发明创造名称：卷取成膜装置
外观设计名称：
决定号：180100
决定日：2019-05-21
委内编号：1F244775
优先权日：2012-05-31
申请（专利）号：201380027869.9
申请日：2013-05-23
复审请求人：凸版印刷株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：王子瑜
合议组组长：倪永乐
参审员：赵妍妍
国际分类号：C23C16/54;C23C16/44
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果权利要求所要求保护的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别特征，该区别特征被本领域或其他相关技术领域的对比文件公开，并且该区别特征在本领域或其他相关技术领域的对比文件所起到的作用与本发明相同，则认为该对比文件存在技术启示，使本领域技术人员有动机改进该最接近的现有技术并获得要求保护的发明。
全文：
本复审请求涉及申请号为201380027869.9，名称为“卷取成膜装置”的发明专利申请（下称本申请）。本申请的申请人为凸版印刷株式会社，申请日为2013年5月23日，优先权日为2012年5月31日，公开日为2015年2月18日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2017年11月1日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-3相对于对比文件1(CN101406108A，公开日为2009年4月8日)，对比文件2(US2010054826A1，公开日为2010年3月4日)，对比文件3(JP2011178490A，公开日为2011年9月15日)，对比文件4(CN1070141A，公开日为1993年3月24日)以及本领域常用技术手段的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
驳回决定所依据的文本为：依据专利合作条约第28条或者第41条提交的修改，说明书第1-153段；2014年11月27日提交的说明书附图、说明书摘要、摘要附图；2017年7月7日提交的权利要求第1-3项。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种卷取成膜装置，其中，具备：
第一真空气室，被导入有第一前体；
第二真空气室，被导入有第二前体；
第三真空气室，被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体；以及
搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，上述第一辊及上述第二辊中的至少一方在外周面上形成有凹凸形状且作为引导辊起作用，另一方作为夹持辊起作用，
使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜，
在上述第一真空气室与上述第三真空气室之间设置有第一区域分隔板，在上述第二真空气室与上述第三真空气室之间设置有第二区域分隔板，在上述第一区域分隔板和上述第二区域分隔板上分别形成有供上述基材经过的多个开口，
在上述开口的基材搬运方向上的上游侧和下游侧，以夹入上述基材的宽度方向的两端的方式设置有导轨，
该导轨对上述基材进行引导，使得上述基材经过上述开口时不与上述第一区域分隔板和上述第二区域分隔板接触，
使上述搬运辊部的上述一对辊对与上述基材的接触部和上述导轨与上述基材的接触部一致，
上述凹凸形状的凸部及凹部沿着与上述第一辊及上述第二辊中的上述另一方的旋转轴平行的方向而形成。
2. 如权利要求1所述的卷取成膜装置，其中，
上述第一辊构成为，上述第一辊的旋转轴能够绕着与上述基材正交的轴线旋转。
3. 如权利要求1所述的卷取成膜装置，其中，
还具备与上述第二辊连接的驱动机构。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2018年2月11日向国家知识产权局提出了复审请求，未对申请文件进行修改。复审请求人认为：权利要求1与对比文件1具有区别特征“使上述搬运辊部的上述一对辊对与上述基材的接触部和上述导轨与上述基材的接触部一致”，从而能够将基材与一对辊对及导轨接触的区域为规定区域，基材的除该区域以外的部分均不与一对辊对及导轨接触而不会被磨损，因此能够抑制基材的损伤区域。对比文件1-3中关于导向辊既未公开也没有给出相应的技术启示，更没有公开区别特征，本领域技术人员也没有动机向对比文件4中寻找相应的技术手段。另外，对比文件4公开的导向装置20是针对纸制品和要叠放在其上的硬板，本申请涉及利用原子层法进行成膜的卷取成膜装置，与对比文件4技术领域相差较大，本申请对导向精度要求更高，且对比文件4不存在磨损方面的要求，对导向精度要求不高，本领域技术人员没有动机将对比文件4的技术手段用于对比文件1中。此外，复审请求人还认为，对比文件4不属于本申请“相近的技术领域”。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年3月13日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书坚持驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年2月14日向复审请求人发出复审通知书，指出：虽然对比文件4与本申请传送的基材不同，但二者都涉及板材或带材的传送，对比文件4同样公开了一种基材传送过程中的导向装置，该导向装置20的作用是保持折叠纸10与硬板22粘结时的预定横向相对位置，提高传送过程中的精确度。本申请设置导轨的作用同样是对基材的传送起到引导的作用，提高其传送精度，进而避免其在传送过程中发生跑偏情况。对比文件4中公开的导向装置在对比文件4与本申请起到的作用相同，均是提高基材传送过程中的精度，本领域技术人员有动机将该导向装置用于对比文件1中，而且将所述导向装置应用于对比文件1中也无需克服技术上的障碍。对于导轨设置的位置，本领域技术人员有动机在对比文件1的原子层沉积系统中最可能导致基材与成膜装置中的部件相互接触的部位——分隔板的开口处设置导轨从而提高基材在原子层沉积过程中的传输精度，而为了避免基材在原子层沉积过程中被不同腔室之间的分隔板触碰导致原子层膜层的磨损。从权利要求1-3的文字记载并不能看出基材仅一部分与辊对接触，而其他部分不与辊对接触。复审请求人提出的权利要求1能够实现“基材的除该区域这外的部分均不与一对辊对及导轨接触而不会被磨损”的技术效果不能成立。对比文件4的附图19给出了导向装置20仅两端部与硬板22接触，为了防止导轨对基材造成额外的磨损，本领域技术人员也有动机将导轨设置为辊对与基材的接触部与导轨和基材的接触部设置为一致，即只与基材的宽度方向的两端部接触，从而防止导轨与基材成膜区域的接触造成磨损。此外，专利审查指南中规定，如果所要解决的技术问题能够促使本领域的技术人员在其他技术领域寻找技术手段，他也应具有从该其他技术领域中获知该申请日或优先权日之前的相关现有技术、普通技术知识和常规实验手段的能力(参见第171页第5-9行)。因此，本领域技术人员在寻求解决其技术问题所需要的技术手段时，并不一定局限于“相近的技术领域”。
复审请求人于2019年3月29日提交了意见陈述书和修改后的权利要求书，修改方式为在权利要求1中加入技术特征“从基材的两面将基材加入到该导轨中”。修改后的权利要求1如下：
“1. 一种卷取成膜装置，其中，具备：
第一真空气室，被导入有第一前体；
第二真空气室，被导入有第二前体；
第三真空气室，被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体；以及
搬运辊部，将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运，具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，上述第一辊及上述第二辊中的至少一方在外周面上形成有凹凸形状且作为引导辊起作用，另一方作为夹持辊起作用，
使用上述搬运辊部，使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复，由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜，
在上述第一真空气室与上述第三真空气室之间设置有第一区域分隔板，在上述第二真空气室与上述第三真空气室之间设置有第二区域分隔板，在上述第一区域分隔板和上述第二区域分隔板上分别形成有供上述基材经过的多个开口，
在上述开口的基材搬运方向上的上游侧和下游侧，以夹入上述基材的宽度方向的两端的方式设置有导轨，
该导轨从基材的两面将基材夹入到该导轨中，对上述基材进行引导，使得上述基材经过上述开口时不与上述第一区域分隔板和上述第二区域分隔板接触，
使上述搬运辊部的上述一对辊对与上述基材的接触部和上述导轨与上述基材的接触部一致，
上述凹凸形状的凸部及凹部沿着与上述第一辊及上述第二辊中的上述另一方的旋转轴平行的方向而形成。”
复审请求人在意见陈述书中陈述了权利要求1-3具备创造性的理由。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出复审请求审查决定。
二、决定的理由
（一）审查文本
本决定所依据的文本为：依据专利合作条约第28条或者第41条提交的修改，说明书第1-153段；2014年11月27日提交的说明书附图、说明书摘要、摘要附图；2019年3月29日提交的权利要求第1-3项。
（二）关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步。
如果权利要求所要求保护的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别特征，该区别特征被本领域或其他相关技术领域的对比文件公开，并且该区别特征在本领域或其他相关技术领域的对比文件所起到的作用与本发明相同，则认为该对比文件存在技术启示，使本领域技术人员有动机改进该最接近的现有技术并获得要求保护的发明。
1权利要求1的创造性
权利要求1请求保护一种卷取成膜装置，对比文件1公开了一种原子层沉积系统，具体公开了（参见说明书第4页第7段至第5页第3段、说明书第8页第2段及说明书附图1）：系统10包含分别由其中存在惰性流体的中间隔离区20分离的第一和第二前驱体区14和16。前驱体区14、16和隔离区20由外部反应室外壳或容器30界定或定界，所述外部反应室外壳或容器30由第一和第二分隔物34、36划分为三个子室，从图中可以看出第一和第二分隔物34、36上开设有多个开口，即第一前驱体室44、第二前驱体室46和惰性气体室50。容器30可包括大体上将过程空间与外部环境隔离的压力容器或真空容器。穿过第一分隔物34的一系列第一通路54沿着衬底12的大体行进方向被间隔开，且提供穿过第二分隔物36的相应系列的第二通路56。通路54、56经布置和配置以使衬底12在第一与第二前驱体区14、16之间往复地从中穿过多次且每次均穿过隔离区20。当衬底前进时，衬底的每一区段优选驻留在前驱体区中足够长的时间以完成前驱体化学物质在衬底表面上的必需吸附和反应。介于前驱体区之间的隔离区防止不同的前驱体气体混合。衬底移动穿过所述区以实现与通过常规ALD工艺沉积的涂层一致的薄膜涂层。为了大体上防止由于将未吸附量的第一和第二前驱体气体混合在室44、46、50的一者中而引起的非ALD反应，系统10有必要抑制前驱体1从第一前驱体区14迁移到隔离区20中以及前驱体2从第二前驱体区16迁移到隔离区20中。系统10的衬底传送机构60包含多个用于引导衬底12的转达向引导件，包含沿着第一前驱体区14被间隔开的一组第一转向引导件64和沿着第二前驱体区16被间隔开的第二组转向引导件66。转向引导件64、66协作以界定衬底12前进穿过系统10时衬底12的起伏的传送路径。衬底传送机构60可包含放出卷轴72，其用于从第一线圈（输入辊74）放出衬底12以便在隔离区20、容器30或前驱体区14、16中的一者的第一末端76处接收。
由此可知，权利要求1与对比文件1公开内容相比，其区别特征在于：（1）具有一对辊对，每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊，上述第一辊及上述第二辊中的至少一方作为引导辊起作用，另一方作为夹持辊起作用；（2）作为引导辊起作用的辊在外周面上形成有凹凸形状，上述凹凸形状的凸部及凹部沿着与上述第一辊及上述第二辊中的上述另一方的旋转轴平行的方向而形成；（3）在上述开口的基材搬运方向上的上游侧和下游侧，以夹入上述基材的宽度方向的两端的方式设置有导轨，该导轨从基材的两面将基材夹入到该导轨中，对上述基材进行引导，使得上述基材经过上述开口时不与上述第一区域分隔板和上述第二区域分隔板接触，使上述搬运辊部的上述一对辊对与上述基材的接触部和上述导轨与上述基材的接触部一致。
基于上述区别特征，可以确定权利要求1实际解决的技术问题是：如何提高基材在成膜移动过程中的稳定性及避免原子层沉积膜损伤。
对于区别特征(1)，对比文件2公开了一种挠性基材表面涂布膜装置，并具体公开了（参见说明书第[0052]-[0064]、[0073]段及说明书附图1-6）：成膜装置包含有阶梯辊12和两个夹持辊16，阶梯辊12由端部12A及中心部12B构成，阶梯辊端部12A（即引导辊）与夹持辊16共同作用对挠性基材14进行固定夹持（即两个阶梯辊端部12A与两个夹持辊16组成两个辊对），并在动力作用下进行传送成膜。通过调节阶梯辊端部12A与夹持辊16的相互角度及辊上施加的压力来调整辊对挠性基材的夹持力，从而避免基材在成膜过程中的松弛与折叠，同时还避免了挠性基材在成膜过程中与阶梯辊中心部12B的摩擦接触，提高了成膜质量。由此可见，该辊对在对比文件2与本申请中所起到的作用相同，本领域技术人员有动机将对比文件2的该辊对用于对比文件1从而提高原子层成膜质量。
对于区别特征(2)，对比文件3公开了一种挠性基材成膜辊装置，并具体公开了（参见说明书第[0030]-[0031]段及说明书附图2-8）：阶梯辊R由夹持部54和轴56构成，通过在夹持部54上设置不规则的凹凸部分从而提高了挠性基材与辊的夹持力（附图6A的凹凸部分与辊旋转轴方向平行），避免了挠性基材成膜过程中的起皱，从而提高了成膜质量。由此可见，该技术手段在对比文件3与本申请中起到的作用相同，对比文件3给出了将上述技术手段用于对比文件1以提高成膜质量的技术启示，而将凹凸形状设置在辊对中任一辊的外周面都是本领域的常规技术手段，其产生的技术效果是可以预料到的。
对于区别特征（3），对比文件4公开了一种折叠纸制品制作装置，并具体公开了（参见第17页第2段及说明书附图4、19）：在折叠纸和硬板沿着图4中的导向装置20所决定的路径运动过程中，图19中的装置87、88、89（其包括在导向装置20中），由于它们的形状和安排用于保持折叠纸10和硬板22在其粘贴至一起时的预期横向位置相对，从而使用于所有制件的各元的预定位置都以相当好的精度重复。并且图19中附图标记为87和89的部件即从顶部对折叠纸和硬板进行夹持。由此可见，对比文件4给出了在板状材料加工过程中通过设置导向装置并从两面夹持，从而可以提高其传输精度的技术启示，本领域技术人员有动机在对比文件1的原子层沉积系统中最可能导致基材与成膜装置中的部件相互接触的部位——分隔板的开口处设置导向装置（如导轨）从而提高基材在原子层沉积过程中的传输精度，而为了避免基材在原子层沉积过程中被不同腔室之间的分隔板触碰导致原子层膜层的磨损。并且，为了避免基材在传送过程中中间部位与导轨接触导致磨损，本领域技术人员能够想到将导轨与基材的接触部中辊对与基材的接触部设置为一致，上述设置所产生的技术效果是可以预料到的。
由此可见，在对比文件1的基础上结合对比文件2、对比文件3、对比文件4及本领域常规技术手段得到权利要求1的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求1不具有突出的实质性特点，不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
2权利要求2和3的创造性
权利要求2是权利要求1的从属权利要求，从对比文件2附图1、6中可以直接毫无疑义地看出夹持辊16的旋转轴可绕着与挠性基材14正交的轴线旋转。
权利要求3是权利要求1的从属权利要求，对比文件2公开了阶梯辊12与旋转轴22连接旋转（隐含公开了旋转轴22与旋转机构相连）。
因此，在权利要求1不具备创造性的基础上，权利要求2和权利要求3也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3 关于复审请求人的意见陈述
复审请求人在复审意见陈述书中认为：(1)只有在所属或者相近的技术领域中存在明确的启示、从而能够促使本领域技术人员到相关技术领域中寻找有关技术手段时，才可能考虑相关技术领域。对比文件1-3中没有记载有关导向装置的构成，也没有提及基材在分隔板的开口容易与其他的部件相接触这一技术问题。因此本领域技术人员没有动机去相关的技术领域中检索并寻找到对比文件。（2）本申请的导向装置是从两面将基材夹持在当中，其可以通过抑制基材与分隔板之间的接触来将开口部的尺寸形成得小，从而能够将由第三区域的清洗气体造成的污染抑制得较低。而对比文件4的导向装置是从底面（单面）对基材进行支撑的构成，并不能避免开口处的基材与分隔板的接触。
对此，合议组经过合议后认为：（1）专利审查指南中规定，如果所要解决的技术问题能够促使本领域的技术人员在其他技术领域寻找技术手段，他也应具有从该其他技术领域中获知该申请日或优先权日之前的相关现有技术、普通技术知识和常规实验手段的能力。对比文件1中公开的原子层沉积系统具有与本申请类似的结构，从附图1中可以看出，第一前驱体区14内的导向件64和第二前驱体区的导向件66距离较远，因此在使用中同样存在限流通路54处基材容易与限流通路的壁相接触的技术问题。本领域技术人员在寻求该技术问题的解决方式时，存在促使本领域的技术人员在其他技术领域寻找技术手段的动机。（2）参见对比文件4的附图19，其中公开了导向装置从上下两面对折叠纸和硬板进行传输，图19中附图标记为87和89的部件即从顶部对折叠纸和硬板进行夹持，而并非复审请求人所述的对比文件4的导向装置是从底面（单面）对基材进行支撑。并且本领域技术人员可以知道对比文件4中的两面夹持方式可以更好地对待输送基材进行约束，从而可以抑制基材的摆动从而客观上可以防止基材与其他部件接触。因此本领域技术人员可以知道，将对比文件1-4结合可以实现通过抑制基材与分隔板之间的接触来将开口部的尺寸形成得小，从而能够将由第三区域的清洗气体造成的污染抑制得较低的技术效果。
综上所述，复审请求书中的意见陈述不具有说服力。
三、决定
维持国家知识产权局于2017年11月1日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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