/或创造性，皆留待后续程序继续审查。
三、决定
撤销国家知识产权局于2019年01月08日对本申请作出的驳回决定。由国家知识产权局原审查部门以下述文本为基础继续进行审批程序：
复审请求人于申请日提交的说明书1-83段，说明书附图1-5，说明书摘要，摘要附图；
复审请求人于2018年08月17日提交的权利要求1-4。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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