发明创造名称：曝光装置、曝光方法、以及组件制造方法
外观设计名称：
决定号：180629
决定日：2019-06-05
委内编号：1F251602
优先权日：2009-08-25、2010-08-20
申请（专利）号：201510107400.7
申请日：2010-08-24
复审请求人：株式会社尼康
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：王方
合议组组长：边昕
参审员：王碧琛
国际分类号：G03F7/20
外观设计分类号：
法律依据：专利法实施细则第43条第1款
决定要点
：如果分案申请的权利要求请求保护的技术方案与原申请说明书和权利要求书记载的内容不同，并且本领域技术人员也不能够从原申请说明书和权利要求书的文字记载中直接地、毫无疑义地确定出该分案申请的权利要求请求保护的技术方案，则该分案申请超出原申请公开的范围。
全文：
本复审请求涉及申请号为201510107400.7，名称为“曝光装置、曝光方法、以及组件制造方法”的发明专利申请（下称本申请），本申请是申请号为201080037585.4，名称为“曝光装置、曝光方法、以及组件制造方法”的发明专利PCT申请的分案申请。本申请的申请日为2010年08月24日，分案申请递交日为2015年03月12日，公开日为2015年06月03日，优先权日为2009年08月25日和2010年08月20日，申请人为株式会社尼康。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年01月30日发出驳回决定，其理由是：权利要求1，2，4，7，8，12，13，15，18和19不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
驳回决定所依据的文本为：分案申请递交日2015年03月12日提交的说明书附图1-17、说明书摘要和摘要附图，2016年08月31日提交的说明书第1-212段，2017年09月18日提交的权利要求第1-22项。驳回决定所针对的权利要求书内容如下：
“1. 一种曝光装置，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其具备有：
载台，具有保持该基板的保持具；
驱动系统，以该基板可移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向的6自由度方向的方式，驱动该载台；
测量系统，测量该载台的该6自由度方向的位置信息，其具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以与该既定面平行的方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束；以及
控制系统，根据由该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统的该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式设置；
该4个读头以其中于该第1、第2方向相邻的2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置于该载台；
在该基板的曝光动作中该载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，该4个读头中除了该第4读头外的该第1、第2、第3读头，分别与该4个部分中除了该第4部分外的该第1、第2、第3部分对向；第3区域，该4个读头中除了该第1读头外的该第2、第3、第4读头，分别与该4个部分中除了该第1部分外的该第2、第3、第4部分对向；第4区域，该4个读头中除了该第2读头外的该第3、第4、第1读头，分别与该4个部分中除了该第2部分外的该第3、第4、第1部分对向；以及第5区域，该第1、第2、第3、第4读头分别与该第1、第2、第3、 第4部分对向；
在该曝光动作中，该载台从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第2、第3、第4区域中与该1个区域不同的区域移动；
在该第1区域中，通过该第4、第1、第2读头测量该载台的位置信息；在该第2区域中，通过该第1、第2、第3读头测量该载台的位置信息；在该第3区域中，通过该第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；在该第4区域中，通过该第3、第4、第1读头测量该载台的位置信息；在该第5区域中，通过该第1、第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；
该控制系统，在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量该载台在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动。
2. 如权利要求1的曝光装置，其中，该控制系统，为了从该第1、第2、第3、第4区域中的一个区域，通过上述第5区域，将该载台移动至该第1、第2、第3、第4区域中的与该一个区域不同的区域，以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算处理，并取得该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息。
3. 如权利要求1的曝光装置，其中，该4个读头分别可测量该载台的关于在该既定面内相互正交的两方向中的任一方向、和与该既定面正交的方向的二个方向的位置信息；
用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，于该二个方向取得。
4. 如权利要求3的曝光装置，其中，该4个部分即该第1、第2、第3、第4部分分别配置成与该既定面实质上平行。
5. 如权利要求4的曝光装置，其中，该控制系统，以补偿起因于 该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的该测量系统的测量误差的方式控制该载台的驱动。
6. 如权利要求4的曝光装置，其中，该测量系统，具有接近于该读头而配置的辅助读头，在主要读头发生测量异常时可将该读头切换成该辅助读头并继续实行该测量。
7. 如权利要求1至6中任一项的曝光装置，其进一步具备：
检测系统，与该投影光学系统间隔有既定间距配置，用于检测该基板的位置信息；以及
与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成该绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口；
该不同的标尺构件，以该检测系统沿着该第1、第2方向位于该不同的开口内的方式配置于与该标尺构件大致同一平面上；
该不同的标尺构件，配置于从该标尺构件于该第1方向分离的位置；
该检测系统的该基板的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
8. 如权利要求7的曝光装置，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光后、该载台等速移动的期间进行。
9. 如权利要求7的曝光装置，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置在该载台。
10. 如权利要求9的曝光装置，其进一步具备：
光罩载台，保持以该照明光照明的光罩；以及
与该测量系统不同的编码器系统，测量该光罩载台的至少3自由度方向的位置信息；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制 该光罩载台与该载台的驱动。
11. 一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求1至10中任一项的曝光装置使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。
12. 一种曝光方法，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其包含以下动作：
以该基板移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向的6自由度方向的方式，驱动具有保持该基板的保持具的载台；
藉由测量系统测量该载台的在该6自由度方向的位置信息，其中，该测量系统，具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以与该既定面平行的方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束；以及
根据由该测量系统测量的位置信息，控制该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式设置；
该4个读头以其中于该第1、第2方向相邻的2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置于该载台；
在该基板的曝光动作中该载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，该4个读头中除了该第4读头外的该第1、第2、第3读头，分别与该4个部分中除了该第4部分外的该第1、第2、第3部分对向；第3区域，该4个读头中除了该第1读头外的该第2、第3、第4读头，分别与该4个部分中除了该第1部分外的该第2、第3、第4部分对向；第4区域，该4个读头中除了该第2读头外的该第3、第4、第1读头，分别与该4个部分中除了该第2部分外的该第3、第4、第1部分对向；以 及第5区域，该第1、第2、第3、第4读头分别与该第1、第2、第3、第4部分对向；
在该曝光动作中，该载台从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第2、第3、第4区域中与该1个区域不同的区域移动；
在该第1区域中，通过该第4、第1、第2读头测量该载台的位置信息；在该第2区域中，通过该第1、第2、第3读头测量该载台的位置信息；在该第3区域中，通过该第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；在该第4区域中，通过该第3、第4、第1读头测量该载台的位置信息；在该第5区域中，通过该第1、第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；
在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动。
13. 如权利要求12的曝光方法，其中，为了从该第1、第2、第3、第4区域中的一个区域，通过上述第5区域，将该载台移动至该第1、第2、第3、第4区域中的与该一个区域不同的区域，以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算处理，并取得该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息。
14. 如权利要求12的曝光方法，其中，该4个读头分别测量该载台的关于在该既定面内相互正交的两方向中的任一方向、和与该既定面正交的方向的二个方向的位置信息；
用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，于该二个方向取得。
15. 如权利要求14的曝光方法，其中，该4个部分即该第1、第2、第3、第4部分分别配置成与该既定面实质上平行。
16. 如权利要求15的曝光方法，其中，以补偿起因于该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的该测量系统的测量误差的方式控制该载台的驱动。
17. 如权利要求15的曝光方法，其中，该测量系统，具有接近于该读头而配置的辅助读头，在主要读头发生测量异常时将该读头切换成该辅助读头以继续实行该测量。
18. 如权利要求12至17中任一项的曝光方法，其中，
藉由与该投影光学系统间隔有既定间距配置的检测系统，检测该基板的位置信息；
与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成该绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口，且以该检测系统沿着该第1、第2方向位于该不同的开口内的方式配置于与该标尺构件大致同一平面上；
该不同的标尺构件，配置于从该标尺构件于该第1方向分离的位置；
该检测系统的该基板的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
19. 如权利要求18的曝光方法，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光后、该载台等速移动的期间进行。
20. 如权利要求18的曝光方法，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置在该载台。
21. 如权利要求20的曝光方法，其中，保持以该照明光照明的光罩的光罩载台的至少3自由度方向的位置信息，是藉由与该测量系统不同的编码器系统测量；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制 该光罩载台与该载台的驱动。
22. 一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求12至21中任一项的曝光方法使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。”
驳回决定认为：1、权利要求1、12不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：（1）权利要求1和12中的技术特征“测量系统……具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，……分别照射测量光束”和技术特征“在该基板的曝光动作中该载台移动的移动区域，包含：第1区域，……以及第5区域，该第1、第2、第3、第4读头分别与该第1、第2、第3、 第4部分对向；……在该第1区域中，通过该第4、第1、第2读头测量该载台的位置信息；……在该第5区域中，通过该第1、第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息”均是对母案说明书中相关特征进行概括后获得的，即母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中并未直接记载上述技术特征，并且本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出；（2）权利要求1和12中的技术特征“在该载台于该第5区域内的期间，……测量该载台在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动”并未直接记载在母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中，本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出。2、权利要求2、13不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：权利要求2和13中的技术特征“为了从该第1、第2、第3、第4区域中的一个区域，……并取得该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息”是对母案说明书中相关特征进行概括后获得的，即母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中并未直接记载上述技术特征，并且本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出。3、权利要求4、15不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：权利要求4和15中的技术特征“该4个部分即该第1、第2、第3、第4部分分别配置成与该既定面实质上平行”是对母案说明书中相关特征进行概括后获得的，即母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中并未直接记载上述技术特征，并且本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出。4、权利要求7、18不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：（1）权利要求7和18中的技术特征“检测系统与该投影光学系统间隔有既定间距配置，用于检测该基板的位置信息”和技术特征“与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口”均是对母案说明书中相关特征进行概括后获得的，即母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中并未直接记载上述技术特征，并且本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出；（2）权利要求7和18中的技术特征“该不同的标尺构件，以该检测系统位于该不同的开口内的方式沿着该第1、第2方向配置于与该标尺构件大致同一平面上” 并未直接记载在母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中，本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出；（3）权利要求7和18中描述了技术特征“该检测系统的该基板的检测动作中，籍由该测量系统测量该载台的位置信息”，在该权利要求引用权利要求1中对应的标尺构件的测量系统时，上述情况超出了母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）记载的范围，不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。5、权利要求8和19不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：权利要求8和19中的技术特征“从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光后、该载台等速移动的期间进行”是对母案说明书中相关特征进行概括后获得的，即母案说明书（及其说明书附图）和权利要求书中并未直接记载上述技术特征，并且本领域技术人员也不能从母案权利要求书和说明书（及其说明书附图）中直接地、毫无意义地确定出。
申请人株式会社尼康（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年05月14日向国家知识产权局提出了复审请求，未对申请文件进行修改。
复审请求人认为：（1）关于读头，原申请说明书[0064]段仅是揭示本申请权利要求1的一例，根据[0066]段记载的“……或将读头设于载台本体部91(粗动载台)而以该读头测量载台本体部91(粗动载台)的位置、且以另一传感器测量粗微动载台间的相对位移”，本领域技术人员必然可以理解载台上的“读头”的设置位置并没有被特定。
（2）关于开口，原申请说明书[0052]段仅是揭示本申请权利要求1的一例，而本申请权利要求1中所限定的“具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，……从该标尺构件的下方分别照射测量光束”的技术特征本身足够明确，本领域技术人员必然可以从原申请的权利要求及说明书（及附图）的内容直接无歧异地确定该技术特征。
（3） “二维绕射光栅为以特定方向为周期方向的光栅”是不必要的限定，因为根据原申请说明书段落[0065]段的“读头601~604，由图2即图4可知，……据以测量于各个测量方向的晶圆台WTB1、WTB2（晶圆载台WST1、WST2）的位置”及原申请说明书[0194]段的内容可以看出二维绕射光栅只要设置成可以使读头测量来自二维绕射光栅的反射、绕射光束即可，亦可改变成1维绕射光栅，故不须进一步限定本案权利要求1的二维绕射光栅。
（4）关于5个区域可以从原申请说明书段落[0084]-[0087]以及[0098]和[0099]段的内容中得知，本领域技术人员可以根据原申请说明书内容、权利要求书直接且无歧异地确定该技术特征。
（5）载台从第1、第2、第3、第4区域中的一个区域移动至与该一个区域不同的区域时，必须进行读头的切换，而该切换仅能在4个读头个别与L字状的4个部分对向时（载台位于第5区域时）进行，并详细描述了晶圆载台WST1从第2区域A2经由第0区域A0往第3区域A3移动的情形，指出“……为了保持读头的切换前后中（从第2区域经由第0区域至第3区域的期间中）晶圆载台WST1的位置测量结果的连续性（或是维持读头的切换前后的移动面内的晶圆载台WST1的位置），在第0区域中，至少在刚从第2区域移动到第0区域时，根据使用读头601、602、603的测量值所得的晶圆载台WST1的XY平面内的位置信息，驱动控制晶圆载台WST1、且至少在将要从第0区域往第3区域移动时，根据使用读头602、603、604的测量值所得的晶圆载台WST1的XY平面内的位置信息，驱动控制晶圆载台WST1是必要的”。本申请权利要求1中的技术特征可从原申请说明书内容、权利要求书直接且无歧异地确定。
（6）从原申请说明书[0127]-[0130]段的内容中可以明显得知“从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息”相当于“位置坐标(X、Y、θz)”，“从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息” 相当于“位置坐标(X’、Y’、θz’)”，“该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息”相当于“坐标偏移O”，因此，本领域技术人员可以从原申请说明书及权利要求书中直接且无歧异地获得关于“接续运算处理”的技术特征。
（7）从原申请说明书[0072]和[0073]段可知，原申请说明书并未限定检测系统的种类。因此，该特征没有超出原申请说明书及权利要求书记载的范围。
（8）原申请说明书[0053]和[0054]段记载的仅是揭示一例，因此，该特征没有超出原申请说明书及权利要求书记载的范围。
（9）根据原申请说明书第[0077]段的内容“……针对在测量时间移动区域内晶圆载台WST1、WST2的一方所保持的晶圆W，……以编码器系统70（编码器701~704）或编码器系统71（编码器711~714）求取（测量）晶圆载台WST1、WST2的6自由度（X、Y、Z、θx、θy、θz）的位置信息”可知，该技术特征直接记载在原申请说明书中，没有超出原申请说明书及权利要求书记载的范围。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年05月22日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
经前置审查，原审查部门坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2018年12月06日向复审请求人发出复审通知书，指出：1、权利要求1、12不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，理由是：（1）权利要求1中出现了“测量系统，……，其具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以与该既定面平行的方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束”的表述，然而，①.权利要求1中关于4个读头的限定方式既不同于原申请说明书中关于4个读头的设计，也不同于原申请权利要求书中关于多个读头的设计；②.权利要求1中所限定的“以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口”的表述，只能确定出该矩形开口被L字状的四个部分包围，但并不一定位于中央，这既不同于原申请说明书记载的形成在L字状的四个部分的中央的技术方案，也不同于原申请权利要求书中记载的测量面具有开口这样的技术方案；③.权利要求1中所限定的“以与该既定面平行的方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅”与原申请说明书和权利要求书中所限定的反射型的二维绕射光栅的周期方向是不同的；（2）权利要求1中还限定了“……载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，……；第3区域，……；第4区域，……；第5区域，……”，然而，原申请说明书中对各区域的具体划分方式进行了明确限定，而本申请权利要求1中只是限定了移动区域分为5个区域以及5个区域所对应的工作的读头，并未对这5个区域的具体划分方式进行限定；（3）权利要求1中还限定了：“该控制系统，在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量该载台在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动”，然而，权利要求1中所限定的“在该载台于该第5区域内的期间”进行读头切换的方案仅限定了是在第5区域内时进行切换，但没有具体限定在第5区域内的具体何时进行切换，与原申请说明书和原申请权利要求书中的记载均不相同。可见，权利要求1的上述内容既未记载在原申请说明书和权利要求书中，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书记载的内容也无法直接地、毫无疑义地得出本申请权利要求1中所限定的技术方案，因此，权利要求1不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。（4）由于独立权利要求12所要保护的曝光方法与独立权利要求1所要保护的曝光装置对应，因此，基于与独立权利要求1相同的理由，独立权利要求12也不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。2、权利要求2和13不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，具体理由是：（1）权利要求2中限定了“将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算处理，并取得该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息”，然而，权利要求2中仅限定了进行接续处理运算以及读取修正信息，但未限定具体的接续处理方式和如何读取修正信息，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出本申请权利要求2中所限定的技术方案，因此，权利要求2不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。（2）基于与权利要求2相同的理由，权利要求13也不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。3、权利要求7和18不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，具体理由是：权利要求7引用权利要求1至6中任一项，对曝光装置进行了进一步限定，然而，（1）根据本申请权利要求7整体所限定的技术方案，本领域技术人员无法直接地、毫无疑义地得知该检测系统即为原申请说明书中提及的对准系统或者为原申请权利要求书中提及的标记检测系统，而本申请权利要求7中所限定的检测系统可以是除了对准系统或标记检测系统外的其他系统；（2）权利要求7中限定了“与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成该绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口”，然而，该限定的内容与原申请说明书记载的内容不同；（3）权利要求7中还限定了“该检测系统的该基板的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息”，然而，原申请说明书和权利要求书中均记载了该曝光装置具有两套测量系统，而权利要求7中限定的是该检测系统利用本申请权利要求1中所述的测量系统测量不同载台的位置信息。显然，本申请权利要求7所限定的上述内容均未记载在原申请的说明书和权利要求书中，本领域技术人员也不能从原申请说明书和权利要求书记载的内容中直接地、毫无疑义地确定得出上述技术特征，因此，权利要求7不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。（4）基于与权利要求7相同的理由，权利要求18也不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
针对上述复审通知书，复审请求人于2019年02月27日提交了意见陈述书，并提交了权利要求书的全文修改替换页，在驳回决定所针对的文本的基础上进行了修改，而后，复审请求人于2019年03月12日又提交了意见陈述书及修改后的权利要求书，所作修改是在2019年02月27日提交的文本的基础上进行的，两次修改的具体内容为：在驳回决定所针对的文本的基础上，将权利要求1和12中的“具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以与该既定面平行的方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分”修改为：“具有设于该载台的4个读头，其中2个读头在该第1方向分离、2个读头在与该第1方向垂直的该第2方向分离，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以在该既定面内彼此正交的2轴方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分”，将权利要求2和13中的“以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算处理，并取得该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息”修改为“以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第1位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第2位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算进行处理，并进行将与该第1位置信息和该第2位置信息的差分对应的偏移信息作为该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息而取得的接续运算”，将权利要求7和18中的“检测系统”均修改为“对准系统”，并将“藉由该测量系统测量该载台的位置信息。”修改为“藉由对该不同的标尺构件分别照射测量光束的该测量系统的多个该读头测量该载台的位置信息。”，对其他权利要求未作修改。修改后的权利要求书的内容如下：
“1. 一种曝光装置，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其具备有：
载台，具有保持该基板的保持具；
驱动系统，以该基板可移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向的6自由度方向的方式，驱动该载台；
测量系统，测量该载台的该6自由度方向的位置信息，其具有设于该载台的4个读头，其中2个读头在该第1方向分离、2个读头在与该第1方向垂直的该第2方向分离，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以在该既定面内彼此正交的2轴方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束；以及
控制系统，根据由该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统的该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式设置；
该4个读头以其中于该第1、第2方向相邻的2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置于该载台；
在该基板的曝光动作中该载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，该4个读头中除了该第4读头外的该第1、第2、第3读头，分别与该4个部分中除了该第4部分外的该第1、第2、第3部分对向；第3区域，该4个读头中除了该第1读头外的该第2、第3、第4读头，分别与该4个部分中除了该第1部分外的该第2、第3、第4部分对向；第4区域，该4个读头中除了该第2读头外的该第3、第4、第1读头，分别与该4个部分中除了该第2部分外的该第3、第4、第1部分对向；以及第5区域，该第1、第2、第3、第4读头分别与该第1、第2、第3、第4部分对向；
在该曝光动作中，该载台从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第2、第3、第4区域中与该1个区域不同的 区域移动；
在该第1区域中，通过该第4、第1、第2读头测量该载台的位置信息；在该第2区域中，通过该第1、第2、第3测量该载台的位置信息；在该第3区域中，通过该第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；在该第4区域中，通过该第3、第4、第1读头测量该载台的位置信息；在该第5区域中，通过该第1、第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；
该控制系统，在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量该载台在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动。
2. 如权利要求1的曝光装置，其中，该控制系统，为了从该第1、第2、第3、第4区域中的一个区域，通过上述第5区域，将该载台移动至该第1、第2、第3、第4区域中的与该一个区域不同的区域，以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第1位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第2位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算进行处理，并进行将与该第1位置信息和该第2位置信息的差分对应的偏移信息作为该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息而取得的接续运算。
3. 如权利要求1的曝光装置，其中，该4个读头分别可测量该载台的关于在该既定面内相互正交的两方向中的任一方向、和与该既定面正交的方向的二个方向的位置信息；
用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，于该二个方向取得。
4. 如权利要求3的曝光装置，其中，该4个部分即该第1、第2、第3、第4部分分别配置成与该既定面实质上平行。
5. 如权利要求4的曝光装置，其中，该控制系统，以补偿起因于该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的该测量系统的测量误差的方式控制该载台的驱动。
6. 如权利要求4的曝光装置，其中，该测量系统，具有接近于该读头而配置的辅助读头，在主要读头发生测量异常时可将该读头切换成该辅助读头并继续实行该测量。
7. 如权利要求1至6中任一项的曝光装置，其进一步具备：
对准系统，与该投影光学系统间隔有既定间距配置，用于检测该基板的位置信息；以及
与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成该绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口；
该不同的标尺构件，以该对准系统沿着该第1、第2方向位于该不同的开口内的方式配置于与该标尺构件大致同一平面上；
该不同的标尺构件，配置于从该标尺构件于该第1方向分离的位置；
该对准系统的该基板的检测动作中，藉由对该不同的标尺构件分别照射测量光束的该测量系统的多个该读头测量该载台的位置信息。
8. 如权利要求7的曝光装置，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光后、该载台等速移动的期间进行。
9. 如权利要求7的曝光装置，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置在该载台。
10. 如权利要求9的曝光装置，其进一步具备：
光罩载台，保持以该照明光照明的光罩；以及
与该测量系统不同的编码器系统，测量该光罩载台的至少3自由度方向的位置信息；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制该光罩载台与该载台的驱动。
11. 一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求1至10中任一项的曝光装置使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。
12. 一种曝光方法，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其包含以下动作：
以该基板移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向的6自由度方向的方式，驱动具有保持该基板的保持具的载台；
藉由测量系统测量该载台的在该6自由度方向的位置信息，其中，该测量系统，具有设于该载台的4个读头，其中2个读头在该第1方向分离、2个读头在与该第1方向垂直的该第2方向分离，该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以在该既定面内彼此正交的2轴方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束；以及
根据由该测量系统测量的位置信息，控制该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式设置；
该4个读头以其中于该第1、第2方向相邻的2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置于该载台；
在该基板的曝光动作中该载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，该4个读头中除了该第4读头外的该第1、第2、第3读头，分别与该4个部分中除了该第4部分外的该第1、第2、第3部分对向；第3区域，该4个读头中除了该第1读头外的该第2、第3、第4读头，分别与该4个部分中除了该第1部分外的该第2、第3、第4部分对向；第4区域，该4个读头中除了该第2读头外的该第3、第4、第1读头，分别与该4个部分中除了该第2部分外的该第3、第4、第1部分对向；以及第5区域，该第1、第2、第3、第4读头分别与该第1、第2、第3、第4部分对向；
在该曝光动作中，该载台从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第2、第3、第4区域中与该1个区域不同的 区域移动；
在该第1区域中，通过该第4、第1、第2读头测量该载台的位置信息；在该第2区域中，通过该第1、第2、第3读头测量该载台的位置信息；在该第3区域中，通过该第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；在该第4区域中，通过该第3、第4、第1读头测量该载台的位置信息；在该第5区域中，通过该第1、第2、第3、第4读头测量该载台的位置信息；
在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动。
13. 如权利要求12的曝光方法，其中，为了从该第1、第2、第3、第4区域中的一个区域，通过上述第5区域，将该载台移动至该第1、第2、第3、第4区域中的与该一个区域不同的区域，以将从该一个区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第1位置信息，与从该不同的区域中使用的3个读头的测量值所得的该载台的第2位置信息一致之方式，将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算进行处理，并进行将与该第1位置信息和该第2位置信息的差分对应的偏移信息作为该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息而取得的接续运算。
14. 如权利要求12的曝光方法，其中，该4个读头分别测量该载台的关于在该既定面内相互正交的两方向中的任一方向、和与该既定面正交的方向的二个方向的位置信息；
用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，于该二个方向取得。
15. 如权利要求14的曝光方法，其中，该4个部分即该第1、第2、第3、第4部分分别配置成与该既定面实质上平行。
16. 如权利要求15的曝光方法，其中，以补偿起因于该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的 该测量系统的测量误差的方式控制该载台的驱动。
17. 如权利要求15的曝光方法，其中，该测量系统，具有接近于该读头而配置的辅助读头，在主要读头发生测量异常时将该读头切换成该辅助读头以继续实行该测量。
18. 如权利要求12至17中任一项的曝光方法，其中，
藉由与该投影光学系统间隔有既定间距配置的对准系统，检测该基板的位置信息；
与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成该绕射光栅的L字状的4个部分、及以被该不同的4个部分包围的方式形成的与该开口不同的矩形的开口，且以该对准系统沿着该第1、第2方向位于该不同的开口内的方式配置于与该标尺构件大致同一平面上；
该不同的标尺构件，配置于从该标尺构件于该第1方向分离的位置；
该对准系统的该基板的检测动作中，藉由对该不同的标尺构件分别照射测量光束的该测量系统的多个该读头测量该载台的位置信息。
19. 如权利要求18的曝光方法，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光后、该载台等速移动的期间进行。
20. 如权利要求18的曝光方法，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式配置在该载台。
21. 如权利要求20的曝光方法，其中，保持以该照明光照明的光罩的光罩载台的至少3自由度方向的位置信息，是藉由与该测量系统不同的编码器系统测量；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制该光罩载台与该载台的驱动。
22. 一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求12至21中任一项的曝光方法使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。”
复审请求人在2019年02月27日和2019年03月12日提交的意见陈述的内容完全相同，具体为：
1、开口由4个部分包围，每一个分别为L字状，但不限定为相同形状，矩形开口的中心位置自标尺板的中央偏移的位置，如此情形是本领域技术人员可从原申请的记载中得知的。
2、通过原申请说明书第[0086]段的记载可以明确地、直接地、毫无疑义地得到本案权利要求1中“……第2区域，该4个读头中除了该第4读头外的该第1、第2、第3读头，分别与该4个部分中除了该第4部分外的该第1、第2、第3部分对向……”的内容，并且“相对曝光中心P位置一X侧且＋Y侧区域（以曝光中心P为原点的第2象限内区域（然而，不含区域AO））”的记载是为了方便配合图示进行说明的叙述，因为第1至第4象限会根据观察所用的坐标系的不同而变动，因此，依照原申请说明书的记载进行修改并不合理。本申请权利要求1中的各个区域的范围是藉由特定的读头分别与特定的L字状的部分对向时的范围而明确地限定，且如第2区域的说明，对第1至第5区域的描述亦可从原申请的说明书中明确地、直接地、毫无疑义地得出。
3、载台从第1、第2、第3、第4区域中的一个区域移动至与该一个区域不同的区域时，必须进行读头的切换，而该切换仅能在4个读头个别与L字状的4个部分对向时（载台位于第5区域时）进行，并详细描述了晶圆载台WST1从第2区域A2经由第0区域A0往第3区域A3移动的情形，指出“……为了保持读头的切换前后中（从第2区域经由第0区域至第3区域的期间中）晶圆载台WST1的位置测量结果的连续性（或是维持读头的切换前后的移动面内的晶圆载台WST1的位置），在第0区域中，至少在刚从第2区域移动到第0区域时，根据使用读头601、602、603的测量值所得的晶圆载台WST1的XY平面内的位置信息，驱动控制晶圆载台WST1、且至少在将要从第0区域往第3区域移动时，根据使用读头602、603、604的测量值所得的晶圆载台WST1的XY平面内的位置信息，驱动控制晶圆载台WST1是必要的”，且本领域技术人员理解读头的切换的时点与标尺板的开口尺寸、读头的配置、及晶圆上的照射区域的尺寸、配置等相关，亦知晓依照原申请说明书记载的实施例限定权利要求1是不恰当的。因此，本申请权利要求1中的技术特征可从原申请说明书内容、权利要求书直接且无歧异地确定。
4、权利要求2、13中的“接续运算”和“接续处理”是不同的，如原申请说明书的[0128]段所述，“接续运算”是为了进行“接续处理”的前处理。根据原申请说明书[0128]段修改权利要求2、13，已使其等更清楚，因此，只要是本领域技术人员，自可从原申请说明书直接地、毫无疑义地获得本技术特征。
在上述程序的基础上，本案合议组经合议，认为本案事实已经清楚，依法作出本审查决定。
二、决定的理由
（一）审查文本的认定
在复审程序中，复审请求人于2019年03月12日提交了权利要求书最终的全文修改替换页。因此，本复审决定是以复审请求人于2019年03月12日提交的权利要求第1-22项，分案申请递交日2015年03月12日提交的说明书附图1-17、说明书摘要和摘要附图，2016年08月31日提交的说明书第1-212段为基础作出的。
（二）关于专利法实施细则第43条第1款的规定
专利法实施细则第四十三条第一款规定：依照本细则第四十二条规定提出的分案申请，可以保留原申请日，享有优先权的，可以保留优先权日，但是不得超出原申请公开的范围。
如果分案申请的权利要求请求保护的技术方案与原申请说明书和权利要求书记载的内容不同，并且本领域技术人员也不能够从原申请说明书和权利要求书的文字记载中直接地、毫无疑义地确定出该分案申请的权利要求请求保护的技术方案，则该分案申请超出原申请公开的范围。
具体到本案：
1、权利要求1和12不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，具体理由如下：
（1）权利要求1中出现了“该4个读头对具有分别和该4个读头对向的分别形成有以在该既定面内彼此正交的2轴方向作为周期方向的反射型的二维绕射光栅的L字状的4个部分、与以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口的标尺构件的该绕射光栅，从该标尺构件的下方分别照射测量光束”的表述，然而，原申请中关于标尺构件的矩形的开口的相关记载为：原申请说明书[0052]段记载的是：“标尺板22，如图3所示，亦例如由L字状的四个部分（零件）221、222、223、224构成，于其中央形成的例如矩形开口22a内插入后述对准系统ALG的-Z侧端部”，[0053]段记载的是“标尺板22，如图3所示，亦例如由L字状的四个部分（零件） 221、222、223、224构成，于其中央形成的例如矩形开口22a内插入后述对准系统ALG的-Z侧端部”。可见，原申请说明书中记载的是，标尺板的矩形开口是形成在L字状的四个部分的中央。原申请权利要求1、26、36、41、81中均记载了“与该既定平面略平行、一部分具有开口的测量面”。可见，原申请权利要求书中记载的是，“测量面”中具有开口，并没有限定该开口是由四个L字状的部分包围形成的。而本申请权利要求1中所限定的“以被该4个部分包围的方式形成的矩形的开口”的表述，只能确定出该矩形开口被L字状的四个部分包围，但并不一定位于中央，这既不同于原申请说明书记载的形成在L字状的四个部分的中央的技术方案，也不同于原申请权利要求书中记载的测量面具有开口这样的技术方案。可见，本申请权利要求1中所限定的关于矩形的开口的技术方案未记载在原申请说明书和权利要求书中，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出该技术方案。
（2）权利要求1中还限定了“……载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第3读头外的第4、第1、第2读头，分别与该4个部分中除了第3部分外的第4、第1、第2部分对向；第2区域，……；第3区域，……；第4区域，……；第5区域，……”。然而，原申请中关于第1~5区域的限定的相关记载为：原申请说明书第[0086]和[0087]段中记载的是：“当晶圆载台WST1于曝光时间移动区域内、且相对曝光中心P位置-X侧且 Y侧区域（以曝光中心P为原点的第2象限内区域（然而，不含区域A0））的第2区域A2，读头601、602、603分别对向于标尺板21的部分211、212、213”，“当晶圆载台WST1于曝光时间移动区域内、且相对曝光中心P位置-X侧且-Y侧区域（以曝光中心P为原点的第3象限内区域（然而，不含区域A0））的第3区域A3内时，读头602、603、604分别对向于标尺板21的部分212、213、214”，“当晶圆载台WST1于曝光时间移动区域内、且相对曝光中心P位置 X侧且-Y侧区域（以曝光中心P为原点的第4象限内区域（然而，不含区域A0））的第4区域A4内时，读头603、604、601分别对向于标尺板21的部分213、214、211”，“当晶圆载台WST1位于以曝光中心P为中心的十字状区域A0（包含以通过曝光中心P的Y轴方向为长边方向的宽度A-ai-2t的区域、与以X轴方向为长边方向的宽度B-bi-2t 的区域的区域（以下，称第0区域））内的情形时，晶圆载台WST1上的所有读头601～604对向于标尺板21（对应的部分211～214）。”，可见，原申请说明书中对各区域的具体划分方式进行了明确限定，而本申请权利要求1中只是限定了移动区域分为5个区域以及5个区域所对应的工作的读头，并未对这5个区域的具体划分方式进行限定，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出关于5个区域的其他划分方式。
（3）权利要求1中还限定了：“该控制系统，在该载台于该第5区域内的期间，取代该第1、第2、第3、第4区域中的1个区域中所使用的3个读头，使用在与该第1、第2、第3、第4区域中的该1个区域不同的区域中所使用的3个读头，测量该载台在该既定面内的位置信息以控制该载台的驱动”。然而，原申请中关于何时进行读头切换的相关记载为：原申请说明书第[0103]-[0176]段对读头的切换进行了详细描述，例如，第[109]段中记载的是：“曝光中心P在对第1照射区域S1～第3照射区域 S3进行曝光处理而从区域B1往区域B0移动后，对圆C1内所示的区域 B0内的第4照射区域S4进行曝光处理后而往区域B2内的第5照射区域S5步进移动时，即发生读头的切换（第1切换）。”，第[0135]段记载的是：“上述第1切换，在区域B0内的第4区域S4的扫描曝光后、往区域B2内的第5照射区域S5的步进移动前，切换使用的读头”，第[0136]段记载的是：“与上述第1切换同样的，曝光中心P在进行第7照射区域S7～第 10照射区域S10的曝光处理而从区域B2往区域B0移动后、进行区域 B0内第11照射区域S11的曝光处理而往区域B1内第12照射区域S12步进移动时，发生读头的切换（第2切换）。”可见，原申请说明书中明确限定了在第5区域时的具体切换时间。原申请权利要求1中记载的是：“控制系统，根据以该位置测量系统求出的该位置信息驱动该移动体，并视该移动体的位置将用于算出该移动体位置信息的该既定数目的读头中的至少一个切换为其它读头”，原申请权利要求10中记载的是：“其中，该控制系统在进行该等速驱动后，切换用于算出该移动体位置信息的读头”。而本申请权利要求1中所限定的“在该载台于该第5区域内的期间”进行读头切换的方案仅限定了是在第5区域内时进行切换，但没有具体限定在第5区域内的具体何时进行切换，可见，本申请权利要求1所限定的内容与原申请说明书和原申请权利要求书中的记载均不相同，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书记载的内容也无法直接地、毫无疑义地得出本申请权利要求1中所限定的技术方案。
综上所述，权利要求1不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
由于独立权利要求12所要保护的曝光方法与独立权利要求1所要保护的曝光装置对应，因此，基于与独立权利要求1相同的理由，独立权利要求12也不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
2、权利要求2和13不符合专利法实施细则第43条第1款的规定，具体理由如下：
本申请权利要求2中限定了“将在该第5区域中从该4个读头所得的测量值以接续运算进行处理，并进行将与该第1位置信息和该第2位置信息的差分对应的偏移信息作为该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息而取得的接续运算”，然而，原申请说明书第[0128]-[0130]段对曝光装置100进行的接续运算进行了详细描述，其中[0128]段记载了“亦即，主控制装置20，如图12所示，求出位置坐标(X、Y、θz)与位置坐标(X’、Y’、θz’)的差分，再就既定频率数k求出差分的移动平均 MAK{(X、Y、θz)－(X’、Y’、θz’)}，作为坐标偏移(offset)O加以保持”，[0130]段记载了“主控制装置20，在切换时，实施接续处理。亦即，主控制装置20为了与前一控制频率时(此场合，为第2控制频率时)从编码器Enc1、 Enc2、Enc3的测量値算出的晶圆载台WST1的位置坐标(X、Y、θz) 一致，而于第3控制频率时，在从编码器Enc2、Enc3、Enc4的测量值算出的晶圆载台WST1的位置坐标(X’、Y’、θz’)中加入前一第2控制频率时所保持的坐标偏移O。将经偏移修正的位置坐标{(X’、Y’、θz’) O}代入编码Enc4的测量值依据的式(1)～(4)的任一者以算出编码器Enc4的测量值，将其设定为编码器Enc4的测量值。”。可见，原申请说明书中记载的是将上述第1位置信息和第2位置信息的差分，再就既定频率数k求出差分的移动平均 MAK{(X、Y、θz)－(X’、Y’、θz’)}，作为坐标偏移(offset)O来对该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值的修正信息。可见，本申请权利要求2中仅限定了将第一位置信息和第2位置信息的差分对应的偏移信息作为修正信息，不同于原申请说明书中记载的利用既定频率数k求出差分的移动平均 MAK{(X、Y、θz)－(X’、Y’、θz’)}作为坐标偏移，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出本申请权利要求2中所限定的技术方案。
因此，权利要求2不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
基于与权利要求2相同的理由，权利要求13也不符合专利法实施细则第43条第1款的规定。
针对复审请求人的意见陈述，合议组认为：根据专利法实施细则第43条第1款的规定，分案申请不得超出原申请记载的范围。也就是说，分案申请的内容必须是能够从原申请记载的内容中直接地、毫无疑义地确定的内容。因此，对于上述意见陈述，合议组的具体意见如下：
1、本申请权利要求1中所限定“具有在该第1、2方向的至少一方彼此分离设于该载台的4个读头，……从该标尺构件的下方分别照射测量光束”的技术特征中只限定了“矩形的开口”被“该4个部分包围”，并没有限定是位于该4个部分的中央。而根据原申请权利要求书的记载，本领域技术人员只能直接毫无疑义地得出“测量面”中具有开口这样范围较大的技术方案，根据原申请说明书的记载，本领域技术人员只能直接毫无疑义地得出矩形开口是形成在L字状的四个部分的中央这样范围比较小的技术方案，而无法直接地、毫无疑义地得出矩形开口被L字状的四个部分包围这样的技术方案。也就是说，复审请求人在意见陈述书中所述的开口由4个部分包围，每一个部分分别为L字状，但不限定该开口位于四个部分的中央，这将导致其还包含了矩形开口的中心位置自标尺板的中央偏移的位置的情形，而该情形并不能从原申请的记载中唯一地获得，即，这样形状的开口结构无法从原申请的记载中直接地、毫无疑义地得出。
2、如上述评述可知，根据原申请说明书第[0084]-[0087]段的内容，本领域技术人员可以直接地、毫无疑义地确定的内容是，载台移动的移动区域包括按照特定的分割方式进行划分的5个区域，而本申请权利要求1中只是限定了移动区域分为5个区域，其中所限定的每个区域所对应的读头并不能对这5个区域的具体分割起到限定作用，并且本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出关于5个区域的其他分割方式。也就是说，即使原申请的说明书第[0086]段的描述是为了配合图示进行说明的叙述，但是，本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载不能直接地、毫无疑义地得出除此以外的关于5个区域的分割方式。
3、根据本复审通知书的上述意见可知，本申请权利要求1中所限定的“在该载台于该第5区域内的期间”进行读头切换的方案仅限定了是在第5区域内时进行切换，没有具体限定在第5区域内进行切换的具体时机，而原申请说明书和权利要求书中均记载了读头在第5区域（A0区域）的具体切换时机，并且，根据复审请求人在意见陈述书中对晶圆载台WST1从第2区域A2经由第0区域A0往第3区域A3移动的情形的详细描述可知，当处于第5区域的具体时机，即“刚从第2区域移动到第0区域时，将要从第0区域往第3区域移动时”进行读头的切换。本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也无法直接地、毫无疑义地得出可以在第5区域的期间的任何时机切换读头。
4、如上所述，原申请说明书中记载的是，在将第1位置信息和第2位置信息进行差分计算之后，再就既定频率数k求出差分的移动平均 MAK{(X、Y、θz)－(X’、Y’、θz’)}来作为坐标偏移(offset)O，从而对该不同的区域中使用的3个读头中与该1个区域中使用的3个读头相异的1个读头的测量值进行修正，而本申请权利要求2中限定是“将与该第1位置信息和该第2位置信息的差分对应的偏移信息”作为修正信息，而与该第1位置信息和该第2位置信息的差分“对应的偏移信息”包含的范围要大于原申请说明书中记载的MAK{(X、Y、θz)－(X’、Y’、θz’)}这一偏移信息，也就是说，本申请权利要求2中所限定的修正信息并未记载在原申请说明书和权利要求书中，并且，本领域技术人员根据原申请说明书和权利要求书的记载也不能直接地、毫无疑义地得出这样的修正信息。
综上所述，复审请求人的意见均不具有说服力，不予接受。
根据上述事实和理由，本案合议组依法作出以下审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年01月30日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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